“FEI 公司”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果83个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]补偿显微镜系统中的干涉-CN202310402500.7在审
发明人： L·马利;J·帕夫利;J·克鲁萨切克;L·布日内克 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-04-14 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：补偿显微镜系统中的干涉。本发明涉及用于补偿带电粒子束显微镜系统中的干涉的方法和系统。可以实现在采样持续时间内捕获从样本的辐照获得的数据的步骤。在该系统中，提供了用于捕获和/或存储该数据的相应数据存储装置。可以实现将采样持续时间的至少代表性部分划分成时间窗口以及针对每个时间窗口构造中间图像的另外的步骤。还实现了检测中间图像之间的偏移以及确定用于中间图像之间的偏移的补偿函数。在系统中，后面的步骤由相应的处理部件自动执行。中间图像之间的偏移可以是二维偏移，并且补偿函数表示中间图像随时间推移在二维中的偏移。
补偿显微镜系统中的干涉

[发明专利]用于对准多束系统的方法和系统-CN202310331681.9在审
发明人： J·斯托普卡;B·赛亚;R·瓦西纳;R·塞诺哈 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-03-30 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：用于对准多束系统的方法和系统。多束显微镜系统中的子束是基于拟合像差模型的系数来对准的。特别地，用于朝向样本引导子束的照明器是基于系数来调整的，以校正像差。这些系数是基于在样本平面中测量的子束位置而获得的。
用于对准系统方法

[发明专利]通过确定剩余距离来确定终点-CN202310286836.1在审
发明人： Z·奥雷穆斯;L·许布纳;J·斯塔雷克;T·翁德利奇卡 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-03-22 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：公开了用于使用从参考样品获取的数据来确定从活动样品的切割面到目标平面的距离的方法和设备。该活动样品和参考样品具有全等结构，允许将参考数据用作索引。将该切割面的SEM图像与该参考数据进行比较来确定该活动样品内的位置，从而确定到该目标平面的剩余距离。该技术可在离子束铣削的阶段之间重复应用，直到到达该目标平面处的终点为止。实现了一致、准确的终点确定。该技术适合于制备用于电子电路的TEM分析的5nm‑100nm厚的薄片，并且能够在广泛应用中使用。公开了变型。
通过确定剩余距离终点

[发明专利]用于在诸如透射电子显微镜的带电粒子设备中处置用于研究的样本的系统和方法-CN202310273473.8在审
发明人： B·吉里;D·沃伊捷赫;T·托马斯;H·雅罗斯拉夫;C·马丁 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明涉及一种样本处置和存储系统。该系统用于存储和处置被布置成在带电粒子显微镜中使用的样本，该样本可以是低温样本，诸如在低温透射电子显微镜中使用的低温电子显微镜样本。该系统包括用于存储多个样本的存储设备，和位于远离该存储设备的位置处的带电粒子设备(CPA)，诸如低温‑TEM。该系统进一步包括转移装置，该转移装置能够可释放地连接到该存储设备，并且也能够可释放地连接到该CPA。如本文所限定，该转移装置被布置成用于当连接到该存储设备时从该多个样本获取样本，并且被布置成用于当连接到该CPA时将该样本从该转移装置转移到该CPA。
用于诸如透射电子显微镜带电粒子设备处置研究样本系统方法

[发明专利]带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正-CN202310175175.5在审
发明人： E·弗兰肯;B·J·詹森 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-02-27 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正。带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作。在操作期间，带电粒子束微系统将带电粒子束引导至样本以产生图像。将束倾斜的时间序列以图案应用于被引导到样本的带电粒子束以产生图像的序列。在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时，捕捉图像序列中的至少一些图像。该图案被配置成引起图像序列中的图像之间的图像改变，其指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差。
带电粒子束显微中的光学测量校正

[发明专利]用于扫描电子显微镜图像的混合增强的系统和方法-CN202310122948.3在审
发明人： U·阿迪加 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-02-15 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G06T5/50 文献下载
摘要：本文公开了用于执行用于增强扫描电子显微镜(SEM)图像的混合机器学习方法的方法和系统。方法包括以下步骤：采集样本的区域的多个图像，该多个图像各自通过用脉冲式带电粒子束照射该样本而生成；放大每个单独图像以生成该样本的该区域的多个放大图像；以及将该多个放大图像组合以形成该样本的该区域的降噪图像。
用于扫描电子显微镜图像混合增强系统方法

[发明专利]具有改进EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜-CN201811488218.0有效
发明人： A.亨斯特拉;P.C.缇梅杰 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：涉及具有改进EELS/EFTEM模块的透射带电粒子显微镜。使用透射带电粒子显微镜的方法包括：试样固定器；源；照明器；成像系统；控制器，在方法中传感装置被选为EELS/EFTEM模块，其包括：入口平面；图像平面；狭缝平面；分散装置；分散装置与狭缝平面间的第一四极系列；狭缝平面与图像平面间的第二四极系列，分散装置和四极沿光轴设置，由此在光轴沿Z布置的笛卡尔坐标系中分散方向被定义成与X平行，其包括以下步骤：在第一四极系列中激发一个或多个四极，以将离开分散装置的离轴非分散YZ射线偏转到从狭缝平面到图像平面的光轴的旁轴路径上；在第二四极系列中激发单个四极或者一对相邻四极，以将能量分散束聚焦到图像平面上。
具有改进 eels eftem 模块透射带电粒子显微镜

[发明专利]用于TEM薄片制备的样品取向的方法-CN201811591747.3有效
发明人： T.维斯塔维勒;L.斯特拉克斯;A.普罗科瑟瓦;J.万哈拉;J.斯特拉瑞克 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2018-12-20 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H01J37/26 文献下载
摘要：公开了用于TEM薄片制备的样品取向的方法。衬底可对准以用于离子束铣削或其他检查或处理，其通过基于来自所述衬底的电子束反向散射从所述衬底获得电子沟道图案（ECP）或其他电子束反向散射图案。所述ECP随衬底晶体取向而变化，并且与处于最大值、最小值或中点处或附近的ECP图案值相关的倾斜角被用于确定衬底倾斜。然后使用连接所述衬底的倾斜台或通过调整离子束轴来补偿或消除此倾斜。在典型的实例中，电路衬底“块”被对准以用于离子束铣削以揭示用于评估电路处理的电路特征。
用于 tem 薄片制备样品取向方法

[发明专利]基于深度学习的样品定位-CN202310051050.1在审
发明人： S·伯恩;S·麦克莱 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2023-01-20 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G06V20/69 文献下载
摘要：基于深度学习的样品定位。本文公开科学仪器支持系统，以及相关的方法、计算装置和计算机可读介质。举例来说，在一些实施例中，一种用于由显微镜确定样品位置和相关联的载物台坐标的方法至少包括：使用导航相机获取装载在夹具上的多个样品的图像，所述图像在包含所述夹具和所述多个样品中的所有样品的视场处具有低分辨率；使用训练模型分析所述图像以识别所述多个样品；基于所述分析，将每个样品与所述夹具上的位置相关联；基于每个样品在所述夹具上的所述位置，将单独的载物台坐标信息与装载在所述夹具上的所述多个样品中的每个样品相关联；和基于所述多个样品中的第一样品的相关联的载物台坐标信息将保持所述夹具的载物台转换为第一载物台坐标。
基于深度学习样品定位

[发明专利]用于针对高反应性材料执行样品提取的系统和方法-CN202211718548.0在审
发明人： C·汤普森;D·埃利斯;A·斯托克斯;R·凯利;C·布谢-马奎斯 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本文中公开用于在样品操控器与带电粒子系统内的样品之间创建附接的方法和系统。方法包含使样品操控器平移使得其靠近样品，及对所述样品操控器的部分进行铣削使得去除部分。所述样品操控器的靠近所述样品的所述部分是由高溅射产率材料构成，且所述高溅射产率材料可以是运用带电粒子束铣削的材料，使得其从所述样品操控器去除。根据本公开，所述样品操控器的所述部分被铣削，使得被去除的高溅射产率材料中的至少一些重新沉积以在所述样品操控器与所述样品之间形成附接。
用于针对反应材料执行样品提取系统方法

[发明专利]用于对高反应性材料执行样品提取的系统和方法-CN202211742660.8在审
发明人： A·斯托克斯;C·巴格;B·范里尔;V·布罗登;焦成革;L·李;D·唐内特 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01N23/20008 文献下载
摘要：本文公开了用于在带电粒子显微镜系统内对高反应性材料执行样品提取和保护盖放置的方法和系统。所述方法包含在支撑结构中制备嵌套空隙；将样品的至少一部分转移到所述嵌套空隙中；以及研磨来自限定所述嵌套空隙的所述支撑结构的区域的材料。研磨来自所述支撑结构的所述区域的所述材料使得所述被去除的材料中的至少一些重新沉积以在所述样品和所述支撑结构的剩余部分之间形成附着结合。在各种实施例中，然后可以使用对所述样品的连续切片断层扫描、对所述样品的增强型可插入背散射检测器(CBS)分析和对所述样品的电子背散射衍射(EBSD)分析中的一者或多者来研究所述样品。
用于反应材料执行样品提取系统方法

[发明专利]静电镜色像差校正器-CN202211705066.1在审
发明人： A·亨斯特拉;A·穆罕默迪-盖达里 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： H01J37/153 文献下载
摘要：根据本公开，静电镜色像差（Cc）校正器包括本身包括多极子的静电电子镜。所述静电电子镜定位在所述校正器内，使得当所述校正器在使用中时，穿过所述校正器的电子束不会沿着所述镜的光轴入射在所述静电电子镜上。所述静电镜的镜物距等于所述静电镜的镜像距，并且所述静电镜被配置成使得所述静电镜不会将色散或彗形像差施加到所述电子束。所述多极子定位在所述静电电子镜的镜平面中，并且在一些实施例中，所述多极子是四极子。
静电镜色像差校正

[发明专利]用于确定束位置的方法和系统-CN202211655008.2在审
发明人： J·斯托普卡;B·塞亚;R·瓦西纳;R·塞吉诺哈 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：用于确定多个子束的位置的方法和系统包括：通过使所述子束在第一样本区域上进行扫描来执行第一扫描并获取多个单元图像；以及通过使所述子束在第二样本区域上进行扫描来执行第二扫描并获取多个单元图像。每个单元图像对应于一个子束，并且所述第一样本区域和所述第二样本区域之间的重叠区域的至少一部分在所述第一扫描和所述第二扫描两者期间均被多个子束扫描。然后可以基于在所述第一扫描和所述第二扫描期间获取的对应单元图像来确定每个子束的位置。
用于确定位置方法系统

[发明专利]基于热建模的热漂移校正-CN202211612347.2在审
发明人： H·范鲁芬;E·弗舒伦;R·拉默斯;T·范登奥特拉;M·维尔海恩;M·范文斯芬 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2022-12-15 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： G06T5/00 文献下载
摘要：基于热建模的热漂移校正。本发明涉及一种减少显微系统中样本和/或其图像的漂移的方法，其中所述方法包括确定所述样本的预期热漂移，以及基于所述预期热漂移而补偿所述样本和/或其图像的所述漂移。本发明还涉及一种对应显微系统以及用以执行根据本发明所述的方法的计算机程序产品。
基于建模漂移校正

[发明专利]带电粒子束源-CN202110305667.2有效
发明人：刘坤;S·J·伦道夫 -专利权人： FEI 公司
申请日： 2021-03-23 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01J37/065 文献下载
摘要：一种例如在电子显微镜中使用的带电粒子束源可包含：导电支撑构件，其联接到基座；安装构件，其联接到所述支撑构件且限定孔；以及发射器构件，其收纳在所述孔中且通过围绕所述孔中的所述发射器构件流动的固定液材料层保持。
带电粒子束

1
2
3
4
5
6
下一页»
尾页
共 83 条