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[发明专利]存放器系统及控制方法-CN202210037472.9在审
发明人：李冠群;张庆荣;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-13 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：公开一种EUV存放器和一种EUV盒器件。EUV存放器包括AI驱动的动态控制电路、AI控制的安全联锁和独立的回风控制器件。EUV存放器包括与一个或多个阀协同操作的质量流量控制(MFC)。EUV存放器还包括碳氢化合物检测组合件、氧气检测组合件、压力检测组合件和温度检测组合件等，以保持EUV存放器内所需的条件。EUV存放器还包括例如AMHS、OHT、MR、AGV、RGV等自动化运输器件，以为操作员提供安全的EUV掩模储存环境。
存放系统控制方法

[发明专利]半导体制造设备的系统及其操作方法-CN201711052091.3有效
发明人：黎辅宪;余升刚;董启峰;沈香吟;李冠群 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2017-10-30 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开实施例涉及一种半导体制造设备的系统及其操作方法。提供一种半导体制造设备FAB的装置。在一个实施例中，所述装置包含维护工具及配置成运输至少一个定制部件的运输工具。所述维护工具包含：第一轨道，其处于第一水平面；至少一个维护起重机，其可移动地安装于所述第一轨道上；及多个第一传感器，其设置在所述第一轨道上。所述第一传感器配置成界定至少一危险区并检测所述维护起重机的位置。所述运输工具包含第二轨道，其处于第二水平面；至少一个悬吊式运输OHT车辆，其可移动地安装于所述第二轨道上；及至少一个第二传感器，其在所述OHT车辆上。所述第二水平面不同于所述第一水平面。从平面图看，所述第一水平面及所述第二水平面至少部分彼此重叠。
半导体制造设备系统及其操作方法

[发明专利]散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法-CN202210505727.X在审
发明人：李冠群;张庆荣;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-05-10 - 公布日： 2022-10-18 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本发明实施例是关于一种散列高架悬吊式运输机具轨道系统及其操作方法。本文揭露了一种自动化物料处理系统AMHS和一种操作所述AMHS的方法。在一方面，所述AMHS包含轨道网络和运载工具，所述运载工具经配置以固持样本载具，所述样本载具存放一或多个样本，其中所述运载工具经配置以借着所述轨道网络在半导体制造设施FAB内移动。所述AMHS还包含转台，所述转台连接到所述轨道网络并且经配置以围绕大体上垂直于所述转台的表面的轴线旋转。所述AMHS还包含散列轨道，所述散列轨道连接到所述转台并与所述转台重叠。所述散列轨道经配置以与所述转台一起围绕所述轴线旋转。
散列高架悬吊运输机具轨道系统及其操作方法

[发明专利]移动储料器及其操作方法-CN202111062518.4在审
发明人：范容瑄;张庆荣;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-09-10 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施例描述一种配置成易于安装和重新定位到半导体制造设施中的各种位置的移动储料器及其操作方法。移动储料器能够根据半导体制造设施的布局被编程，和/或自主地学习半导体制造设施的布局，且基于布局使用导航系统自动地重新定位到新位置。因此，移动储料器能够灵活地重新定位在半导体制造设施中以动态支持需求和生产能力的改变。此外，将位置标识符快速指配到移动储料器和自动地与半导体制造设施中的运输系统介接的能力减小移动储料器的停机时间，从而增加半导体制造设施中的生产率。
移动料器及其操作方法

[发明专利]架空起重运输系统及其使用方法-CN202110901129.X在审
发明人：林传维;黎辅宪;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种方法，包含将存储一或多个已处理晶片的第一运输载具从装载端口装载到多缓冲区架空起重运输(OHT)运载工具的第一缓冲区中。方法包含在第一缓冲区保留第一运输载具时将存储用于处理的一或多个晶片的第二运输载具从多缓冲区架空起重运输运载工具的第二缓冲区卸载到装载端口。在其它实施方案中，方法包含在与装载端口相关联的半导体处理工具正处理与第二运输载具相关联的一或多个晶片时将存储用于处理的一或多个晶片的第一运输载具装载到多缓冲区架空起重运输运载工具的第一缓冲区中。方法包含在多缓冲区架空起重运输运载工具将第一运输载具保留在第一缓冲区中时将多缓冲区架空起重运输运载工具定位在装载端口上方。
架空起重运输系统及其使用方法

[发明专利]用于自动化物料搬运管理的系统及方法-CN202111157320.4在审
发明人：徐婕;李冠群;张庆荣;董启峰 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-09-30 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：一种自动化物料搬运系统(AMHS)接口管理系统被配置成利于晶片批次信息在不同的AMHS系统之间的交换。AMHS接口管理系统以第一格式从第一AMHS系统接收晶片批次信息，且将晶片批次信息变换成与第二AMHS系统相关联的格式。AMHS接口管理系统使用位于第一AMHS系统与第二AMHS系统之间的交握区。交握区包括利于晶片批次在第一AMHS系统与第二AMHS系统之间运动的一个或多个搬运车。
用于自动化物料搬运管理系统方法

[发明专利]存储环境监测器件及方法-CN202110712308.9在审
发明人：吕震威;林传维;陈俊豪;赖冠宇;黎辅宪;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-06-25 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： G06F11/30 文献下载
摘要：一种存储环境监测器件能够测量及/或监测存储区域内的环境的例如气流、温度及湿度等各种参数，以提高存储在存储区域中的半导体组件的存储品质。存储环境监测器件能够在不必打开存储区域中存储半导体组件的围封体的情况下测量及/或监测存储区域内的环境的参数。这减少了半导体组件在污染及其他环境因素中的暴露。另外，存储环境监测器件可基于将存储在存储区域中的半导体组件的使用调度表在存储区域内执行自动测量，这减少了存储区域及/或半导体组件的停机时间，且提高了使用半导体组件的半导体处理环境中的生产率。
存储环境监测器件方法

[发明专利]高架搬运系统及其水平度校准的方法-CN202111088076.0在审
发明人：徐婕;李冠群;张庆荣;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-09-16 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：提供一种能够吸收异常振动并确定异常振动的来源的高架搬运系统。根据本公开各种实施例的高架搬运系统包括：处理器；高架轨道；多个吊架，支撑高架轨道；振动计，测量来自高架轨道的振动；以及阻尼器，包括在吊架中的每一者中。所述处理器被配置成响应于判定振动计所量测到的振动指示是异常振动而改变阻尼器的特性。
搬运系统及其水平校准方法

[发明专利]材料管理方法以及材料管理系统-CN202210031018.2在审
发明人：范容瑄;张庆荣;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-12 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： G06Q10/06 文献下载
摘要：本揭露涉及一种材料管理方法以及材料管理系统方法。材料管理方法包括：将含有材料的载体存储在存储装置中；在材料处于存储装置中时将存储装置的环境数据记录到数据库；基于环境数据产生对载体中的材料的预报；从半导体制造工具接收对材料的请求；以及基于预报将载体提供到半导体制造工具。
材料管理方法以及系统

[发明专利]半导体制造设备系统及其操作方法-CN202110408983.2在审
发明人：林传维;黎辅宪;林永巨;陈榕绅;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-04-16 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明实施例涉及半导体制造设备系统及其操作方法。所述系统包含定向工具及经配置以运送至少一个定制零件的运送工具。所述定向工具包含经配置以接纳所述工件的端口、经配置以检测接纳于所述端口中的所述工件的定向的传感器及经配置以转动接纳于所述端口中的所述工件的旋转机构。
半导体制造设备系统及其操作方法

[发明专利]操作输送系统的方法-CN202110220685.0在审
发明人：林永巨;黎辅宪;吕震威;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-02-26 - 公布日： 2021-10-08 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施例涉及一种用于操作输送系统的方法。提供架空起重运输OHT车辆，其中所述OHT车辆包含经配置以夹持及固持载具的夹持部件及经配置以接收信号的接收器。将所述信号传输到所述OHT车辆的所述接收器。将所述OHT车辆移动朝向所述载具，且由所述OHT车辆的所述夹持部件夹持所述载具。基于载具的重量、所述载具中的工件的数目或所述OHT车辆与所述载具之间的垂直距离来确定抬升力，且将所述抬升力施加到所述载具。
操作输送系统方法

[发明专利]支撑构件系统-CN202011014461.6在审
发明人：李冠群;董启峰;张庆荣;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-09-24 - 公布日： 2021-03-30 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本公开实施例提供一种与高架运输系统相关联的支撑构件系统。支撑构件系统为高架运输系统提供安全特征，通过所述安全特征，高架运输系统能够避免损坏容置在由高架运输系统无意释放的晶圆匣内的晶圆。支撑构件系统能够防止此种释放的匣冲击地面或位于高架运输系统之下的工具。支撑构件系统以晶圆匣为目标，所述晶圆匣的尺寸不同于高架运输系统最初设计用于运输的晶圆匣的尺寸。本公开实施例还提供用于接收、存储及递送不同类型的晶圆匣的储料器系统。
支撑构件系统

[发明专利]输送系统及其操作方法-CN202010218444.8在审
发明人：黎辅宪;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2020-03-25 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明实施例涉及输送系统及其操作方法。一种方法包含：提供轨道、可移动地安装于所述轨道上的第一输送单元，及经配置以控制所述第一输送单元的中央控制器；使所述第一输送单元以第一速度沿所述轨道位移；当所述第一输送单元以所述第一速度沿所述轨道位移时，获得第一振动测量；分析所述第一振动测量；将基于所述第一振动测量的所述分析的第一信号传输至所述中央控制器；提供可移动地安装于所述轨道上的第二输送单元；将基于所述第一信号的第一反馈信号从所述中央控制器传输至所述第二输送单元；及基于所述第一反馈信号，使所述第二输送单元以第二速度沿所述轨道位移。
输送系统及其操作方法

[实用新型]尺寸可调的窗企口模板及其安装结构-CN202020258340.5有效
发明人：黄亚平;蔡彬;霍沭屹;李冠军;董启峰;刘孟宇;李俊;常兴;宋建;郑俊文;赵辰 -专利权人：中建一局集团第五建筑有限公司;中国建筑一局（集团）有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2020-10-27 - 主分类号： E04G15/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及建筑模板技术领域，公开了一种尺寸可调的窗企口模板及其安装结构。本实用新型包括滑动连接的固定角杆和调节杆，所述固定角杆为L形管件，分别位于四周端角处，调节杆两端分别与两侧的固定角杆的相对肢杆插接，并通过固定组件锁紧固定；固定角杆和调节杆上分别设置有用于与模板支撑系统连接的T形螺杆，所述T形螺杆包括沿轴向设置在固定角杆或调节杆内的限位杆和垂直与限位杆的连接杆，连接杆一端与限位杆中部焊接固定，另一端穿过固定角杆或调节杆侧壁上的通孔、朝向窗洞口中心伸至固定角杆或调节杆外部。本实用新型结构简单，可重复再利用，固定牢固性好，操作便捷。
尺寸可调窗企口模板及其安装结构

[发明专利]用于自动化材料搬运系统AMHS的自动清洁单元-CN201910278300.9在审
发明人：黎辅宪;董启峰;沈香吟 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2019-04-09 - 公布日： 2020-03-06 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明实施例涉及一种用于自动化材料搬运系统AMHS的自动清洁单元。所述用于AMHS的自动清洁单元包含安置于OHT轨道上的多个传感器。所述传感器经配置以界定清洁区且检测OHT载具的位置。所述自动清洁单元进一步包含真空产生器及安装于所述OHT轨道上方所述清洁区中的顶部清洁部件。所述顶部清洁部件耦合到所述真空产生器。当所述传感器检测到所述OHT载具进入所述清洁区时，开启所述真空产生器以执行真空清洁操作。
用于自动化材料搬运系统 amhs 自动清洁单元

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