[发明专利]半导体装置

摘要

本发明的课题在于得到具有良好的存储单元的构图可控性的布局结构的半导体装置。存储单元阵列区1的1个存储单元单位的存储单元的元件构成要素(有源区10—15、21—23和多晶硅区31—42)的图形与外周用虚设单元区3的虚设单元的图形相同,而且两者的图形相对于边界线BCI呈线对称的关系。另外,存储单元阵列区1的1个存储单元单位的存储单元的图形与电源布线区2的虚设单元的图形相同,而且两者的图形相对于边界线BC2呈线对称的关系。

主权项

1．一种半导体装置，其特征在于：具备：半导体衬底；在上述半导体衬底上形成的、将存储单元配置成阵列状的存储单元阵列区；以及在上述半导体衬底上与上述存储单元阵列区邻接地配置的、具有虚设单元的存储单元阵列邻接区，在上述存储单元阵列区与上述存储单元阵列邻接区的边界线的附近区域中，以与上述存储单元的至少一部分的图形相对于上述边界线呈线对称的关系来形成上述存储单元阵列邻接区的上述虚设单元的至少一部分的图形。