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[发明专利]互锁模块化衬底支撑柱-CN201680053757.4有效
发明人： M·富勒;C·哈尔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-08-24 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于衬底容器的衬底支撑组合件。所述组合件可包含一对衬底支撑柱，其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆。每一架部件可包含叶片部分，其具有第一及第二相对表面以及内及外周边。所述叶片部分的每一表面可包含肋结构及定位成朝向所述外周边且从所述叶片部分的前向部分延伸到后向部分的多个轴套。互锁特征部可界定于所述肋结构上。所述架部件的所述堆叠可包含经由所述肋结构与一或多个相邻架部件堆叠的每一架部件，借此经由所述互锁特征部互锁每一架部件与所述一或多个相邻架部件。
互锁模块化衬底支撑

[发明专利]一种基于模型预测控制的平行结构频谱优化方法与系统-CN202110101002.X有效
发明人：刘晔;郝颖琪;M·富勒;G·格黑盆特霍克 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2022-06-07 - 主分类号： H02P21/00 文献下载
摘要：本发明一种基于模型预测控制的平行结构频谱优化方法与系统，采用参考值追踪模块和频谱整形模块并行结构以实现频谱控制，其中参考值追踪即基于模型预测控制，实现控制变量的参考值追踪；频谱整形则是对滤波后的控制变量进行时间补偿计算及预测计算，预测控制变量在滤波器的通带频率范围内的频率分量，并添加到成本函数中，当开关状态的误差大小相同或相近的情况下，若某开关状态能产生更少滤波器通带内的频率分量，使得成本函数最小化，则该种开关状态将被优先选择，从而实现频谱整形控制。本发明针对高通滤波器及带通滤波器的滤波特性，采用参考值追踪和频谱整形并行，可实现针对控制变量不同频率范围的频谱整形，即误差跟踪和频谱整形并行控制。
一种基于模型预测控制平行结构频谱优化方法系统

[发明专利]具偏移歧管的内部清洗喷洒器-CN201680055979.X有效
发明人： K·格拉万;J·J·金;M·富勒 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-09-02 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种用于衬底容器的清洗塔组合件。所述组合件可包含用于安装到衬底容器的底板的清洗接口本体，所述清洗接口本体包含基座部分及顶部部分。所述基座部分可包含基本上管状基座侧壁且所述顶部部分可具有定位于所述基座部分的顶部边缘上的顶部侧壁。所述顶部部分可包含用于通过所述底板中的后部入口安装的入口喷嘴。所述入口喷嘴可具有从所述顶部侧壁向上延伸且界定所述入口喷嘴的内部的基本上管状侧壁。所述基座部分及所述顶部侧壁可界定安置成连接到所述基座部分及所述入口喷嘴的偏移导管部分，所述基座部分及所述入口喷嘴经由所述偏移导管部分流体连通。
偏移歧管内部清洗喷洒

[发明专利]管理设计文件的审查-CN201880038178.1在审
发明人： M·D·蒙哥马利;J·基德;M·富勒;A·米切尔 -专利权人：赫克斯冈技术中心
申请日： 2018-06-12 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： G06Q10/10 文献下载
摘要：系统和方法客观地管理对工程部件的设计文件的审查，以促进由分配的审查者以适当的审查详尽程度对这种文件进行审查。审查分配规则评价设计文件的特征，以创建特定于各个设计文件的审查分配计划，其有助于将标准实践应用于这种文件的评估。
审查设计文件标准实践分配规则工程部件分配评估创建应用管理

[发明专利]用于衬底容器的缓冲保持器-CN201780014884.8在审
发明人： M·富勒;C·J·哈尔 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2017-02-03 - 公布日： 2018-12-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供一种衬底保持器(110)，其呈现可适应上面的衬底对齐的位置的大变化的基本上均匀接触面(128)。允许所述均匀接触面(128)偏转并压缩以便消除衬底(114)被所述衬底保持器(110)损坏或被无意地夹紧于所述衬底保持器(110)内或者被所述均匀接触面(128)按压过紧的可能。在具有此布置的情况下，不利用粘合剂或胶带，因此不存在污染微环境的挥发性有机化合物的伴随除气或由于此些粘合剂及胶带与洗涤过程不兼容而导致的并发事件。
衬底保持器粘合剂胶带衬底挥发性有机化合物按压偏转并发事件衬底容器洗涤过程对齐保持器不兼容大变化微环境缓冲除气地夹压缩污染

[发明专利]声学信号相位旋转处理器-CN201480075809.9在审
发明人： D·A·冈瑟;M·富勒;T·布莱洛克 -专利权人：声音技术公司
申请日： 2014-08-14 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G01S15/89 文献下载
摘要：一种超声成像系统包括针对多个换能器元件信道(1081、…、108K)的多个处理链(2061、…、206K)。所述多个处理链中的处理链包括：相位旋转处理器(1141、…、114K)，其通过借助于相位相加或相减的相位旋转来集中在对应的换能器元件信道上接收的模拟RF信号的N‑比特数字表示，并且输出经集中的N‑比特量化值，其中，N是预定的正整数。
声学信号相位旋转处理器