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[发明专利]半导体温控装置、恒定流体输出控制装置及方法-CN202310668707.9在审
发明人：董春辉;曹小康;芮守祯;何茂栋 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及自动控制技术领域，尤其涉及一种半导体温控装置、恒定流体输出控制装置及方法，半导体温控装置包括数据采集单元、控制单元、半导体制冷片和电源调节模块。数据采集单采集被控对象的参数数据；控制单元接收数据采集单元采集的数据，并进行运算得出控制指令；第一半导体制冷片的冷端贴合被控对象，对被控对象进行制冷；第二半导体制冷片的热端贴合被控对象，对被控对象进行制热；电源调节模块接收控制单元的控制指令并调节加载在半导体制冷片的电压。通过直流电加载半导体制冷片实现换热过程，并通过数据采集和控制调节，最终输出恒定流体，具有轻噪声、无磨损、无制冷剂泄露风险、结构相对简单和控制效果快速等优点。
半导体温控装置恒定流体输出控制方法

[发明专利]板式换热器及温控系统-CN202310668762.8在审
发明人：靳李富;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F28D9/04 文献下载
摘要：本发明提供一种板式换热器及温控系统，包括：对由换热板片构成的换热主体进行夹紧的第一端板和第二端板；第一端板上装设有热介质流入接口、热介质流出接口、冷介质流入接口和冷介质流出接口；第二端板上开设有安装孔，并在安装孔处设有一调节组件，调节组件包括活动设置于介质流道的调节部，并与介质流道的内壁密封接触；调节调节部在介质流道中的位置，以调整介质流道长度，使得用于换热的板片数量发生变化。本发明在热介质流量发生变化时，通过控制调节部在介质流道中的位置，进而阻挡介质流道中的介质流动，以实现调整介质流道的长度，使得用于参与换热的换热板片的数量发生变化，实现调整板间流速，进而调节换热效率，增强换热效果。
板式换热器温控系统

[发明专利]温控装置及方法-CN202310483715.6在审
发明人：靳李富;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种温控装置及方法，包括：第一储液箱和第二储液箱通过第一三通阀和第二三通阀并联；确定刻蚀机的工作状态；在空载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用制冷单元对第二储液箱中的冷却液进行降温；在瞬间大负载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用循环冷却主回路以及第二储液箱中存储的冷却液进行控温。本发明通过在刻蚀机处于空载状态时，利用循环冷却支路存储制冷单元所制造的多余冷量，当刻蚀机处于瞬间大负载状态时，则通过控制三通阀开合释放循环冷却支路中存储的冷量，以结合循环冷却主回路中的冷却液，共同对刻蚀温控腔进行控温，减少温控装置的能耗浪费和换热负荷，提高温控装置的温控精度，保证刻蚀机工作温度的稳定性。
温控装置方法

[发明专利]三级复叠制冷装置及控制方法-CN202310338756.6在审
发明人：刘紫阳;曹小康;董春晖;芮守祯;靳李富;胡文达 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： F25B7/00 文献下载
摘要：本发明提供一种三级复叠制冷装置及控制方法，包括：高温级系统循环，包括第一支路循环和第二支路循环，第一支路循环为高温级压缩机、冷凝器放热侧通道以及第一蒸发冷凝器吸热侧通道通过第一管路相连构成的循环回路，第二支路循环为预冷换热器吸热侧通道、高温级压缩机以及冷凝器放热侧通道通过第二管路和第一管路相连构成的循环回路。中温级系统循环，通过第一蒸发冷凝器放热测通道与第一支路循环相连。低温级系统循环，通过预冷换热器放热侧通道与第二支路循环相连。高温级系统循环通过第一支路循环和第二支路循环分别为中温级系统循环和低温级系统循环提供冷却。降低了制冷装置整体的输入功，进而提高了制冷装置整体的能效比。
三级制冷装置控制方法

[发明专利]二次温控装置及方法-CN202310342566.1在审
发明人：胡文达;曹小康;刘紫阳;靳李富;芮守祯;郑璐;鲁元进 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： F25B1/00 文献下载
摘要：本发明提供，属于温度控制技术领域，其中装置包括：包括混合换热装置、第一热交换器和制冷压缩机；混合换热装置的第一管路上依次设有循环泵、第一温度传感器和电子三通阀，混合换热装置的第二管路上设有第二温度传感器，混合换热装置的第三管路上设有电子膨胀阀；其中，电子三通阀的第二出口的连接管路上设有第三温度传感器；第一热交换器的进液口与电子三通阀的第一出口通过连接管路连接，第一热交换器的出液口与电子三通阀的第二出口通过连接管路连接，第一热交换器设置在制冷压缩机侧壁；制冷压缩机的另一侧壁设有第四温度传感器，减少了硬件占用空间，实现了二次温度控制。
二次温控装置方法

[发明专利]换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备-CN202310338764.0在审
发明人： 芮守祯;曹小康;何茂栋;董春辉;冯涛;耿海东 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备，换热水箱包含用于容纳循环液的水箱腔体，在该方法中，获取对应密封状态的水箱腔体内的气体的第一压强；以及获取水箱腔体的底部的循环液的第二压强；根据第一压强和第二压强，确定水箱腔体所容纳的循环液的液位。由此，考虑到在半导体温控设备工作的过程中，水箱腔体是处于密闭空间环境的，腔体中气体的第一压强是近似等于液面压强，由此确定水箱腔体的液面与底部之间的压强差，进而能较精准地推算出水箱腔体中实时的循环液的液位，实现了对水箱内液位的连续测量。
水箱测量方法系统半导体温控设备

[发明专利]控制阀和控制回路-CN201810950510.3有效
发明人： 芮守祯;何茂栋;赵力行;蒋俊海;于浩;邹昭平 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F16K11/02 文献下载
摘要：本发明涉及控制领域，特别是涉及控制阀、控制回路。控制阀包括阀芯、第一输入通道、第一旁通道、第二输入通道、第二旁通道及一个以上的混合输出通道；其第一输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第一旁通道连通，则自第一输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第一旁通道；第二输入通道在阀芯的控制下与混合输出通道和/或第二旁通道连通，则自第二输入通道输入的物质会流入混合输入通道和/或第二旁通道；由此，通过增加旁通的设计，阀芯不仅能够控制两种物质的混合比例，同时能够控制两种物质回路各自的旁通比例，使两种物质的流通回路不受混合比例的影响，提高了设备运行的可靠性，简化管路设计，提高阀门控制精度。
控制回路

[发明专利]半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法-CN201710433375.0有效
发明人：何茂栋;芮守祯;孙华敏;张坤;韩玉东;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-06-09 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： G05D23/19 文献下载
摘要：本公开涉及一种半导体生产用温控设备及其电子膨胀阀的控制方法。所述温控设备包括压缩机(1)、冷凝器(2)、电子膨胀阀(3)、蒸发器(4)、水泵(5)、加热器(6)、温度传感器(7)和可编程控制器(8)，所述温度传感器设置在加热器的出口处，温度传感器与所述可编程控制器相连，所述可编程控制器与所述电子膨胀阀直接相连。所述控制方法包括：所述可编程控制器获取所述温度传感器采集到的循环液温度；将所获取的循环液温度与目标温度进行对比计算；根据对比计算的结果确定应向所述电子膨胀阀输出的脉冲数及脉冲方向；向所述电子膨胀阀输出确定出脉冲数及脉冲方向的脉冲。通过上述技术方案，能够提高温控设备的温控精度及系统兼容性。
半导体生产温控设备及其电子膨胀控制方法

[发明专利]用于温度补偿的温控装置、温控系统、集成电路制程系统-CN202211067102.6在审
发明人：董春辉;芮守祯;何茂栋;刘紫阳;常鑫 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-09-01 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于温度补偿的温控装置、温控系统、集成电路制程系统。所述温控装置包括温控器和电控器，温控器与电控器电连接；温控器包括：外壳，外壳上设置有用于导流传输介质的第一端口，和第二端口；温控单元，设置于外壳内，用于调节传输介质的温度；第一温度获取单元，设置于第一端口处，获取第一端口处的传输介质的第一温度；第二温度获取单元，设置于第二端口处，获取第二端口处的传输介质的第二温度；电控器包括：通讯单元，用于与目标设备通信连接，获取目标设备发出的目标温度值；主控单元，用于根据第一温度和目标设备发出的目标温度值，或第二温度和目标设备发出的目标温度值，生成温度控制指令；主控单元根据温度控制指令控制温控单元将传输介质的温度调节为目标温度值。
用于温度补偿温控装置系统集成电路

[发明专利]晶圆自动寻心装置-CN201710148165.7有效
发明人：何茂栋;芮守祯;周奕萌;肖钢;韩玉东;赵力行;邹昭平;蒋俊海;于浩 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2017-03-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆自动寻心装置，包括：机械手，用于对晶圆进行取放；驱动机构，用于对所述机械手进行驱动，从而使所述机械手移动；以及控制装置，用于对所述驱动机构进行控制，所述机械手设有多个光传感器，当所述机械手向着晶圆移动从而对晶圆进行取放时，所述光传感器被晶圆遮断因而被触发，所述控制装置基于所述光传感器被触发时的位置来计算晶圆的圆心位置。
自动装置

[发明专利]温控系统及其控制方法、温控装置-CN202310308091.4在审
发明人：胡文达;曹小康;刘紫阳;靳李富;芮守祯;郑璐;鲁元进 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： F25B49/02 文献下载
摘要：本发明提供一种温控系统及其控制方法、温控装置。温控系统包括：循环子系统，循环子系统与负载部件连通；制冷子系统，制冷子系统包括压缩机、换热器以及电动阀门，压缩机的输出端与换热器的第一输入端相连，换热器的第一输出端与电动阀门的输入端相连，电动阀门的输出端与压缩机的输入端相连，其中，压缩机与电动阀门之间的部分管道用于对液体进行降温；加热子系统，加热子系统包括节能装置，节能装置并联连接于所述循环子系统的管线上，且压缩机与换热器之间的部分管道置于节能装置内部，以便利用该部分管道释放的热量为液体进行加热；控制装置，控制装置与压缩机和电动阀门建立电连接。由此，能够提升能源利用率，减少能源的浪费。
温控系统及其控制方法装置

[发明专利]耦合温控系统及方法-CN202111673077.1有效
发明人：何茂栋;于浩;芮守祯;李文博;常鑫;宋朝阳;曹小康;董春辉;冯涛 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种耦合温控系统及方法，耦合温控系统包括制冷装置、加热装置和循环装置，制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、换热器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，循环装置包括换热器的换热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，加热装置包括废气处理设备，废气处理设备与换热器的放热通路连通。本发明在实现了温控系统的功能及废气处理设备的功能的基础上，将废气处理设备的能量用于温控系统中进行循环液的加热，有效的实现能源的综合利用和节能控制。
耦合温控系统方法

[发明专利]温控系统及方法-CN202211329600.3在审
发明人： 芮守祯;董春辉;何茂栋;曹小康;常鑫;刘紫阳;何文明;胡文达;李文博 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-10-27 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种温控系统及方法，温控系统包括换热装置、水箱和支管路，换热装置的放热通道的出口与水箱的进口连通，水箱的出口通过第一主管路与负载连通，第一主管路设有第一加热器，负载与换热装置的放热通道的出口通过第二主管路连通，支管路的两端分别与第一加热器的出口和第二主管路连通。本发明的温控系统是一种针对回水存在较大扰动的情况，能够抑制回水温度波动的温控设备，较大程度的降低回水温度波动，提高出水控制精度。满足集成电路切换或混合控制装置温度快速稳定的要求，采用第一加热器进行回水温度控制，通过支管路将第一主管路内的循环液旁通至第二主管路的设计，增大温度缓冲。
温控系统方法

[发明专利]一种热回收型半导体温控装置及半导体生产设备-CN202110881395.0有效
发明人：胡文达;芮守祯;曹小康;靳李富;刘紫阳;冯涛;宋朝阳;李文博 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-08-02 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明提供一种热回收型半导体温控装置及半导体生产设备，热回收型半导体温控装置包括制冷系统和循环系统，制冷系统包括压缩机、第一换热器、第二换热器、第三换热器、第一控制阀和油气分离器，第一换热器的第一入口和第一出口分别与冷却水循环管路连通，第一换热器的第二入口分别与第一控制阀的第一接口、油气分离器的第一接口连通，第一换热器的第二出口与第二换热器的第一入口连通，第一控制阀的第二接口与第二换热器的第一入口连通。通过制冷系统可以使得循环介质升温和降温，升温过程中第二换热器和第三换热器分别利用压缩机排出的高温气体和高温润滑油的热量，使得循环介质迅速升温，省去了加热桶对循环介质进行加热，从而降低了能耗。
一种回收半导体温控装置生产设备

[发明专利]温控系统-CN202111673071.4有效
发明人：何茂栋;芮守祯;曹小康;常鑫;李文博;冯涛;董春辉;宋朝阳 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控系统，包括制冷装置、循环装置和废气处理设备，制冷装置包括压缩机、冷凝器的放热通路、第一蒸发器的吸热通路依次连通形成的第一制冷回路，以及压缩机、冷凝器的放热通路、第二蒸发器的吸热通路依次连通形成的第二制冷回路，循环装置包括第一蒸发器的放热通路、水箱、第一泵体和负载依次连通形成的循环液回路，废气处理设备包括喷淋组件和水池，水池、第二蒸发器的放热通路、第二泵体和喷淋组件依次连通。将制冷装置的多余的制冷量充分利用起来，用于废气处理设备的废气的降温，有效的将温控系统的多余的制冷量总和利用起来。
温控系统

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