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[发明专利]一种离子注入工艺的精确控制方法-CN201610498922.9有效
发明人： 邓尚上;赖朝荣;苏俊铭 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-06-30 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入工艺的精确控制方法，包括选取半导体晶片上后续离子注入区域中至少两个不同特征的关键尺寸进行测量，建立后续离子注入的剂量与不同特征的关键尺寸之间的对应数学关系，通过数据库对不同特征的关键尺寸进行分析，得到后续离子注入的剂量，通过离子注入机剂量控制系统控制后续离子注入时在半导体晶片上的扫描速度，自动调节注入剂量，从而可精确控制单枚晶片的注入剂量补偿，可为相关产品的漏电率问题提供解决方案，并可稳定和提高先进制程的良率。
一种离子注入工艺精确控制方法

[发明专利]一种离子注入机的智能工艺互锁控制方法及系统-CN201610355192.7有效
发明人： 邓尚上;孙天拓;赖朝荣;王智 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2016-05-25 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明公开了一种离子注入机的智能工艺互锁控制方法及系统，该方法包括如下步骤：收集经过离子注入机的不同工艺产品不同工艺层次的不同工艺过程参数和根据该些工艺过程参数进行离子注入的工艺产品的测量参数；对该些参数进行实时动态分析与处理，将处理后的信息反馈至工艺互锁控制单元；动态优化和调节工艺过程参数，实时采用优化和调节过的工艺过程参数进行离子注入工艺，通过本发明，可提高离子注入工艺的控制精确度，降低时间和人力成本，提高工艺稳定性和产品良率。
一种离子注入智能工艺互锁控制方法系统

[实用新型]一种半导体晶圆定向系统-CN201420166993.5有效
发明人： 邓尚上;赖朝荣;苏俊铭;张旭升 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-04-08 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本实用新型提供一种半导体晶圆定向系统，包括：虚拟参考定向系统，设置于一晶圆背面；方向定位器，设置于一定位器平台中心，用于旋转晶圆；动态角度传感器，用于实时感应晶圆背面的虚拟参考定向系统，并将感应结果传输给一计算机判断系统；计算机判断系统，与动态角度传感器连接，且与方向定位器通信。通过设置虚拟参考定向系统标识晶圆的掺杂类型和晶向，提高晶圆的利用率；采用四个动态角度传感器同时对晶圆背部的虚拟参考定向系统进行感应，通过方向定位器和计算机判断系统达到对晶圆旋转角度的精确控制，方便相关工程师根据不良品的具体位置分析制程和设备导致良率下降的原因，以适应于高端先进制程中前后段对晶圆定位和定向的工艺需求。
一种半导体定向系统

[发明专利]半导体制造的多平行动态流程控制方法-CN201410331742.2在审
发明人： 邓尚上;赖朝荣;苏俊铭 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种半导体制造的多平行动态流程控制方法。半导体制造的执行过程包括可交换执行次序的多个平行流程，每个平行流程包括依次执行的一个或多个步骤。该多平行动态流程控制方法包括：识别出每个平行流程中的一个或多个步骤中的可平行变更步骤；在半导体制造的执行过程中实时地记录每个平行流程已经执行完的步骤；在执行完所述多个平行流程中的任意一个可平行变更步骤之后，判断是否从当前平行流程转换至另一平行流程；如果判断不从当前平行流程转换至另一平行流程，则继续执行当前平行流程的下一步骤；如果判断将从当前平行流程转换至另一平行流程，则确定将从当前平行流程转换至的多个平行流程中特定平行流程，并随后转入确定的特定平行流程。
半导体制造平行动态流程控制方法

[发明专利]一种半导体设备不间断真空系统-CN201410331325.8在审
发明人： 邓尚上;赖朝荣;苏俊铭 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-07-11 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体设备不间断真空系统，包括：第一计量器、主泵、备用泵和处理装置；其中，处理装置被连接至第一计量器、主泵和备用泵以从第一计量器接收信号并控制主泵和备用泵；主泵用于对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态；备用泵在启动时用于对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态；其中，第一计量器监控主泵的运作状态，并将主泵的运作状态实时反馈给计算机系统。计算机系统在根据从第一计量器接收到的主泵的运作状态判断主泵工作异常时计算主泵工作异常的持续时间，并且在所述持续时间超过设定响应时间启动备用泵对半导体设备抽真空和/或保持半导体设备的真空状态。
一种半导体设备不间断真空系统

[发明专利]一种半导体设备的机械臂的动态传感器结构-CN201410106605.9有效
发明人： 邓尚上;赖朝荣;苏俊铭;张旭昇 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2014-03-20 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种半导体设备的机械臂的动态传感器结构，包括机械臂、旋转马达、控制器和若干角度传感器，若干角度传感器设于机械臂的一端上，机械臂的另一端与旋转马达连接，旋转马达驱动机械臂旋转，旋转马达和若干角度传感器分别与控制器连接，若干角度传感器实时将机械臂一端的旋转角度传递至控制器。本发明的技术方案精确控制硅片在机械传送过程中的物理状态，实时调整目标角度，适应了先进半导体制程的需要。
一种半导体设备机械动态传感器结构

[实用新型]延长气瓶使用时间的装置-CN201320475965.7有效
发明人： 邓尚上;常明刚;苏俊铭;张旭昇 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2013-08-05 - 公布日： 2014-03-12 - 主分类号： F17C7/00 文献下载
摘要：实用新型公开了一种延长气瓶使用时间的装置，包括气瓶、气压计、气压控制器和加热器，其中，气瓶放置于加热器的上表面，气压计放置于气瓶出气管路上，气压计与气压控制器电连接，气压控制器与加热器亦电连接；从而克服了现有技术中由于频繁更换气瓶，导致能源浪费、影响离子注入效率、增加风险和增加人力成本的问题，进而提高了能源的使用率，延长了气瓶的使用时间，提高了离子注入效率，减小了风险，且降低了人力成本，进一步的降低了产品的生产成本。
延长使用时间装置