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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]具有乘数模式的射频(RF)脉冲阻抗调谐-CN201980054968.3在审
发明人：川崎胜正;J·斐;K·拉马斯瓦米;S·F·秀吉;清水大亮 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-27 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文中提供用于RF脉冲反射减少的方法。在一些实施例中，一种用于使用多电平脉冲RF功率在等离子体增强基板处理系统中处理基板的方法包括：接收用于处理基板的工艺配方，所述工艺配方包括来自多个RF发生器的多个脉冲RF功率波形；使用主RF发生器来产生具有基频和第一工作周期的晶体管‑晶体管逻辑(TTL)信号；为每个RF发生器设定乘数；将第一工作周期划分为高电平间隔和低电平间隔；确定用于每个RF发生器的频率命令集，并且将频率命令集发送至每个RF发生器，其中频率命令集包括每个RF发生器的频率设定点；以及将来自多个RF发生器的多个脉冲RF功率波形提供至工艺腔室。
具有乘数模式射频 rf 脉冲阻抗调谐

[发明专利]使用比例式热流体输送系统的基板载具-CN201580042920.2有效
发明人： P·克里米诺儿;J·斐;D·A·马洛尔;S·F·秀吉;B·L·梅斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2015-11-20 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：描述了一种基板载具，该基板载具使用比例式热流体输送系统。在一个示例中，装置包括热交换器，以向基板载具的流体通道提供热流体并且接收来自流体通道的热流体，流体通道中的热流体用以在基板处理期间控制载具的温度。比例阀控制从热交换器至流体通道的热流体的流速。温度控制器接收来自载具的热传感器的测得温度，且响应于该测得温度而控制比例阀以调整流速。
使用比例式流体输送系统基板载具

[发明专利]具有近似锯齿波脉冲的RF功率传输-CN201680054823.X有效
发明人：川崎胜正;S·F·秀吉;J·斐;D·清水 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文提供一种使用多电平脉冲RF功率来操作等离子体增强基板处理系统的方法。在一些实施例中，使用多电平脉冲RF功率来操作等离子体增强基板处理系统的方法包括以下步骤：提供第一多电平RF功率波形到处理腔室，所述第一多电平RF功率波形至少具有第一脉冲持续时间期间的第一功率电平、第二脉冲持续时间期间的第二功率电平、和第三脉冲持续时间期间的第三功率电平，以及在第一延迟周期之后，提供第二多电平RF功率波形到所述处理腔室，所述第二多电平RF功率波形至少具有第一脉冲持续时间期间的第一功率电平、第二脉冲持续时间期间的第二功率电平、及第三脉冲持续时间期间的第三功率电平。
具有近似锯齿脉冲 rf 功率传输

[发明专利]用于处理基板的射频功率传输调节-CN201680052167.X有效
发明人：川崎胜正;J·斐;S·秀吉 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-07-19 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本文提供使用脉冲射频(RF)功率操作等离子体增强基板处理系统的方法。在一些实施例中，使用脉冲射频(RF)功率操作等离子体增强基板处理系统的方法包括以下步骤：在第一时间周期期间以第一功率水平将第一脉冲RF功率波形提供到处理腔室，在第一时间周期期间以第一功率水平将第二脉冲RF功率波形提供到处理腔室，取得在第一时间周期期间提供的第一与第二脉冲RF功率波形所建立的第一反射功率，以及执行第一负载均衡处理来调整第一脉冲RF功率波形的第一功率水平，以补偿在第一时间周期期间所取得的反射功率，从而产生预设功率水平的传输功率。
用于处理射频功率传输调节

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共 4 条

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