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- [发明专利]测量传感器及测量装置-CN202311185739.X在审
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阮迪超;杨灏;金少峰
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深圳市深视智能科技有限公司
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2023-09-14
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2023-10-20
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G01B11/00
- 本申请提供了测量传感器及测量装置。测量传感器包括：发射传感头，包括间隔设置的第一透镜组及第二透镜组，第一透镜组用于将第一线偏振光转换为第一圆偏振光并透射至第二透镜组，第二透镜组用于将第一圆偏振光转换为第二圆偏振光并将第二圆偏振光反射至第一透镜组，第一透镜组还用于将第二圆偏振光反射至第二透镜组，第二透镜组还用于将第二圆偏振光转换为第二线偏振光并透射至待测物；及接收传感头，用于接收第二线偏振光并转换为测量信号，用于获取待测物的测量信息。本申请提供的测量传感器能够利用自身较小的尺寸获取大范围内的高精度对准测量。
- 测量传感器装置
- [发明专利]一种倾角位移传感器及光学防抖系统-CN202311166194.8在审
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王三宏;金少峰;齐波
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深圳市深视智能科技有限公司
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2023-09-11
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2023-10-17
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G01B11/02
- 本申请涉及一种倾角位移传感器及光学防抖系统，倾角位移传感器包括第一分束镜、第二分束镜和CMOS感光器；第二分束镜配置将穿过第一分束镜的检测激光线引导至待检传感器并将经过待检传感器反射的检测激光线反射至第一分束镜；第一分束镜配置为将经由第二分束镜反射的检测激光线反射至CMOS感光器；色散镜，配置为将检测多色光束进行色散；第三分束镜，配置为将经过色散且在待检传感器发生反射的多波长混合光线组反射至光阑处。本申请公开的倾角位移传感器及光学防抖系统，使用位移测量的光线与用于倾角测量的光线共轴的方式来避免位移测量值受待检面倾角测量值的影响，用以在能够以更快的速度进行检测的同时降低制造成本和减小空间占用。
- 一种倾角位移传感器光学系统
- [发明专利]线性度测量方法及线性度测量装置-CN202311099382.3在审
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阮迪超;杨灏;金少峰
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深圳市深视智能科技有限公司
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2023-08-30
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2023-09-29
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G01B11/00
- 本申请提供了线性度测量方法及线性度测量装置。所述线性度测量方法包括：接收准直光束照射至辅助测量板得到的衍射光束，其中，所述辅助测量板具有沿预设方向间隔设置且平行的多个开孔，且所述开孔具有沿所述预设方向相对设置的两个边缘；将所述衍射光束转换为波形信号，其中，所述波形信号包括多个衍射峰组，一个所述衍射峰组对应一个所述开孔的两个边缘；及根据所述多个衍射峰组的横坐标得到第一数据集合，根据多个所述边缘在所述预设方向上的坐标得到第二数据集合，并根据所述第一数据集合及所述第二数据集合得到传感器的线性度。本申请提供的线性度测量方法对传感器的线性度的测量速度快且测量成本低，从而提高了所述传感器的生产效率。
- 线性测量方法测量装置
- [发明专利]平行度测量探头及测量装置-CN202210443998.7有效
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王三宏;金少峰;王刚奎
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深圳市深视智能科技有限公司
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2022-04-26
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2023-03-21
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G01B11/26
- 本申请提供了一种平行度测量探头及测量装置。平行度测量探头包括第一透镜阵列，第一透镜阵列包括多个第一透镜，多个第一透镜将平行的第一光束分成会聚的多束第二光束并出射，然后经由多个第一透镜再分别接收返回的发散的多束第三光束并合成平行的第四光束；第二透镜阵列，第二透镜阵列与第一透镜阵列间隔平行设置，第二透镜阵列包括多个第二透镜，多个第二透镜将平行的第一光束分成会聚的多束第五光束并出射，然后经由多个第二透镜再分别接收返回的发散的多束第六光束并合成平行的第七光束；分束镜，分束镜对应第一透镜阵列设置；以及反射镜，反射镜对应第二透镜阵列设置。本申请提供的平行度测量探头能够提高两物面平行度测量的精度。
- 平行测量探头装置
- [发明专利]测距装置及测距方法-CN202210890443.7有效
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王三宏;金少峰;杨灏
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深圳市深视智能科技有限公司
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2022-07-27
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2022-12-02
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G01S17/08
- 本申请提供了一种测距装置及测距方法。测距装置包括：宽谱光源，用于输出初始高斯光束；光分合器，用于将初始高斯光束分束为第一高斯光束及第二高斯光束；测距探头，用于将第一高斯光束转换为第一贝塞尔光束并输出至待测物面，并将返回的第一光束转换为第二光束；参考组件，透镜组件用于将第二高斯光束转换为第三光束出射至参考物面，并将返回的第四光束转换为第五光束；光分合器还用于将第五光束与第二光束合束为第六光束；光谱仪，接收第六光束并进行功率谱测量得到干涉功率谱；以及数据处理机，接收干涉功率谱并计算光程差。本申请提供的测距装置在提高横向采样分辨率的同时，还提高了纵向测距量程，并保持了量程范围内横向采样分辨率的一致。
- 测距装置方法
- [发明专利]测厚探头、测厚装置及测厚方法-CN202210890444.1有效
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王三宏;金少峰;杨灏
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深圳市深视智能科技有限公司
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2022-07-27
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2022-12-02
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G01B11/06
- 本申请提供了一种测厚探头、测厚装置及测厚方法。测厚探头包括：准直镜，用于将发散的第一高斯光束转换为准直的第二高斯光束；以及光束转换组件，与准直镜间隔设置，用于将第二高斯光束转换为第一贝塞尔光束，输出的第一贝塞尔光束出射至透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面，光束转换组件还用于分别接收透明或半透明待测平板或薄膜的两个界面反射的两束第一光束，并转换合成准直的第二光束，第二光束经由准直镜转换为会聚的第三光束，第三光束用于计算透明或半透明待测平板或薄膜的厚度。本申请提供的测厚探头通过光束转换输出第一贝塞尔光束进行测厚提高了测量量程，且在量程范围内保持了横向采样分辨率的一致。
- 探头装置方法
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