[发明专利]敏射线树脂组合物无效
| 申请号： | 00800139.1 | 申请日： | 2000-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN1294703A | 公开（公告）日： | 2001-05-09 |
| 发明（设计）人： | 高桥修一 | 申请（专利权）人： | 克拉瑞特国际有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/027;C08L101/00;C08L61/00;C08K5/28 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 瑞士*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 射线 树脂 组合 | ||
【权利要求书】：
1．一种至少兼有一种树脂和一种光敏性物质的敏射线树脂组合物，其中结合加入的荧光物质量，相对于100份重量的光敏性物质，是0．0001-1．0份重量。
2．根据权利要求1所述的敏射线树脂组合物，其中的树脂是一种碱溶性树脂。
3．根据权利要求2所述的敏射线树脂组合物，其中的碱溶性树脂是一种碱溶性的线型酚醛清漆树脂。
4．根据权利要求1所述的敏射线树脂组合物，其中的光敏性物质是一种含有醌二叠氮化物基团的化合物。
5．一种至少兼有一种树脂和一种光致酸生成剂的敏射线树脂组合物，其中结合加入的荧光物质量，相对于100份重量的光致酸生成剂，是1．0-30．0份重量。
6．根据权利要求5所述的敏射线树脂组合物，其中的树脂是一种碱溶性树脂。
7．根据权利要求6所述的敏射线树脂组合物，其中的该碱溶性树脂是一种碱溶性的线型酚醛清漆树脂。
8．根据权利要求5所述的敏射线树脂组合物，其中的树脂通过用能被酸分裂开的保护基，对碱溶性基团的部分进行保护，使其变得不溶于碱。
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