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[发明专利]改善腔体清洁效率的方法-CN202310782734.9在审
发明人：王诗昊;张瑜;曹永峰;曾招钦;鲍宇;郭晓清 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-06-29 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供一种改善腔体清洁效率的方法，所述方法包括：提供一能够实现原子层沉积工艺的腔体，所述腔体内有在形成铝钛合金薄膜的过程中产生的铝基附产物；将设于基座上的加热组件的位置随所述基座升至最高点，并在420℃～450℃的温度下加热4～8小时，且在加热的过程中使用氩气进行吹扫以清洁所述腔体，其中，所述基座设于所述腔体内，且其高度能够调节。通过本发明解决了现有的腔体清洁效率较低的问题。
改善清洁效率方法

[发明专利]一种用于γ点源的测量装置和数据处理方法-CN202310003161.5在审
发明人：朱保吉;姚顺和;朱亨;陈细林;刁立军;郭晓清;刘蕴韬;姚艳玲;王亚;吕晓侠;郭维;孟军 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2023-01-03 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： G01T1/36 文献下载
摘要：本申请涉及放射性测量技术领域，提供了一种用于γ点源的测量装置和数据处理方法，测量装置包括第一探测器、第二探测器和处理设备。第一探测器用于将γ点源发射的X射线转换为第一脉冲信号；第二探测器用于将γ点源发射的γ射线转换为第二脉冲信号；处理设备分别与第一探测器和第二探测器通信连接，处理设备能够根据第一脉冲信号和第二脉冲信号获取γ点源的活度值。本申请提供的一种用于γ点源的测量装置和数据处理方法，能够直接对γ点源进行测量。
一种用于测量装置数据处理方法

[发明专利]一种量值传递方法-CN202210260921.6在审
发明人： 郭晓清;陈细林;刁立军;刘蕴韬;徐利军;姚顺和;朱亨;朱保吉;吕晓侠 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： G01T7/00 文献下载
摘要：本申请涉及放射性活度计量领域，提供一种量值传递方法，所述方法包括：m个计量标准装置对应测量m个待测源，获取对应m个待测源活度，在同一传递标准装置与m个计量标准装置的测量条件一致下，传递标准装置在对应测量条件下测量同一豁免参考源与各个计量标准装置对应的待测源，获取m个参考源计数率和m个待测源计数率；根据m个待测源活度、参考源计数率和待测源计数率，得到m个等效活度；根据m个等效活度，确定m个对应计量标准装置的达标结果。利用豁免参考源和传递标准装置在多个不同的计量标准装置之间传递，实现多个不同计量标准装置达标结果判断，摆脱利用标准源或标准溶液传递进行比对的限制，并降低放射源流通过程中的辐射安全风险。
一种量值传递方法

[发明专利]一种放射性气体模拟标准源的制备方法-CN201810492172.3有效
发明人：杨巧玲;郭晓清;吕晓侠;刁立军;姚顺和;姚艳玲;孟军;邢雨 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2018-05-22 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G01T7/02 文献下载
摘要：本发明属于放射性物质检测技术领域，涉及一种放射性气体模拟标准源的制备方法。所述的制备方法是在向基质材料表面添加粘附剂1.5‑3分钟后再向基质材料表面滴加比活度准确已知的放射性溶液，由此制备得到所述的放射性气体模拟标准源。利用本发明的放射性气体模拟标准源的制备方法，能够更好的制备放射性气体模拟标准源。
一种放射性气体模拟标准制备方法

[实用新型]一种放射性活度传递测量装置-CN201820777143.7有效
发明人： 郭晓清;刁立军;杨巧玲;陈细林;姚顺和 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： G01T1/202 文献下载
摘要：本公开属于放射性活度计量领域，特别涉及一种放射性活度传递测量装置，包括：屏蔽室、探测器、支撑台和参考源；其中探测器设置在屏蔽室内，并且探测器为井型NaI(Tl)晶体组成的闪烁探测器；支撑台，用于支撑屏蔽室；参考源放置在探测器内。从而实现一种体积小、重量轻的便携式放射性活度传递与测量装置及其测量方法。
放射性活度探测器传递测量装置参考源屏蔽室支撑台闪烁探测器测量装置计量领域晶体组成体积小重量轻井型屏蔽测量室内传递支撑

[发明专利]一种放射性活度传递测量装置及其活度测量方法-CN201810498339.7在审
发明人： 郭晓清;刁立军;杨巧玲;陈细林;姚顺和 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2018-11-13 - 主分类号： G01T1/202 文献下载
摘要：本公开属于放射性活度计量领域，特别涉及一种放射性活度传递测量装置，包括：屏蔽室、探测器、支撑台和参考源；其中探测器设置在屏蔽室内，并且探测器为井型NaI(Tl)晶体组成的闪烁探测器；支撑台，用于支撑屏蔽室；参考源放置在探测器内。一种放射性活度测量方法，包括：a.开机、预热、检验探测器分辨率；b.对探测器进行能量刻度；c.测量本底能谱；d.测量待测样品能谱；e.读取样品的全谱计数率，得到样品净计数率n；f.将待测样品净计数率n与总效率带入式A＝n/ε_T中；g.计算得出待测样品活度A。从而实现一种体积小、重量轻的便携式放射性活度传递与测量装置及其测量方法。
探测器放射性活度待测样品计数率测量传递测量装置参考源屏蔽室支撑台活度放射性活度测量读取检验探测器闪烁探测器本底能谱测量装置计量领域晶体组成能量刻度分辨率体积小重量轻总效率预热屏蔽井型能谱全谱开机室内传递支撑

[发明专利]一种数字化放射性惰性气体¹³³Xe活度符合测量装置-CN201711267286.X在审
发明人：吕晓侠;武昌平;姚顺和;刁立军;杨巧玲;陈细林;孟军;姚艳玲;郭晓清;邢雨 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2017-12-05 - 公布日： 2018-06-12 - 主分类号： G01T1/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种数字化放射性惰性气体¹³³Xe活度符合测量装置，包括设置在屏蔽体内部的γ射线探测器和β射线探测器，所述的γ射线探测器为井型NaI(Tl)探测器，所述的β射线探测器为内充气正比计数管，所述内充气正比计数管沿轴向插入井型NaI(Tl)探测器中，所述的井型NaI(Tl)探测器和内充气正比计数管分别与数据获取分析系统的数字采集卡相连接，数据获取分析系统对井型NaI(Tl)探测器和内充气正比计数管的输出信号进行数据采集并进行β‑γ符合计算。本装置采用符合方法，能够对单一核素活度进行分析，减少其它干扰核素的影响，有效提高测量的准确性。
射线探测器正比计数管探测器井型充气活度放射性惰性气体测量装置分析系统数据获取数字化数字采集卡输出信号数据采集体内部屏蔽轴向测量分析

[发明专利]金属垫的形成方法及半导体结构-CN201310232232.5有效
发明人： 郭晓清;徐俊;龚春雷;吕乐;周真 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2013-06-09 - 公布日： 2017-10-31 - 主分类号： H01L21/60 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属垫的形成方法及半导体结构。包括在衬底上形成覆盖金属互连线的第一隔离层TaN、第二隔离层Ti和第三隔离层TiN，从而使得整个晶圆的金属垫两端的电势差变得趋于一致，甚至差异很小，就使得可靠性测试时离散程度小，有利于提高良率，此外，由于隔离层的增加，使得在形成金属垫时的填充（gap fill）变得容易，也有利于提高器件的性能。
金属形成方法半导体结构

[实用新型]超低本底α电离室-CN201420766440.3有效
发明人：姚顺和;杨巧玲;姚艳玲;吕晓侠;刁立军;陈细林;汪建清;郭晓清;孟军;邢雨 -专利权人：中国原子能科学研究院
申请日： 2014-12-08 - 公布日： 2015-10-07 - 主分类号： H01J47/02 文献下载
摘要：本实用新型属于放射性测量技术领域，公开了一种超低本底α电离室。该电离室包括一个圆柱形的腔体和屏蔽体，其中腔体位于屏蔽体内且位于屏蔽体底部的中心位置；腔体顶部的下表面设置有圆形的阳极和圆环形保护极，阳极和保护极的工作电压相同且均作为收集极，阳极、保护极及圆柱形腔体顶部的圆心位置一致，保护极位于阳极的外侧且与阳极之间绝缘；腔体的底部设置有样品托，同时也作为阴极；阳极和阴极之间的距离为常压下α粒子在电离室工作气体中射程的2～5倍。该电离室具有能够对电离室本身材料的α发射率进行甄别和剔除、用于测量超低本底α样品的特点。
本底电离室

[实用新型]带有配重机构的外手柄总成-CN200620028678.1无效
发明人： 郭晓清;田树清;王新宇;张帆 -专利权人：中国第一汽车集团公司
申请日： 2006-04-28 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： E05B3/00 文献下载
摘要：带有配重机构的外手柄总成，它是由手柄外壳、手柄拉手、回转杆、门锁和门锁拉线组成，手柄拉手与相连接回转杆、回转杆与门锁拉线安装在一起，门锁拉线与门锁相连接，手柄拉手安装在手柄外壳上，其特征为：它还由配重块组成，配重块安装在手柄外壳内侧，配重块与手柄拉手的上端相连接。所述的配重块平衡力矩为T。本实用新型具有结构简单、安装方便等特点，在增加配重机构后，在安全性上有较大的提高。
带有配重机构外手总成

[实用新型]晶圆支架-CN200720067625.5无效
发明人：曾玉帆;郭晓清;边逸军 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2007-03-06 - 公布日： 2008-02-20 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本实用新型提供一种晶圆支架，用于承载晶圆，该晶圆支架包括底座和垂直设置在底座上的四根支柱，每个支柱的上段设有支柱槽；其中，支柱槽表面和支柱上表面的连接段设置为坡面。与现有技术相比，本实用新型支柱槽表面和支柱表面的连接段设置为坡面可以导引晶圆倾斜的边缘，而且坡面的摩擦系数较低，便于晶圆顺坡面缓慢下落，从而可以有效防止晶圆在支柱槽内倾斜。
支架

[实用新型]带辅助导轨的钢丝绳式玻璃升降器-CN200620028677.7无效
发明人： 郭晓清;田树清;王新宇;张春雨 -专利权人：中国第一汽车集团公司
申请日： 2006-04-28 - 公布日： 2007-09-05 - 主分类号： E05F11/48 文献下载
摘要：带辅助导轨的钢丝绳式玻璃升降器，它有一个单导轨的钢丝绳玻璃升降器，摇手柄、曲柄轴、传动机构依次连接在一起，传动机构、导板部件安装在主导轨上，钢丝绳安装在主导轨的上下两端，其特征为：它还有辅助导轨，辅助导轨上安装有滑块。所述的曲柄轴上安装有多圈卷簧。由于玻璃在升降过程中可以沿着两个导轨运动，解决了由于玻璃宽度尺寸过大造成的玻璃升降不平稳的现象。辅助导轨可以单独安装，解决了双导轨玻璃升降器安装不方便的弊端。为了解决玻璃尺寸大，重量沉，升降沉重的问题，增加了省力机构。它是由多圈卷簧实现的，目的是将玻璃下降时的能量储存起来，在玻璃上升时释放，减小了摇手柄的力矩，使玻璃的升降力矩不超过3N·m。
辅助导轨钢丝绳玻璃升降

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