[发明专利]带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正在审
申请号: | 202310175175.5 | 申请日: | 2023-02-27 |
公开(公告)号: | CN116666180A | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | E·弗兰肯;B·J·詹森 | 申请(专利权)人: | FEI公司 |
主分类号: | H01J37/26 | 分类号: | H01J37/26;H01J37/147 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张凌苗;吕传奇 |
地址: | 美国俄*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 带电粒子束显微术中的光学像差的测量和校正。带电粒子束显微镜系统以透射成像模式操作。在操作期间,带电粒子束微系统将带电粒子束引导至样本以产生图像。将束倾斜的时间序列以图案应用于被引导到样本的带电粒子束以产生图像的序列。在带电粒子束在束倾斜的时间序列中的一个束倾斜与束倾斜的时间序列中的顺序相邻的束倾斜之间转变时,捕捉图像序列中的至少一些图像。该图案被配置成引起图像序列中的图像之间的图像改变,其指示带电粒子束显微镜系统中的光学像差。 | ||
搜索关键词: | 带电 粒子束 显微 中的 光学 测量 校正 | ||
【主权项】:
暂无信息
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