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[发明专利]带电粒子束装置-CN201811363931.2有效
发明人： 富松聪;麻畑达也;佐藤诚;铃木将人 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： H01J37/02 文献下载
摘要：提供带电粒子束装置，自动地重复进行摘出试样片并将其移设于试样片保持器的动作，该试样是通过基于离子束的试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机对聚焦离子束照射光学系统进行控制，以使得在通过针保持试样片后，设定包含与试样的加工时的深度方向对应的试样片的厚度方向的底部在内的整形加工区域，对整形加工区域照射聚焦离子束而对试样片进行整形加工。
带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN201810034839.5有效
发明人： 富松聪;佐藤诚;铃木将人 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-01-15 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；导通传感器，其检测试样片移置单元与对象物之间的导通；以及计算机，其在将试样片移置单元和试样片连接起来时导通传感器未检测到试样片移置单元与试样片之间的导通的情况下，设定时间管理模式。
带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN201810034728.4有效
发明人：铃木将人;富松聪;佐藤诚 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-01-15 - 公布日： 2021-10-15 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。
带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN201610086197.4有效
发明人： 富松聪;佐藤诚;上本敦;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2016-02-15 - 公布日： 2020-09-04 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供带电粒子束装置，其自动重复这样的动作：取出通过利用离子束的试样的加工而形成的试样片并使其移设到试样片保持器。该带电粒子束装置具有计算机，该计算机使用由吸收电流图像形成的模板、和从二次电子图像取得的针的前端坐标，以使针接近试样片的方式控制针驱动机构，该吸收电流图像是将带电粒子束照射到针而得到的，该二次电子图像是将带电粒子束照射到针而得到的。
带电粒子束装置

[发明专利]薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置-CN202010064575.5在审
发明人：铃木将人;中谷郁子;富松聪;佐藤诚 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：提供薄膜试样片制作方法和带电粒子束装置，能够抑制薄膜试样片的缺损。具有如下工序：从与试样(S)的表面的法线方向(z)交叉的第2方向照射会聚离子束(FIB2)而对试样(S)进行加工，从而制作出薄膜试样片(1)，并且制作出配置于试样(S)薄膜试样片(1)的厚度方向(x)的一侧并使薄膜试样片(1)连接于试样(S)的连结部(3)的工序；使试样(S)绕法线方向(z)旋转的工序；使对薄膜试样片(1)进行保持的探针连接于薄膜试样片(1)的工序；以及从与法线方向(z)交叉的第3方向向连结部(3)照射会聚离子束(FIB3)从而使薄膜试样片(1)从试样(S)分离出来的工序。
薄膜试样制作方法带电粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN201880021206.9在审
发明人：藤井利昭;富松聪;铃木浩之 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2018-03-27 - 公布日： 2019-11-19 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：带电粒子束装置具有：带电粒子束镜筒，其向试样照射带电粒子束；倾斜台(64A)，其具有能够对试样进行保持的第1试样保持部，将第1试样保持部保持为能够绕轴线(S1)进行转动；倾斜台(64B)，其具有能够对试样进行保持的第2试样保持部，将第2试样保持部保持为能够绕与轴线(S1)平行的轴线(S2)进行转动；以及驱动力提供部，其向倾斜台(64A、64B)提供使倾斜台(64A、64B)连动地转动的驱动力。
试样保持部倾斜台转动带电粒子束装置照射带电粒子束带电粒子束驱动力提供驱动力绕轴线镜筒连动平行

[发明专利]自动试样片制作装置-CN201510542307.9有效
发明人： 富松聪;佐藤诚;山本洋 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2015-08-28 - 公布日： 2019-11-05 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。
自动试样制作装置

[发明专利]带电粒子束装置-CN201910183164.5在审
发明人：铃木将人;富松聪;佐藤诚;麻畑达也 -专利权人：日本株式会社日立高新技术科学
申请日： 2019-03-12 - 公布日： 2019-10-15 - 主分类号： H01J37/20 文献下载
摘要：提供带电粒子束装置。自动反复进行摘出试样片而将其移设于试样片保持器的动作，其中，该试样片是通过离子束对试样的加工而形成的。带电粒子束装置具有计算机，该计算机实施如下控制：在不使将试样片固定在试样保持器上的针旋转的情况下，从带电粒子束照射光学系统对附着于针的沉积膜照射带电粒子束。
带电粒子束装置带电粒子束照射照射带电粒子束计算机实施试样保持器光学系统保持器沉积膜离子束附着计算机加工

[发明专利]带电粒子束装置以及使用该装置的试样制作方法-CN201480023150.2有效
发明人：土谷美树;长久保康平;富松聪 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2014-04-11 - 公布日： 2017-11-17 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：在用于观察耐热性弱的材料的试样制作中，能够观察刚刚制作出最终观察面后的纯净的状态。本发明的试样制作方法使用带电粒子束装置制作试样，该带电粒子束装置具备具有冷却机构的微型探针、具备将试样保持为冷却的状态的机构的第一试样保持器、能够导入上述微型探针和第一试样保持器的工作台，该试样制作方法具备从冷却保持的第一试样保持器上的试样切出块状的试样片的步骤；使该试样片与被冷却为一定温度的上述微型探针的前端粘连，并在上述带电粒子束装置的真空室内将该试样片转移到与第一试样保持器不同的冷却保持的薄膜观察用的第二试样保持器的步骤；在从微型探针切离了被转移到薄膜观察用试样保持器的该试样片后，将该试样片薄膜加工为比切出时的厚度薄的厚度的步骤；以及观察薄膜加工后的该试样片的步骤。
带电粒子束装置以及使用试样制作方法

[发明专利]荷电粒子束装置-CN201380010185.8有效
发明人：南里光荣;富松聪;关原雄 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2013-02-20 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： H01J37/244 文献下载
摘要：提供一种能够高分辨率检测从试样(101)释放的荷电粒子(201)，高灵敏度的荷电粒子束装置。在配置为与试样(101)接触，由此由于照射的荷电粒子束(104)在试样(101)产生的吸收电流在自身中流过来进行检测，通过荷电粒子束(104)在试样(101)上扫描取得吸收电流图像的荷电粒子束装置中，在离开试样(101)配置了吸收电流检测器(202)的情况下，吸收电流检测器(202)在通过荷电粒子束(101)的照射从试样(101)出射的荷电粒子束(201)入射时，将入射的荷电粒子束(201)作为信号电流(Ia)检测，该信号电流(Ia)依存于从荷电粒子束(104)在试样(101)上的照射位置向吸收电流检测器(202)的方向相对于试样(101)的表面的法线方向和荷电粒子束(104)的入射方向中的至少一个方向所形成的角度θ。
粒子束装置

[发明专利]带电粒子束装置及样品制作方法-CN201280028058.6有效
发明人：南里光荣;富松聪 -专利权人：株式会社日立高新技术
申请日： 2012-05-16 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： H01J37/317 文献下载
摘要：一种带电粒子束装置，在具有样品依赖性的FIB加工中，不受操作者的个人差异的影响，能够高效地加工成期望的形状。在带电粒子束装置中安装：将由离子源产生的离子束照射给样品的离子束光学系统装置及其控制装置；检测样品的组成元素的元素检测器及其控制装置；和基于由元素检测器确定的元素来自动设定样品的加工条件的中央处理装置。
带电粒子束装置样品制作方法

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