“野口耕平”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果12个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN202011144145.0有效
发明人：林圣人;野口耕平;饭塚建次;饭田成昭 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-06-03 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供在包括多个流体供给路径的基板处理装置中，当检测流过各供给路径的流体所包含的异物时能够防止装置的大型化和制造成本上升的技术。该基板处理装置包括：测定用的流路部，其为要供给到基板的流体的多个供给路径各自的一部分，构成流体中的异物的测定区域，彼此排成列地设置；光照射部，共用于上述多个流路部，用于在上述流路部形成光路；移动机构，为了在上述多个流路部中所选择的流路部内形成光路，使上述光照射部沿着上述流路部的排列方向相对移动；受光部，包括用于接收透射上述流路部的光的受光元件；和检测部，用于基于从上述受光元件输出的信号检测上述流体中的异物。由此，能够减小必要的光照射部的数量，并实现装置的缩小化。
处理装置方法

[发明专利]异物检测装置、基板处理装置以及异物检测装置的动作确认方法-CN202180022635.X在审
发明人：西畑广;志手英男;林圣人;野口耕平;东广大 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-03-15 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： G01N21/53 文献下载
摘要：异物检测装置(50)是构成为检测基板处理用的处理液中包含的异物的装置。该异物检测装置具备：处理液流路形成部，其形成供向基板供给的处理液流通的处理液流路；检查液流路形成部，其形成供与处理液不同的检查液流通的检查液流路(65)；照射部(74)，其构成为朝向处理液流路和检查液流路分别照射来自光源的照射光；以及受光部(76)，其构成为分别接受通过照射照射光而从处理液流路射出的光和通过照射照射的而从检查液流路射出的光。
异物检测装置处理以及动作确认方法

[发明专利]异物检测装置、基板处理装置、异物检测方法和存储介质-CN202180018605.1在审
发明人：林圣人;野口耕平;东广大 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G01N21/85 文献下载
摘要：异物检测装置包括：检测部，其具有流路形成部和测量部，流路形成部形成供对基板供给的处理液流动的处理液流路，测量部能够通过对处理液流路照射来自光源的照射光来接收从该处理液流路射出的出射光；异物判断部，其能够基于出射光的信号强度，判断处理液内是否含有异物；和强度信息获取部，其能够基于信号强度，获取表示出射光中包含的背景光的强度的强度信息。
异物检测装置处理方法存储介质

[发明专利]异物检测装置、异物检测方法和存储介质-CN201880007243.4有效
发明人：林圣人;野口耕平;梶原大介;东广大 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2022-02-22 - 主分类号： G01N21/85 文献下载
摘要：本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的异物的技术。装置包括：流路部(15A～15K)，其构成要被供给到被处理体W的流体流动的流路(17A～17K)；激光照射部(51)，其用于以光路与流路部(15A～15K)中的流体的流动方向交叉的方式对该流路部(15A～15K)内照射激光；设置在从流路部(15A～15K)透射的光路上的受光元件(45A、45B)；检测部(6)，其用于基于从受光元件(45A、45B)输出的信号来检测流体中的异物；和滤光部(57)，其设置在受光元件(45A、45B)与流路部(15A～15K)之间的光路上，遮挡从光照射部(51)对流体照射光而产生的拉曼散射光，并且使瑞利散射光透射而去往受光元件(45A、45B)。
异物检测装置方法存储介质

[发明专利]基片处理装置和基片处理方法-CN202110813658.4在审
发明人：东广大;林圣人;野口耕平 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2022-02-18 - 主分类号： B05B9/04 文献下载
摘要：本发明提供一种对流通有要供给到基片的液体的供给路径中的杂质进行光学检测的基片处理装置和基片处理方法。该基片处理装置包括：使要供给到基片的液体流通的供给路径；和杂质检测单元，其基于信号来检测所述液体中的杂质，其中所述信号是由投光部向形成所述供给路径的一部分的流路形成部照射作为近红外线的光而使光从所述流路形成部发出后，受光部接收从所述流路形成部发出的光而得到的信号。根据本发明，能够使基片处理装置应用更多种类的液体。
处理装置方法

[发明专利]药液供给装置和涂敷显影系统-CN202110980343.9在审
发明人：林圣人;野口耕平;梶原大介;东广大 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2021-11-26 - 主分类号： G01N15/14 文献下载
摘要：本发明提供一种药液供给装置和涂敷显影系统，其能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物。本发明的药液供给装置包括：供流体流动的流路部；激光照射部，其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置，用于对该流路部内照射来自激光光源的激光，并且上述激光照射部具有光学系统，该光学系统使激光以在与上述流路部的流体的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其设置在透射上述流路部的光路上，且包含排列在光路的横截面中的长度方向上的多个受光元件；和异物检测部，其将根据上述多个受光元件各自接收的光的强度所对应的电信号的信号电平而得到的信号电平，与规定的信号电平的阈值进行比较，基于比较结果检测上述异物。
药液供给装置显影系统

[发明专利]异物检测装置和异物检测方法-CN201780007489.7有效
发明人：林圣人;野口耕平;梶原大介;东广大 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2017-01-10 - 公布日： 2021-09-21 - 主分类号： G01N15/14 文献下载
摘要：【技术问题】本发明提供一种能够高精度地检测在流路部流动的微小的异物的技术。【技术方案】本发明的异物检测装置包括：供流体流动的流路部；激光照射部，其以光路与上述流路部中的流体的流动方向交叉的方式设置，用于对该流路部内照射来自激光光源的激光，并且上述激光照射部具有光学系统，该光学系统使激光以在与上述流路部的流体的流动方向交叉的方向上变长的方式扁平化；光检测部，其设置在透射上述流路部的光路上，且包含排列在光路的横截面中的长度方向上的多个受光元件；和异物检测部，其将根据上述多个受光元件各自接收的光的强度所对应的电信号的信号电平而得到的信号电平，与规定的信号电平的阈值进行比较，基于比较结果检测上述异物。
异物检测装置方法

[实用新型]基板处理装置和基板处理系统-CN202020143435.2有效
发明人：林圣人;野口耕平;东广大;绪方诚 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供基板处理装置和基板处理系统。使光学检测供向基板供给的流体流通的供给路径中的异物的基板处理装置小型化。基板处理装置包括：供给路径，其供向基板供给的流体流通；以及异物检测单元，所述供给路径的局部构成流路形成部，该异物检测单元利用投光部形成有朝向该流路形成部的光，作为其结果，自所述流路形成部发出光，该异物检测单元能够基于受光部接收自所述流路形成部发出的光而得到的信号来检测所述流体中的异物，其中，所述异物检测单元中的所述投光部和所述受光部设于以所述流路形成部为基准的上下左右前后的区域中的不相对的区域。
处理装置系统

[发明专利]基板处理装置和基板处理方法-CN201610390357.4有效
发明人：林圣人;野口耕平;饭塚建次;饭田成昭 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2016-06-03 - 公布日： 2020-11-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供在包括多个流体供给路径的基板处理装置中，当检测流过各供给路径的流体所包含的异物时能够防止装置的大型化和制造成本上升的技术。该基板处理装置包括：测定用的流路部，其为要供给到基板的流体的多个供给路径各自的一部分，构成流体中的异物的测定区域，彼此排成列地设置；光照射部，共用于上述多个流路部，用于在上述流路部形成光路；移动机构，为了在上述多个流路部中所选择的流路部内形成光路，使上述光照射部沿着上述流路部的排列方向相对移动；受光部，包括用于接收透射上述流路部的光的受光元件；和检测部，用于基于从上述受光元件输出的信号检测上述流体中的异物。由此，能够减小必要的光照射部的数量，并实现装置的缩小化。
处理装置方法

[发明专利]基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法-CN202010074294.8在审
发明人：林圣人;野口耕平;东广大;绪方诚 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-01-22 - 公布日： 2020-07-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基板处理装置、基板处理系统以及基板处理方法。使光学检测供向基板供给的流体流通的供给路径中的异物的基板处理装置小型化。基板处理装置包括：供给路径，其供向基板供给的流体流通；以及异物检测单元，所述供给路径的局部构成流路形成部，该异物检测单元利用投光部形成有朝向该流路形成部的光，作为其结果，自所述流路形成部发出光，该异物检测单元能够基于受光部接收自所述流路形成部发出的光而得到的信号来检测所述流体中的异物，其中，所述异物检测单元中的所述投光部和所述受光部设于以所述流路形成部为基准的上下左右前后的区域中的不相对的区域。
处理装置系统以及方法

[实用新型]用于管状编织体制造机的线材供给装置-CN200420022556.2无效
发明人： 野口耕平;久保启治;西胁康文 -专利权人：上海哈依投资咨询有限公司;共立株式会社
申请日： 2004-05-09 - 公布日： 2006-01-25 - 主分类号： D04C3/14 文献下载
摘要：一种用于管状编织体制造机的线材供给装置，由机架和线材张力调节机构构成，线材张力调节机构由张力检测机构和制动装置构成，张力检测机构由固定滚筒组和浮动滚筒机构构成，浮动滚筒机构由浮动滚筒、支撑轴和传动杆构成，机架中设置有切口槽，支撑轴设置在切口槽中，传动杆与支撑轴垂直固定连接，传动杆通过传动杆座和导向滚筒组设置在机架中，传动杆中段为截头圆锥体，制动装置由机械臂和制动蹄构成，机械臂通过转轴设置在机架上，机械臂上穿设有螺杆，螺杆一端与截头圆锥体接触，本实用新型采用浮动滚筒检测线材张力，传动杆运动方向垂直于旋转台旋转半径，可以克服旋转台的离心力，防止传动杆发生偏离轴向的位移，保持正常的线材张力自动调节。
用于管状编织体制线材供给装置

[发明专利]一种管状编织体制造机的线材供给机构-CN200410018186.X无效
发明人： 野口耕平;久保启治;西胁康文 -专利权人：上海哈依环境工程有限公司;共立株式会社
申请日： 2004-05-09 - 公布日： 2005-11-09 - 主分类号： D04C3/14 文献下载
摘要：一种管状编织体制造机的线材供给机构，由机架和线材张力调节机构构成，线材张力调节机构由张力检测机构和制动装置构成，张力检测机构由固定滚筒组和浮动滚筒机构构成，浮动滚筒机构由浮动滚筒、支撑轴和传动杆构成，机架中设置有切口槽，支撑轴设置在切口槽中，传动杆与支撑轴垂直固定连接，传动杆通过传动杆座和导向滚筒组设置在机架中，传动杆中段为截头圆锥体，制动装置由机械臂和制动蹄构成，机械臂通过转轴设置在机架上，机械臂上穿设有螺杆，螺杆一端与截头圆锥体接触，本发明采用浮动滚筒检测线材张力，传动杆运动方向垂直于旋转台旋转半径，可以克服旋转台的离心力，防止传动杆发生偏离轴向的位移，保持正常的线材张力自动调节。
一种管状编织体制线材供给机构

1
共 12 条