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- [发明专利]一种晶圆清洗干燥装置-CN202311138308.8在审
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刘玉菲;安丰伟;韩悦
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山东汉旗科技有限公司
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2023-09-05
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2023-10-10
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H01L21/67
- 本发明公开了一种晶圆清洗干燥装置，涉及晶圆干燥技术领域，包括转盘、第一流体盘和第二流体盘，所述转盘上设置有用于固定晶圆的夹持机构，所述夹持机构包括轴向移动环、往复驱动件、至少三个第一夹持头，以及至少三个第二夹持头；所述轴向移动环滑动装配于转盘上并仅能沿转盘的轴向滑动；所述往复驱动件用于驱动轴向移动环沿转盘的轴向方向往复滑动；至少三个第一夹持头和至少三个第二夹持头沿圆周方向间隔并固定在轴向移动环上。本发明通过夹持机构的设置，进一步地提高现有技术晶圆清洗干燥装置的干燥效果和干燥效率，同时使晶圆被夹持部分得到充分的清洗和干燥，避免产生清洗和干燥产生死角，影响对晶圆的清洗和干燥的效果。
- 一种清洗干燥装置
- [发明专利]一种芯片加工用吸附转移机构-CN202311113244.6在审
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刘玉菲;安丰伟;韩悦
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山东汉旗科技有限公司
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2023-08-31
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2023-09-29
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H01L21/683
- 本发明涉及芯片加工领域，具体是涉及一种芯片加工用吸附转移机构，包括支撑柱和转动设置在支撑柱顶部的方形块，方形块内部滑动设置有安装杆；安装杆一端设置有能够沿竖直方向往返移动的方形罩，方形罩底部设置有方形环槽，方形环槽内滑动设置有方形框，方形框的每个内壁均设置有条形穿槽，每个条形穿槽内均滑动设置有封堵板，方形框内部设置有用于对芯片位置进行调节的居中机构，方形框底部四边中心处设置有条形缺槽，每个条形缺槽内设置有条形缺槽进行遮挡的排气机构；通过居中机构，提高吸盘与芯片的有效接触面积，通过方形框的移动，使压缩气体能够携带灰尘从条形缺槽排出，提高吸盘的吸附效果，多个封堵板能够避免芯片在运输中掉落。
- 一种芯片工用吸附转移机构
- [发明专利]一种晶圆水平清洗装置-CN202311074362.0在审
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刘玉菲;安丰伟;韩悦
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山东汉旗科技有限公司
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2023-08-24
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2023-09-22
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H01L21/67
- 本发明涉及晶圆清洗领域，具体是涉及一种晶圆水平清洗装置，包括工作台和转动设置在工作台上的转动盘，转动盘外壁设置有多个固定环，每个固定环顶部设置有多个铰接孔，每个铰接孔内均设置有铰接杆，每个铰接杆上设置有扇形封堵板，多个扇形封堵板能够形成用于放置晶圆的平面；固定环内壁设置有多个用于避让扇形封堵板的避让槽，每个固定环上设置有能够对晶圆进行固定的限位机构，清洗机构设置在工作台上并能够使所述平面张开从而对晶圆两侧进行冲洗，工作台上还设置有用于将清洗完成的晶圆取出的卸料机构，本申请能够连续的对晶圆两侧进行清洗，并减少工作人员放置晶圆的时间，提高清洗效率。
- 一种水平清洗装置
- [发明专利]一种电源控制器分组冷备数字控制系统-CN202111544606.8有效
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王超;韩悦;刘锡洋;陈红;侯学龙;孙骥龙;朱洪雨
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深圳市航天新源科技有限公司
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2021-12-16
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2023-09-15
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B64G1/42
- 本发明提供了一种电源控制器分组冷备数字控制系统，包括：若干个数字控制单元PMU，所述PMU负责2路BCDR单元和3路S3R单元的功率调节；所述PMU包括PSR数字控制器、表决器、DMEA、DBCM1、DBCM2驱动单元；其中，所述数字控制单元为冷备设计，第一数字控制单元PMUi_R和第二数字控制单元PMUi_N互为冷备份，具有各自独立的辅助源。本发明实现了高度灵活的S3R架构卫星电源控制器全数字化设计，单个数字控制器可实现VMEA_D_O、VBCM_D_O、VMEA_D、VBCM_D计算、投票、表决和PSR数字控制，多路S3R单元和多路BCDR单元的闭环控制及遥测遥控，提高了电路集成度。在控制器切换过程中该子系统功率输出中断时间段内，母线误差放大器会调度其他子系统维持母线电压恒定，从而保证整机功率输出连续性。
- 一种电源控制器分组数字控制系统
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