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[发明专利]机器人输送装置-CN201680065918.1有效
发明人： 重田贵司;河合俊宏;竹內晴纪;须田佳雅;五味久;尾崎成则 -专利权人：昕芙旎雅有限公司
申请日： 2016-10-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：使整个输送空间的气体循环。机器人输送装置(1)具有：供输送机器人(20)配置的输送空间(10)；以及多个循环流路(30)，其用于使输送空间(10)内的气体循环。在输送空间(10)的周边配置有成为由输送机器人(20)输送的输送物的输送目的地的多个周边空间(50)。输送空间(10)经由多个开口(15)与多个周边空间(50)分别连通。多个循环流路(30)以避开包括多个开口(15)在内的输送机器人(20)的作业区域(20R)的方式设置于隔着输送空间(10)的位置。多个循环流路(30)设置于形成输送空间(10)的柱构件(10P1～10P10)的内部。
机器人输送装置

[发明专利]EFEM和装载端口-CN202210951196.7在审
发明人：河合俊宏;谷山育志;小宫宗一;重田贵司 -专利权人：昕芙旎雅有限公司
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供在使FOUP和EFEM连通时防止大气进入到FOUP和EFEM内的门开闭系统和具备门开闭系统的装载端口。该门开闭系统包括：基体(41)，其构成将输送空间与外部空间隔离的壁的一部分；开口部(92)，其设于基体；门(81)，其能够开闭开口部；第1密封构件(94)，其用于将基体和容器(7)之间密封；第2密封构件(96)，其用于将基体和门之间密封；密闭空间，在处于容器隔着第1密封构件与开口部相抵接的状态时，该密闭空间由基体、第1密封构件、第2密封构件、盖体(72)以及门构成；第1气体注入部(87)，其用于向密闭空间注入气体；以及第2气体排出部(88)，其用于对密闭空间进行排气。
efem 装载端口

[发明专利]门开闭系统和具备门开闭系统的装载端口-CN202210951218.X在审
发明人：河合俊宏;谷山育志;小宫宗一;重田贵司 -专利权人：昕芙旎雅有限公司
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供在使FOUP和EFEM连通时防止大气进入到FOUP和EFEM内的门开闭系统和具备门开闭系统的装载端口。该门开闭系统包括：基体(41)，其构成将输送空间与外部空间隔离的壁的一部分；开口部(92)，其设于基体；门(81)，其能够开闭开口部；第1密封构件(94)，其用于将基体和容器(7)之间密封；第2密封构件(96)，其用于将基体和门之间密封；密闭空间，在处于容器隔着第1密封构件与开口部相抵接的状态时，该密闭空间由基体、第1密封构件、第2密封构件、盖体(72)以及门构成；第1气体注入部(87)，其用于向密闭空间注入气体；以及第2气体排出部(88)，其用于对密闭空间进行排气。
开闭系统具备装载端口

[发明专利]气体注入装置-CN201680050926.9有效
发明人：河合俊宏;谷山育志;小宫宗一;重田贵司 -专利权人：昕芙旎雅有限公司
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种在向FOUP填充气体时防止大气进入的气体注入装置。为此，该气体注入装置包括：喷嘴主体(71)，其具有用于供给非活性气体的气体供给口(72)和连通于气体供给口(72)的气体流路(77)；开闭机构(92)，其用于开闭气体供给口(72)；以及开放部件(96)，其用于将被开闭机构(92)封闭的气体供给口(72)开放。
气体注入装置

[发明专利]门开闭系统和具备门开闭系统的装载端口-CN201680045424.7有效
发明人：河合俊宏;谷山育志;小宫宗一;重田贵司 -专利权人：昕芙旎雅有限公司
申请日： 2016-07-12 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供在使FOUP和EFEM连通时防止大气进入到FOUP和EFEM内的门开闭系统和具备门开闭系统的装载端口。该门开闭系统包括：基体(41)，其构成将输送空间与外部空间隔离的壁的一部分；开口部(92)，其设于基体(41)；门(81)，其能够开闭开口部(92)；第1密封构件(94)，其用于将基体(41)和容器(7)之间密封；第2密封构件(96)，其用于将基体(41)和门(81)之间密封；密闭空间，在处于容器(7)隔着第1密封构件(94)与开口部(92)相抵接的状态时，该密闭空间由基体(41)、第1密封构件(94)、第2密封构件(96)、盖体(72)以及门(81)构成；第1气体注入部(87)，其用于向密闭空间注入气体；以及第2气体排出部(88)，其用于对密闭空间进行排气。
开闭系统具备装载端口

[发明专利]喷嘴单元-CN201680050938.1有效
发明人：河合俊宏;重田贵司;吉川雅顺 -专利权人：昕芙旎雅有限公司
申请日： 2016-08-19 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供一种防止在向FOUP填充气体时大气进入的喷嘴单元。因此，该喷嘴单元包括：喷嘴主体(71)，其具有连通于用于收纳收纳物的容器(7)的气体供给口(72)和连通于气体供给口(72)的气体流路(77)；供给喷嘴(78)，其连接于气体流路(77)，用于经由气体供给口(72)向容器供给气体；以及排气喷嘴(83)，其连接于气体流路(77)，用于对气体流路(77)进行排气。
喷嘴单元

[发明专利]装载端口-CN201780021499.6在审
发明人：三浦辰弥;小仓源五郎;重田贵司;小笠原幸雄;河合俊宏;谷山育志 -专利权人：昕芙旎雅有限公司
申请日： 2017-03-16 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明提供能够在使FOUP朝向门移动时防止FOUP和门接触、并防止装载端口与FOUP或门之间的密封被解除的装载端口。因此，该装载端口包括：基部(21)、开口部(43)、门(51)、用于将基部(21)和容器(7)之间密封的第1密封构件(43)以及用于将基部(21)和门(51)之间密封的第2密封构件(44)，在将容器(7)载置于用于载置容器(7)的载置台(24)之后，使门(51)从初始位置向与容器(7)相反的方向退避，在该初始位置处，门(51)与所述第2密封构件(44)抵接且门(51)的容器(7)侧的端面处于比门(51)与第2密封构件(44)的抵接面靠容器(7)侧的位置。
密封构件装载端口基部密封抵接面开口部门移动载置台抵接或门退避载置

[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置-CN200980112752.4有效
发明人：清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：一种薄膜太阳能电池制造装置包括：收容基板的成膜室；以及在该成膜室内对所述基板通过CVD法进行膜形成的电极单元，所述电极单元具有：阳极和阴极；以及侧壁部，所述侧壁部保持该阳极和阴极，构成所述成膜室的壁部的一部分，进一步对于所述成膜室装卸自如。
薄膜太阳能电池制造装置

[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置-CN200980112754.3有效
发明人：清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;神保洋介;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行;桥本征典;若松贞次 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-05 - 公布日： 2011-04-13 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜空间(81)，以基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板(W)，并通过CVD法将希望的膜形成在所述成膜面上；阴极单元(68、118、128)，具有施加有电压的阴极(75)和两个以上的供电点(88)，所述阴极(75)配置在两侧；以及阳极(67)，与配置在所述阴极单元(68、118、128)的两侧的所述阴极(75)隔开并对置地配置。
薄膜太阳能电池制造装置

[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置-CN200980112942.6有效
发明人：清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：一种薄膜太阳能电池制造装置，具有：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；移动轨道，铺设于成膜室和放入取出室；托架，保持基板并沿着移动轨道移动；以及使托架移动的托架移送机构，托架移送机构设置在放入取出室，使托架在成膜室与放入取出室之间移动。
薄膜太阳能电池制造装置

[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置-CN200980112427.8有效
发明人：清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-04 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明的薄膜太阳能电池制造装置具有：成膜室，以基板的成膜面与重力方向大致平行的方式配置所述基板，在所述成膜面上通过CVD法形成膜；电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；以及搬送部，支撑所述基板，将所述基板搬送到所述阴极与对置于所述阴极的所述阳极之间，所述间隔距离可变。
薄膜太阳能电池制造装置

[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置-CN200980112941.1有效
发明人：清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行;齐藤一也 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-03 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H01L21/205 文献下载
摘要：一种薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜室，被排气以减压并通过CVD法在基板上形成膜；放入取出室，与所述成膜室经由第一开闭部连接，并能够在大气压与减压之间切换；第一托架，保持成膜处理前的基板；以及第二托架，保持成膜处理后的基板，所述放入取出室同时收容所述第一托架与所述第二托架。
薄膜太阳能电池制造装置

[发明专利]薄膜太阳能电池制造装置-CN200980112428.2有效
发明人：清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行;桥本征典;若松贞次 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-04 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： H01L31/04 文献下载
摘要：本发明的薄膜太阳能电池制造装置包括：成膜室，在基板的成膜面上通过CVD法形成膜；电极单元，具有：施加有电压的阴极被配置在两侧的阴极单元、以及与所述各阴极分别对置且隔开间隔距离配置的一对阳极；掩膜，覆盖所述基板的周缘部；以及排气管道，设置在所述阴极单元的周围，在所述阴极单元与设置在所述阳极侧的所述基板之间形成成膜空间，在所述掩膜与所述阴极单元之间形成排气通道，所述排气管道与所述成膜空间经由所述排气通道连接，导入所述成膜空间的成膜气体通过所述排气通道从所述排气管道排出。
薄膜太阳能电池制造装置

[发明专利]成膜装置-CN200980112430.X有效
发明人：清水康男;小形英之;松本浩一;野口恭史;若森让治;冈山智彦;森冈和;杉山哲康;重田贵司;栗原広行 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2009-06-05 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： C23C16/54 文献下载
摘要：一种成膜装置包括：成膜室(11)，在真空中将希望的膜成膜在基板(W)上；放入取出室(13)，经由第一开闭部(25)被固定于所述成膜室(11)，并能将内部减压为真空气氛；第二开闭部(36)，设置在所述放入取出室(13)的、与设置有所述第一开闭部(25)的面相反的面上；以及托架(21)，以所述基板(W)的成膜面与重力方向大致平行的方式保持所述基板(W)，所述托架或所述基板(W)通过所述第二开闭部(36)被搬入、搬出所述放入取出室(13)，在所述放入取出室(13)中并列配置多个所述托架(21)，在所述放入取出室(13)与所述成膜室(11)之间所述多个托架(21)被并列地搬入或搬出，在所述成膜室(11)中对保持在所述多个托架(21)上的多个所述基板(W)同时进行成膜。
装置

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