专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有垂直沟槽的源极或漏极结构-CN202010128420.3在审
  • R.基奇;N.米努蒂洛;A.墨菲;A.布德列维奇;P.威尔斯 - 英特尔公司
  • 2020-02-28 - 2020-10-09 - H01L27/088
  • 描述了具有带有垂直沟槽的源极或漏极结构的集成电路结构。在示例中,集成电路结构包括鳍,所述鳍具有下鳍部分和上鳍部分。栅极堆叠处于所述鳍的所述上鳍部分之上,所述栅极堆叠具有与第二侧相对的第一侧。第一源极或漏极结构包括在所述栅极堆叠的所述第一侧被嵌入所述鳍中的外延结构。第二源极或漏极结构包括在所述栅极堆叠的所述第二侧被嵌入所述鳍中的外延结构。所述第一和第二源极或漏极结构的所述外延结构具有在其中居中的垂直沟槽。所述第一和第二源极或漏极结构包括硅和V族掺杂剂杂质。
  • 具有垂直沟槽结构
  • [发明专利]通过CVD蚀刻与淀积顺序形成的CMOS晶体管结区-CN201610281969.X有效
  • A.墨菲;G.格拉斯;A.韦斯特迈尔;M.哈滕多夫;J.万克 - 英特尔公司
  • 2006-01-04 - 2020-03-10 - H01L21/336
  • 本申请涉及“通过CVD蚀刻与淀积顺序形成的CMOS晶体管结区”。本发明是对换置源‑漏CMOS晶体管工艺的补充。处理工序可包括用一组设备在衬底材料中蚀刻一凹槽,然后在另一组设备中进行淀积。公开了一种在不暴露于空气的条件下、在同一反应器中进行蚀刻及后续淀积的方法。相对于“异处”蚀刻技术,用于交换源‑漏应用的“原处”蚀刻源‑漏凹槽具有若干优点。晶体管驱动电流通过下列方式获得了提高:(1)当蚀刻中表面暴露于空气时,消除硅‑外延层界面的污染,以及(2)精确控制蚀刻凹槽的形状。淀积可通过包括选择性和非选择性方法的多种工艺来完成。在等厚淀积中,还提出了一种避免性能临界区中的非晶态淀积的方法。
  • 通过cvd蚀刻顺序形成cmos晶体管

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