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[发明专利]板式换热器及温控系统-CN202310668762.8在审
发明人：靳李富;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-06-07 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F28D9/04 文献下载
摘要：本发明提供一种板式换热器及温控系统，包括：对由换热板片构成的换热主体进行夹紧的第一端板和第二端板；第一端板上装设有热介质流入接口、热介质流出接口、冷介质流入接口和冷介质流出接口；第二端板上开设有安装孔，并在安装孔处设有一调节组件，调节组件包括活动设置于介质流道的调节部，并与介质流道的内壁密封接触；调节调节部在介质流道中的位置，以调整介质流道长度，使得用于换热的板片数量发生变化。本发明在热介质流量发生变化时，通过控制调节部在介质流道中的位置，进而阻挡介质流道中的介质流动，以实现调整介质流道的长度，使得用于参与换热的换热板片的数量发生变化，实现调整板间流速，进而调节换热效率，增强换热效果。
板式换热器温控系统

[发明专利]换热介质回收系统和回收方法-CN202310575208.5在审
发明人：刘紫阳;董春辉;耿海东;靳李富;胡文达;郑璐 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F25D31/00 文献下载
摘要：本发明提供一种换热介质回收系统和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，系统包括分离单元、冷却单元、加热单元、回收单元和温控单元，分离单元的输入端通过管道与待回收管路的输出端连通，加热单元的输出端通过管道与待回收管路的输入端连接，分离单元的输出端分别通过管道与冷却单元和加热单元连通，将气体分别输送至冷却单元和加热单元；冷却单元通过管道与回收单元连通，将冷却后的气液混合体输送至回收单元，回收单元从冷却后的气液混合体中回收换热介质。本发明根据换热介质在不同温度下的蒸汽压变化较大的特点，极大提高了装置内部换热介质的回收率，降低温控装置的调试成本。
介质回收系统方法

[发明专利]温控装置及方法-CN202310483715.6在审
发明人：靳李富;刘紫阳;胡文达;耿海东;郑璐;芮守祯;何茂栋;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种温控装置及方法，包括：第一储液箱和第二储液箱通过第一三通阀和第二三通阀并联；确定刻蚀机的工作状态；在空载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用制冷单元对第二储液箱中的冷却液进行降温；在瞬间大负载状态时通过控制三通阀的开合状态，利用循环冷却主回路以及第二储液箱中存储的冷却液进行控温。本发明通过在刻蚀机处于空载状态时，利用循环冷却支路存储制冷单元所制造的多余冷量，当刻蚀机处于瞬间大负载状态时，则通过控制三通阀开合释放循环冷却支路中存储的冷量，以结合循环冷却主回路中的冷却液，共同对刻蚀温控腔进行控温，减少温控装置的能耗浪费和换热负荷，提高温控装置的温控精度，保证刻蚀机工作温度的稳定性。
温控装置方法

[发明专利]换热介质回收装置和回收方法-CN202310576204.9在审
发明人：刘紫阳;耿海东;董春辉;靳李富;胡文达;郑璐 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： F25B29/00 文献下载
摘要：本发明提供一种换热介质回收装置和回收方法，属于半导体晶圆加工设备领域和制冷技术领域，分流单元的入口端与设有待回收换热介质的温控装置的出口端连接，分流单元的出口端分别与冷凝单元和气体循环单元连接，冷凝单元的出口端与回收单元连接，回收单元对气液混合物进行气液分离，得到液态的换热介质，并将分离后的气体输出至气体循环单元内；加热单元分别与压缩机和温控装置连接，气体循环单元的出口端与加热单元的入口端连接，用于将加热单元降温后的气体输出至温控装置内。本发明使得分流单元、回收单元、气体循环单元和待回收的温控装置之间形成循环通路，基于冷凝法对温控装置内的换热介质进行循环回收处理，提高了液体的回收率。
介质回收装置方法

[发明专利]换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备-CN202310338764.0在审
发明人：芮守祯;曹小康;何茂栋;董春辉;冯涛;耿海东 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2023-03-31 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种换热水箱的液位测量方法、系统及半导体温控设备，换热水箱包含用于容纳循环液的水箱腔体，在该方法中，获取对应密封状态的水箱腔体内的气体的第一压强；以及获取水箱腔体的底部的循环液的第二压强；根据第一压强和第二压强，确定水箱腔体所容纳的循环液的液位。由此，考虑到在半导体温控设备工作的过程中，水箱腔体是处于密闭空间环境的，腔体中气体的第一压强是近似等于液面压强，由此确定水箱腔体的液面与底部之间的压强差，进而能较精准地推算出水箱腔体中实时的循环液的液位，实现了对水箱内液位的连续测量。
水箱测量方法系统半导体温控设备

[实用新型]一种涂料分装装置-CN202223305064.1有效
发明人： 耿海东 -专利权人：广西银墙新材料科技有限公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： B65B57/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种涂料分装装置，包括箱体，所述箱体的内部设有分装机构，所述分装机构包括转盘，所述转盘的外壁开设有四个固定槽，所述箱体的一侧固定连接有安装板，所述安装板呈L形，所述安装板的一侧固定连接有固定块，所述固定块的一侧固定连接有固定筒，所述固定筒的内部设有若干分料盒，固定槽与分料盒相适配，箱体的顶端固定连接有固定盘，固定盘的中部开设有圆形凹槽，转盘在圆形凹槽处与固定盘转动连接，箱体的顶端一侧固定连接有储料盒，储料盒的顶端一侧开设有方形通孔。相比较现有装置而言，本实用新型能够使转盘做间歇运动，从而能够对分料盒进行注料，同时通过转盘转动自动安装分料盒，结构简单，使用方便。
一种涂料分装装置

[发明专利]一种高水位河漫滩软土路基结构及施工方法-CN202310168673.7在审
发明人：何敏;耿海东 -专利权人：北京市政建设集团有限责任公司
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： E01C3/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种高水位河漫滩软土路基结构及施工方法，属于软卧地基施工技术领域，其包括咬合桩和支撑桩，咬合桩沿着河漫滩外轮廓设置在河漫滩的土层内，支撑桩设置在河漫滩的土层内，咬合桩相比所述支撑桩靠近河流，咬合桩上的土层设置有第一回填土，第一回填土面对河流的一侧设置有支护墙，第一回填土上铺设有道路。本申请具有减少在河漫滩路基出现水土流失从而导致后期路面出现沉降的效果。
一种水位河漫滩土路结构施工方法

[外观设计]显示屏幕面板的温度控制图形用户界面（T-3xx系列）-CN202230795638.4有效
发明人：冯涛;何茂栋;董春辉;曹小康;常鑫;李文博;张伟;靳李富;何文明;耿海东 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： 14-04 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：显示屏幕面板的温度控制图形用户界面（T‑3xx系列）。2.本外观设计产品的用途：本产品用于集成电路制造过程的工艺腔温度软件运行、显示及交互。3.本外观设计产品的设计要点：在于产品屏幕中图形用户界面的设计及内容。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。5.温控装置为现有设计，省略后视图、左视图、右视图、俯视图和仰视图。6.图形用户界面的用途：本产品的图形用户界面是用于查看、检测和控制半导体专用温控装置的图形用户界面，主视图主要用于显示设备的关键参数的数值及运行的状态值，点击主视图中的“CH1.OPE”按钮，进入“变化状态1”界面;“变化状态1”界面主要用于设置设备的设定温度值，显示设备内部温度、流量、压力等变量的数值。点击界面右下方“→”按钮，进入“变化状态2”界面，点击“TOP”按钮则进入“主视图”界面;“变化状态2”界面主要用于设置设备内部的各个部件的手动开启及停止动作，同时设置对应部件的输出数值的大小。点击界面右下方“←”按钮进入“变化状态1”界面，点击“TOP”按钮则进入“主视图”界面。
显示屏幕面板温度控制图形用户界面 xx 系列

[实用新型]一种市政道路施工用路基排水结构-CN202223234696.3有效
发明人： 耿海东;何敏 -专利权人：北京市政建设集团有限责任公司
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： E03F5/04 文献下载
摘要：本申请涉及一种市政道路施工用路基排水结构，涉及道路施工技术领域。其包括排水箱和过滤箱，过滤箱适配放置在排水箱内，过滤箱的侧壁上贯穿设置有若干过滤孔，过滤孔沿竖直方向均匀排布，排水箱的侧壁对应过滤孔开设有排水孔，过滤孔中覆盖有过滤网，过滤箱内设有移动组件，移动组件包括移动杆和移动板，移动杆竖直设置，且转动连接在过滤箱上，移动板水平设置，且移动板的周向侧壁与过滤箱的内壁相抵接，移动杆螺纹穿设移动板。本申请具有每次清理过滤网无需持续用力将过滤箱完全拉出排水箱，操作便捷的效果。
一种市政道路施工路基排水结构

[实用新型]一种基于高含水量厚软土层的复合路基-CN202223266314.5有效
发明人：何敏;耿海东 -专利权人：北京市政建设集团有限责任公司
申请日： 2022-12-06 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： E01C3/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种基于高含水量厚软土层的复合路基，应用在软土路基技术的领域，其包括路基本体，所述路基本体包括水平疏水层及竖直疏水层，所述水平疏水层设在用于承受载荷的软土地基上，所述水平疏水层设在用于承受载荷的软土地基内，所述竖直疏水层与所述水平疏水层相连接。本申请具有能够将软土地基内的水分排出，使软土地基固结沉降，提高软土地基的强度及稳定性的效果。
一种基于含水量土层复合路基

[发明专利]温度调控系统及温度调控方法-CN202110179141.4有效
发明人：李文博;胡文达;常鑫;曹小康;芮守祯;何茂栋;耿海东;刘紫阳;董春辉;宋朝阳 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F25B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及热交换技术领域，提供一种温度调控系统及温度调控方法。温度调控系统包括制冷系统与循环系统，制冷系统包括第一制冷系统和第二制冷系统，第一制冷系统包括连接形成循环的第一压缩机、第三换热器的放热侧、第一节流件和第一换热器的吸热侧，第二制冷系统包括连接形成循环的第二压缩机、第四换热器的放热侧、第二节流件和第三换热器的吸热侧，第一压缩机的出口端设有第一压力传感器，第三换热器的放热侧与第一换热器的吸热侧之间设有第四温度传感器；循环系统包括水箱和设于水箱内的加热器，水箱、负载装置与第一换热器的放热侧连接形成循环，水箱的出口端设有第一温度传感器。温度调控系统的结构简单、调控简便，有助于精确控温。
温度调控系统方法

[实用新型]冷却液供给装置及温控系统-CN202220722364.0有效
发明人：宋朝阳;耿海东;鲁元进;董春辉;何茂栋;芮守祯;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： F25D17/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种冷却液供给装置，包括：第一液体容器，用以提供可循环利用的冷却液；第二液体容器，用以存放所述可循环利用的冷却液；第一输液管路，一端连通所述第一液体容器，另一端连通所述第二液体容器，配置成：当所述第一液体容器的液位低于第一预设值时，通过所述第一输液管路将所述第二液体容器中的冷却液输送到所述第一液体容器中。本实用新型增设了第二液体容器，通过第一液体容器为工艺设备提供冷却液，通过第二液体容器为第一液体容器补液，从而减少第一液体容器需要补液时与工艺设备端通信所需的确认次数和等待时间。再通过第二液体容器及时补充存储可循环利用的冷却液，相当于为温控系统增设了缓冲区，提高了补液效率。
冷却液供给装置温控系统

[实用新型]用于半导体温控装置的测试通讯装置-CN202122340833.0有效
发明人：宋朝阳;冯涛;常鑫;耿海东;张悦超;董春辉;何茂栋;芮守祯;曹小康 -专利权人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司
申请日： 2021-09-26 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： G01R31/26 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种用于半导体温控装置的测试通讯装置，包括通讯组件和测试组件，通讯组件包括端子台和多个公接头，多个公接头与端子台的第一通讯接口连接，测试组件包括第一测试元件，第一测试元件与端子台的第二通讯接口连接，公接头用于与半导体温控装置连接。满足半导体温控装置在运行时，通过测试组件和通讯组件快速、准确完成测试通讯要求，保证半导体温控装置与主工业设备连接时通讯正常，保证半导体温控装置运行在稳定可靠的状态下，满足晶圆或面板生产工艺的需求。避免了由于温控装置配置工业设备接口不同，导致测试通讯装置单一及不便，效率低下，且容易出错的问题，同时能够实现各通讯接口同步进行测试工作。
用于半导体温控装置测试通讯

[实用新型]低温半导体温控装置的循环液箱液位检测结构-CN202122076760.9有效
发明人：宋朝阳;冯涛;胡文达;常鑫;耿海东;李文博;董春辉;芮守祯;何茂栋;曹小康 -专利权人：安徽京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： G01F23/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种低温半导体温控装置的循环液箱液位检测结构，包括循环液箱，所述循环液箱内设有第一液位传感器，所述结构还包括设于循环液箱外侧且与循环液箱形成循环液流动回路的液位检测管路，所述液位检测管路由下到上依次设有低液位传感器组和高液位传感器组。通过内置、外置液位传感器测量循环液箱内实时液位，包括内置模拟量信号和外置开关量信号，测量满足高、低温制程的需求，满足循环液箱内特殊液体的测量，同时开关量的传感器外置，与循环液箱外置的管路连接固定，判断循环液箱内液体的具体位置以及便于低液位时的系统保护。
低温半导体温控装置循环液箱液位检测结构

[发明专利]温控系统-CN202110182187.1有效
发明人：李文博;胡文达;曹小康;芮守祯;何茂栋;常鑫;耿海东;董春辉 -专利权人：北京京仪自动化装备技术有限公司
申请日： 2021-02-09 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： G05D23/20 文献下载
摘要：本发明涉及热交换技术领域，提供一种温控系统及温控方法。温控系统，包括：制冷系统和循环系统，制冷系统包括第一制冷系统和第二制冷系统，第一制冷系统包括连接形成循环的第一压缩机、第三换热器的放热侧、第一节流件和第一换热器的吸热侧，第二制冷系统包括连接形成第一循环支路的第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第五换热器的吸热侧，第二制冷系统包括形成第二循环支路的第二压缩机、第四换热器的放热侧、节流装置和第三换热器的吸热侧；循环系统包括水箱和设于水箱内的加热器，水箱、负载装置、第一换热器的放热侧与第五换热器的放热侧连接形成循环。本发明提出的温控系统，系统的结构简单，提高系统的稳定性，温度调控效果好。
温控系统

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