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- [发明专利]温控装置及方法-CN202310483715.6在审
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靳李富;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋;曹小康
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北京京仪自动化装备技术股份有限公司
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2023-04-28
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2023-08-11
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H01L21/67
- 本发明提供一种温控装置及方法，包括：第一储液箱和第二储液箱通过第一三通阀和第二三通阀并联；确定刻蚀机的工作状态；在空载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用制冷单元对第二储液箱中的冷却液进行降温；在瞬间大负载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用循环冷却主回路以及第二储液箱中存储的冷却液进行控温。本发明通过在刻蚀机处于空载状态时，利用循环冷却支路存储制冷单元所制造的多余冷量，当刻蚀机处于瞬间大负载状态时，则通过控制三通阀开合释放循环冷却支路中存储的冷量，以结合循环冷却主回路中的冷却液，共同对刻蚀温控腔进行控温，减少温控装置的能耗浪费和换热负荷，提高温控装置的温控精度，保证刻蚀机工作温度的稳定性。
- 温控装置方法
- [外观设计]显示屏幕面板的温度控制图形用户界面（T-3xx系列）-CN202230795638.4有效
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冯涛;何茂栋;董春辉;曹小康;常鑫;李文博;张伟;靳李富;何文明;耿海东
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北京京仪自动化装备技术股份有限公司
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2022-11-28
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2023-05-12
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14-04
- 1.本外观设计产品的名称：显示屏幕面板的温度控制图形用户界面（T‑3xx系列）。2.本外观设计产品的用途：本产品用于集成电路制造过程的工艺腔温度软件运行、显示及交互。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品屏幕中图形用户界面的设计及内容。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.温控装置为现有设计，省略后视图、左视图、右视图、俯视图和仰视图。6.图形用户界面的用途：本产品的图形用户界面是用于查看、检测和控制半导体专用温控装置的图形用户界面，主视图主要用于显示设备的关键参数的数值及运行的状态值，点击主视图中的“CH1.OPE”按钮，进入“变化状态1”界面;“变化状态1”界面主要用于设置设备的设定温度值，显示设备内部温度、流量、压力等变量的数值。点击界面右下方“→”按钮，进入“变化状态2”界面，点击“TOP”按钮则进入“主视图”界面;“变化状态2”界面主要用于设置设备内部的各个部件的手动开启及停止动作，同时设置对应部件的输出数值的大小。点击界面右下方“←”按钮进入“变化状态1”界面，点击“TOP”按钮则进入“主视图”界面。
- 显示屏幕面板温度控制图形用户界面xx系列
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