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[发明专利]用于半导体处理工具的具有斜角气体分配通道的喷头面板-CN202180050231.1在审
发明人：普拉蒂克·曼克迪;约翰·霍兰;安东尼·德拉列拉;拉杰什·多雷 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-06-14 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：提供半导体处理室所用的喷头面板，该喷头面板包括将其穿过的气体分配通道的一个或更多子集合，这些气体分配通道至少部分沿着与喷头面板的中央轴呈倾斜角的轴延伸。该斜角气体分配通道可用于特别制定该喷头面板的气流特性，以在经由此喷头面板而被输送至晶片的气体中产生各种所期望的气流行为。
用于半导体处理工具具有斜角气体分配通道喷头面板

[发明专利]等离子处理系统的射频信号滤波器装置-CN202180012677.5在审
发明人：阿列克谢·马拉赫塔诺夫;费利克斯·科扎克维奇;季兵;拉纳迪普·博米克;约翰·霍兰 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-01-30 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种可调边缘鞘(TES)系统包括耦合环，其被配置为耦合到边缘环的底表面，该边缘环围绕等离子体处理室内的晶片支撑区域。该TES系统包括环形电极，其嵌入所述耦合环内。该TES系统还包括多个射频信号供应引脚，其与在耦合环内的电极耦合，所述多个射频信号供应引脚中的每一个延伸穿过穿过所述耦合环的底表面形成的对应孔。该TES系统包括多个射频信号滤波器，其分别连接到所述多个射频供应引脚。所述多个射频信号滤波器中的每一个被配置为对用于在所述等离子体处理室内产生等离子体的射频信号提供高阻抗。
等离子处理系统射频信号滤波器装置

[发明专利]等离子体处理系统中射频信号接地回路的优化-CN202180012493.9在审
发明人：阿列克谢·马拉赫塔诺夫;费利克斯·科扎克维奇;季兵;拉纳迪普·博米克;肯尼思·卢凯西;约翰·霍兰 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-01-30 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：形成一个固定的外支撑凸缘(凸缘1)以外接等离子体处理系统内的电极。凸缘1具有竖直部分和从竖直部分的下端径向向外延伸的水平部分。铰接式外支撑凸缘(凸缘2)形成为外接凸缘1。凸缘2具有竖直部分和从竖直部分的下端径向向外延伸的水平部分。凸缘2的竖直部分同心地定位在凸缘1的竖直部分的外侧。凸缘2与凸缘1隔开并且可沿凸缘1的竖直部分移动。多个导电带中的每一个都具有连接到凸缘2的第一端部和连接到凸缘1的第二端部。
等离子体处理系统射频信号接地回路优化

[发明专利]用于衬底处理的静电边缘环安置系统-CN202180012498.1在审
发明人：亚历山大·马丘什金;基思·科门丹特;亚当·克里斯多夫·梅斯;达雷尔·埃利希;约翰·霍兰;菲力克斯·莱布·科扎克维奇;阿列克谢·马拉赫塔诺夫 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种边缘环系统包含被配置为在等离子体处理期间支撑衬底的衬底支撑件，并且包含基板和被布置在所述基板上的上层。边缘环支撑件包含第一主体和被布置在所述第一主体中的静电夹持电极。在处理期间所述边缘环支撑件被布置在所述基板上方并且在所述衬底的径向外侧。边缘环包含第二主体，所述第二主体在等离子体处理期间布置在所述边缘环支撑件上并且被静电夹持至所述边缘环支撑件。
用于衬底处理静电边缘安置系统

[发明专利]等离子体源/偏置功率输送的高速同步-CN202080033868.5在审
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基;本杰明·J·吉特林;拉里·J·菲斯克;马里乌斯·欧尔德杰伊;亚伦·M·贝里;乔纳森·W·斯米卡;阿列克谢·马拉霍塔诺夫;纪冰;菲利克斯·莱比·科扎克维奇;约翰·霍兰;拉纳迪普·博乌米克 -专利权人： MKS仪器有限公司;朗姆研究公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种射频(RF)生成器系统，包括第一RF电源和第二RF电源，每个RF电源向负载施加相应的RF信号和第二RF信号。根据第二RF信号的施加来施加第一RF信号。第一RF信号的施加与第二RF信号的施加同步。第一RF信号可以与第二RF信号同步地进行幅度调制，并且幅度调制可以包括第一RF信号的消隐。频率偏移可以与第二RF信号同步地施加到第一RF信号。可以根据第二RF信号来控制与第一RF电源相关联的可变致动器。
等离子体偏置功率输送高速同步

[发明专利]光模块-CN201710120172.6有效
发明人：托马斯·克拉夫塔;约翰·霍兰;马丁·勒夫;马赛尔·武克;约瑟夫·迈道 -专利权人：朗德万斯公司
申请日： 2017-03-02 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： F21K9/20 文献下载
摘要：一种用于插入半导体灯(24)壳体(23)中的光模块(1)并具有：驱动器(3)、冷却体(10)、紧贴在冷却体上具有至少一个半导体光源的发光器(15)，半导体光源与驱动器(2)电连接，和至少一个覆盖半导体光源的光学折射元件(18)，折射元件固定在冷却体上并且发光器(15)压紧到冷却体上。半导体灯(24)具有前侧开放的壳体，光模块从前侧插入壳体并且光模块固定到壳体上。一种用于制造半导体灯的方法，至少一个驱动器、冷却体、发光器和折射元件组装成能独立操纵的光模块并且将光模块插入壳体中。本发明特别能够用于特别具有销底座，特别是引脚底座的替换灯或改装灯，例如用于代替卤素灯特别是MR16型的改装灯。
模块

[发明专利]用于介电蚀刻室的室充填器套件-CN201710499984.6有效
发明人：班森·Q·唐;哈梅特·辛格;约翰·霍兰;赖安·拜斯 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2017-06-27 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本发明涉及用于介电蚀刻室的室充填器套件。提供了一种用于平衡介电蚀刻室中的电场的室充填器套件。传输模块充填器包括导电体、抗蚀刻表面，其中抗蚀刻表面包括与蚀刻室的部分圆柱形孔匹配的内弯曲表面、和晶片传输孔，其中传输模块充填器能装进蚀刻室的传输孔中。传输模块密封板适于机械地和电气地连接到部分圆柱形室主体和传输模块充填器。偏置外壳充填器适于机械地和电气地连接到偏置外壳壁并且包括导体和抗蚀刻表面，其中抗蚀刻表面包括与部分圆柱形孔匹配的弯曲表面。
用于蚀刻充填套件

[发明专利]混合特征蚀刻和倒角蚀刻的系统-CN201410335866.8有效
发明人：安德列亚斯·费希尔;约翰·霍兰 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2014-07-15 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及混合特征蚀刻和倒角蚀刻的系统，具体提供了具有用于执行衬底的等离子体处理以及利用至少第一处理状态和第二处理状态的至少等离子体处理室的等离子体处理系统。等离子体在第一处理状态期间存在于衬底的中心区域上方以在第一处理状态期间执行至少所述中心区域的等离子体处理。等离子体在第二处理状态期间不存在于衬底的中心区域上方但存在于倒角边缘区域附近以在第二处理状态期间至少执行倒角边缘区域的等离子体处理。在第二处理状态期间，上电极处于RF浮动状态且衬底被置于下电极表面上。
混合特征蚀刻倒角系统

[发明专利]用于控制等离子体处理室中的等离子体的方法和装置-CN201380018698.3有效
发明人：西奥多罗斯·帕纳戈普路斯;约翰·霍兰;亚历克斯·帕特森 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2013-03-22 - 公布日： 2014-12-17 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：公开了用于控制具有至少一个电感耦合等离子体(ICP)处理室的等离子体处理系统中的等离子体的方法和装置。ICP室中至少使用第一/中心射频线圈、相对于第一/中心射频线圈同心地设置的第二/边缘射频线圈、和至少具有第三/中部射频线圈的射频线圈组，第三/中部射频线圈相对于第一/中心射频线圈和第二/边缘射频线圈以使第三/中部射频线圈被设置在第一/中心射频线圈与第二/边缘射频线圈之间的方式同心地设置。在处理期间，在相同方向上将射频电流提供给第一/中心射频线圈和第二/边缘射频线圈，同时在相反方向上(相对于提供给第一/中心射频线圈和第二/边缘射频线圈的电流的方向)将射频电流提供给第三/中部射频线圈。
用于控制等离子体处理中的方法装置

[发明专利]带有电缆的嵌入式灯,尤其是用于机场照明-CN200780101149.7有效
发明人：约瑟夫·鲍尔;西尔维娅·汉格尔;汉斯-赫尔曼·格迈纳;约翰·霍兰 -专利权人：奥斯兰姆有限公司
申请日： 2007-10-18 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： H01J5/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种灯，其具有连接于接触销的电缆并且尤其是用于飞机跑道的照明和标记，在所述灯中所述接触销(16)被压接在金属套管(9)中的小管(1)中。
带有电缆嵌入式尤其是用于机场照明

[发明专利]用于俯卧撑锻炼的计数装置-CN200810174264.3无效
发明人：奥尔登·M·米尔斯;马克·B·弗莱德曼;约翰·霍兰;凯万·霍伦贝克;斯蒂芬·G·豪泽 -专利权人：珀费克特俯卧撑器材有限公司
申请日： 2008-11-14 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： A63B71/06 文献下载
摘要：一种用于对重复动作进行计数并对俯卧撑锻炼进行计时的计数装置包含装置主体以及上面具有显示器和多个致动按钮的计数器组合件。所述计数器组合件装配在形成所述装置的顶部的可变形泡沫环内。在锻炼期间，用户用其胸部将所述泡沫环向下按压给定距离，以触发所述计数器组合件中的至少一个传感器，以在所述显示器上登记重复动作计数以及所述锻炼的逝去时间。所述计数器组合件可固定在所述装置内，或其显示单元可以是可移除的，使得所述装置和显示单元经配置以用于无线通信。
用于俯卧撑锻炼计数装置

[发明专利]在至少两个部件之间的电连接配置以及具有这种连接配置的电装置-CN200880022364.2无效
发明人：安德列亚斯·尼特克;约翰·霍兰 -专利权人：奥斯兰姆有限公司
申请日： 2008-06-09 - 公布日： 2010-03-31 - 主分类号： H01J5/62 文献下载
摘要：本发明涉及一种在两个部件之间的电连接配置，其中一个部件是引线而第二个部件是套，其中引线具有直径DR，并且套至少部分具有内直径ID，并且DR小于ID。该引线的端部被引入该空心体中，其中该引线的端部具有保证至空心体的连接的装置。
至少两个部件之间连接配置以及具有这种装置

[发明专利]锁扣和铰接装置、表以及相关方法-CN200480006179.6有效
发明人：斯特凡妮·克劳斯;克里斯·希瑟利;兰德尔·乌伊;朱莉·尼休卡;约翰·霍兰;杰弗里·桑德 -专利权人：迪斯尼实业公司
申请日： 2004-01-07 - 公布日： 2006-04-12 - 主分类号： A44C5/00 文献下载
摘要：能够以接合方式连接至金属组件的磁体组件、能够以接合方式连接至磁体组件的金属组件以及包括该磁体组件和金属组件的锁扣机构被公开，并且用于带子和表壳。还公开了将与表壳一起被使用的板簧元件和基础元件，以及公开了它们的制造过程和教导时间概念的系统和方法。
铰接装置以及相关方法

[发明专利]大工件等离子体加工器-CN00134498.6无效
发明人：迈克尔·巴恩斯;尼尔·贝嘉明;约翰·霍兰;理查德·比尔;罗伯特·韦特罗普 -专利权人：拉姆研究有限公司
申请日： 1995-12-05 - 公布日： 2004-08-25 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种大工件等离子体加工器，包括具有多个单独支撑的介电窗口的真空腔体，用于把腔体外产生的射频场耦合到腔体内，以激励出等离子体。感应取得磁场的平面线圈具有多个相同电长度的部分，每部分包括与另一部分元件并联的元件。
工件等离子体加工

[发明专利]具有多个平台上的资源的呼叫处理系统-CN01806003.X无效
发明人：彼得·罗布森;约翰·霍兰;保罗·兰佛德 -专利权人：戴尔劳吉克公司
申请日： 2001-01-24 - 公布日： 2003-04-02 - 主分类号： H04M3/00 文献下载
摘要：公布了一种呼叫处理系统，其中，多个平台(208－212)具有多个语音板和板上的不同资源。当服务器(201－203)上的功能部件需要开始执行呼叫所请求的特定功能时，所述服务器(201－203)上的轮询软件开始运行，从平台(201－203)中查询执行该呼叫所请求的所述功能所需相应资源的可用性信息。
具有平台资源呼叫处理系统

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