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[发明专利]半导体工艺设备及最优阻抗值获取方法、扫频匹配方法-CN202310802507.8在审
发明人： 邹丽影;卫晶;韦刚;张晓博 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2023-06-30 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体工艺设备及最优阻抗值获取方法、扫频匹配方法，属于半导体工艺技术。该扫频匹配方法包括以下步骤：根据当前待执行的等离子体刻蚀工艺，获取可变阻抗器件的最优阻抗值；将该可变阻抗器件的阻抗固定在该最优阻抗值；开启射频电源的扫频模式，以实现等离子体起辉匹配。本技术方案，其可有效避免射频电源输出的信号震荡的问题，提高射频电源的扫频匹配成功率，进而提高工艺结果的可重复性和稳定性。
半导体工艺设备最优阻抗获取方法匹配

[发明专利]一种轨道交通漏泄波导系统-CN202110189367.2有效
发明人：李铮;邹丽影;刘留;韦棒;王均宏 -专利权人：北京交通大学
申请日： 2021-02-19 - 公布日： 2022-12-02 - 主分类号： H01Q13/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种轨道交通漏泄波导系统。包括：漏泄波导、缝隙和金属柱；漏泄波导沿列车运行方向架设，缝隙设置在所述漏泄波导的表面，缝隙交错排列，在漏泄波导内部设置感性金属柱，感性金属柱垂直于列车运行方向等间距规则排列。应用该系统，可以设计出能够消除轨道交通场景下的多普勒效应并沿列车运行方向提供均匀场强覆盖的漏泄波导，提高无线信号覆盖质量，保障列车运行中的安全、稳定、高质量通信。
一种轨道交通漏泄波导系统

[发明专利]射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备-CN202211073347.X在审
发明人：卫晶;邹丽影;陈星;韦刚;王威威;张晓博 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种射频阻抗匹配方法及系统、半导体工艺设备。该射频阻抗匹配方法用于通过射频电源及匹配器实现半导体工艺设备的工艺腔室起辉，其包括：获取工艺配方中的匹配参数及初始扫频参数；控制匹配器中电容器组件的参数为匹配参数；控制射频电源以初始扫频参数开始自动扫频，用于使射频电源的阻抗与匹配器及工艺腔室的阻抗相等，以使工艺腔室起辉。本申请实施例实现了射频电源能从最优初始扫频参数的调用以实现工艺腔室的快速起辉及匹配，从而不仅能大幅提高工艺腔室的起辉效率，而且还能避免起辉匹配失败的情况发生，进而确保起辉及匹配的可重复性和稳定性，以大幅提高工艺结果的一致性。
射频阻抗匹配方法系统半导体工艺设备

[实用新型]基于BQ24195芯片的高效率太阳能充电宝-CN201720803017.X有效
发明人：于雪莲;胡英飚;李佳峰;邹丽影 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2018-04-03 - 主分类号： H02J7/35 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种基于BQ24195芯片的高效率太阳能充电宝，包括折叠式壳体(1)，太阳能电池板(2)。壳体(1)表面设置有USB接口(3)，显示灯(4)，开关(5)，USB接口(3)。内部电路包括高效率充电电路，MCU控制充放过程，电路稳压保护，电池保护电路，放电电路。太阳能电池板(2)与稳压电路相连，稳压电路与充放电路相连，充放电路与锂电池相连。充电电路采用TI公司的BQ24195芯片。本实用新型提供了一种智能高效率太阳能充电宝，通过BQ24195芯片实现高效率充放电，ABOV单片机合理选择充放模式，折叠双板增大太阳能电池板(2)面积，可实现边充边放，高速充放，并且拥有多重保护电路，即使在弱光环境下，例如阴天也能使用，充电效率高，经济实用，满足了大部分群众的使用需求。
基于 bq24195 芯片高效率太阳能充电

[发明专利]基于BQ24195芯片的高效率太阳能充电宝-CN201710540271.X在审
发明人：于雪莲;胡英飚;李佳峰;邹丽影 -专利权人：哈尔滨理工大学
申请日： 2017-07-05 - 公布日： 2017-08-25 - 主分类号： H02J7/35 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能高效率太阳能充电宝，包括折叠式壳体(1)，太阳能电池板(2)。壳体(1)表面设置有USB接口(3)，显示灯(4)，开关(5)，USB接口(3)。内部电路包括高效率充电电路，MCU控制充放过程，电路稳压保护，电池保护电路，放电电路。太阳能电池板(2)与稳压电路相连，稳压电路与充放电路相连，充放电路与锂电池相连。充电电路采用TI公司的BQ24195芯片。本发明提供了一种智能高效率太阳能充电宝，通过BQ24195芯片实现高效率充放电，ABOV单片机合理选择充放模式，折叠双板增大太阳能电池板(2)面积，可实现边充边放，高速充放，并且拥有多重保护电路，即使在弱光环境下，例如阴天也能使用，充电效率高，经济实用，满足了大部分群众的使用需求。
基于 bq24195 芯片高效率太阳能充电