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- [发明专利]互锁模块化衬底支撑柱-CN201680053757.4有效
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M·富勒;C·哈尔
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恩特格里斯公司
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2016-08-24
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2022-08-02
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H01L21/673
- 本发明涉及一种用于衬底容器的衬底支撑组合件。所述组合件可包含一对衬底支撑柱,其各自包含多个架部件的堆叠及插入通过所述堆叠以将所述堆叠固定在一起的多个支撑杆。每一架部件可包含叶片部分,其具有第一及第二相对表面以及内及外周边。所述叶片部分的每一表面可包含肋结构及定位成朝向所述外周边且从所述叶片部分的前向部分延伸到后向部分的多个轴套。互锁特征部可界定于所述肋结构上。所述架部件的所述堆叠可包含经由所述肋结构与一或多个相邻架部件堆叠的每一架部件,借此经由所述互锁特征部互锁每一架部件与所述一或多个相邻架部件。
- 互锁模块化衬底支撑
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