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[实用新型]微机电结构、麦克风和终端-CN202121267953.6有效
发明人：孙恺;荣根兰;孟燕子;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-06-08 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种微机电结构、麦克风和终端，该微机电结构包括：衬底，具有腔体；第一支撑部，位于衬底上；振膜，位于第一支撑部上；第二支撑部，位于振膜上；以及背板，位于第二支撑部上，与振膜之间具有间隙，其中，振膜具有至少一个开槽，各开槽均连通腔体与间隙，且各开槽位于腔体在振膜上的正投影范围之外。该微机电结构通过在振膜上形成连通腔体和间隙的开槽，从而达到通过开槽泄气以平衡振膜两侧压力的目的，又由于开槽与衬底腔体相互错开，减小了开槽对振膜的影响，从而改善了产品的低频响应特性。
微机结构麦克风终端

[发明专利]传感器结构及其制备方法、电子设备-CN202111014713.X在审
发明人：肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种传感器结构及其制备方法、电子设备，该传感器结构包括：硅基底；设置在硅基底一侧的膜层结构，其中，硅基底远离膜层结构的一侧设置有空腔；封装基板，封装基板设置在硅基底远离膜层结构的一侧；连接层，设置在硅基底与封装基板之间，连接层中形成有第一空隙，第一空隙用于连通空腔与传感器结构之外的环境。本申请实施例提供的传感器结构能够简化工艺、提高生产效率以及降低成本。
传感器结构及其制备方法电子设备

[发明专利]传感器结构及其制备方法、电子设备-CN202111014721.4在审
发明人：肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种传感器结构及其制备方法、电子设备，该传感器结构包括：硅基底；设置在硅基底一侧的膜层结构，其中，硅基底远离膜层结构的一侧设置有空腔，硅基底包括第一部分和第二部分，第一部分与空腔相邻，第一部分远离膜层结构的表面与第二部分远离膜层结构的表面不在同一水平面上，且第一部分的厚度小于第二部分的厚度，以形成连通空腔与传感器结构之外的环境的通道。本申请实施例提供的传感器结构能够简化工艺、提高生产效率。
传感器结构及其制备方法电子设备

[发明专利]流量传感器检定系统-CN202110845124.X在审
发明人：肖素艳;穆培祥;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-07-26 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种流量传感器检定系统，解决了现有技术中的单一流量控制器无法实现宽量程比的待测流量计以及单一检测系统无法实现不同类型气体流量计的检定的问题。流量传感器检定系统包括管道回路，以及设置于管道回路中的标准组件；标准组件包括选通组件和与选通组件连接的多个标准流量计，选通组件用于选择多个标准流量计之一与管道回路连通，多个标准流量计的量程不同。
流量传感器检定系统

[发明专利]微机电系统压力传感器及其制造方法-CN202010387590.3在审
发明人：刘迪;李刚;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2020-05-09 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种微机电系统压力传感器及其制造方法，该微机电系统压力传感器包括第一电容，第一电容包括：相对设置的第一电极和第二电极，第一电极具有感测区域；过滤部，设置在感测区域的与空气连通的一侧。通过在感测区域上设置过滤部能够提高微机电系统压力传感器的可靠性。
微机系统压力传感器及其制造方法

[发明专利]一种带吹气装置的圆刷扭丝机-CN202010065393.X有效
发明人：胡维 -专利权人：广州一维俊科技有限公司
申请日： 2020-01-20 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： A46D3/05 文献下载
摘要：本发明提供了一种带吹气装置的圆刷扭丝机，属于扭丝设备领域，包括工作台、刷毛输送装置、钢丝输送辊、旋转扭丝装置以及吹气装置，工作台位于安装架上，工作台上固定有立板，立板一侧设有夹钳。刷毛输送装置包括输送链、下料板以及用于存放刷毛的储毛架，输送链的输出端与夹钳的入口处相接；钢丝输送辊包括上输送辊和下输送辊，上输送辊和下输送辊均包括多组用于输送钢丝的辊轮组。旋转扭丝装置安装在安装架上，与安装架滑动配合，吹气装置位于立板一侧，吹气装置包括气泵与出气管，气泵与出气管连通。该装置在扭丝过程中对扭丝刷进行降温，产品质量稳定性高，结构新颖、实用范围广，实现全自动化生产。
一种吹气装置圆刷扭丝机

[实用新型]MEMS传感器及其微机电结构-CN202120419568.2有效
发明人：孟燕子;孙恺;荣根兰;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-02-25 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS传感器及其微机电结构。该微机电结构包括：背板，具有至少一个通孔；感应膜，包括运动区、非运动区、连接运动区与非运动区的梁结构，运动区与背板构成可变电容；至少一个连接柱，每个连接柱的一端与感应膜的运动区固定连接；以及至少一个可动结构，分别位于相应的通孔中以与背板分离，每个可动结构与相应的连接柱的另一端固定连接，其中，可动结构在感应膜上的正投影与部分非运动区重合。该微机电结构通过可动结构对感应膜的形变程度进行限制，从而提高MEMS传感器的抗机械冲击能力。
mems 传感器及其微机结构

[发明专利]一种光辅助图形转移方法-CN202010203035.0在审
发明人：王虎;安海岩;胡维 -专利权人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
申请日： 2020-03-20 - 公布日： 2021-10-12 - 主分类号： H01L21/027 文献下载
摘要：本发明提供了一种光辅助图形转移方法，所述方法包括：在暗盒里注入电化学腐蚀溶液；将半导体基片置于所述电化学腐蚀溶液中；按照半导体器件图形控制光照分布，并对应照射在所述半导体基片上。解决了现有技术在进行图形转移时需要预先制备掩膜版，工序复杂，缺乏现场图形编辑功能，同时对于不规则图形、微纳结构实现难度大的技术问题。达到了不涉及制作掩膜版、涂胶、曝光、显影等复杂工序，简化了工艺流程，借助控制光照分布，具有灵活、准确、高效的特点，从而实现现场编辑的功能，同时可以灵活自由实现不规则图像，包括量子点、量子线等各种微纳结构的技术效果。
一种辅助图形转移方法

[发明专利]MEMS器件及其制造方法-CN202110795758.9在审
发明人：孟燕子;荣根兰;孙恺;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-07-14 - 公布日： 2021-10-01 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：公开了一种MEMS器件及其制造方法，方法包括：形成第一功能层；在所述第一功能层上形成第一牺牲层；在所述第一牺牲层中形成通孔，所述通孔贯穿所述第一牺牲层；在所述第一牺牲层上形成第二牺牲层，所述第二牺牲层中具有凹槽；在所述第二牺牲层上形成第二功能层，所述第二功能层填充所述第二牺牲层中的凹槽形成防粘结构，其中，所述第一牺牲层采用低密度氧化硅材料，所述第二牺牲层采用高密度氧化硅材料。本申请的MEMS器件的制造方法中，在振膜或背极板靠近空腔的一侧表面上形成有防粘结构，该防粘结构采用两层牺牲层形成，具有更加圆滑的形貌，在振膜发生大形变时，降低了振膜的应力集中，进而降低了MEMS器件的失效和产品的成本。
mems 器件及其制造方法

[实用新型]MEMS麦克风及其微机电结构-CN202120396938.5有效
发明人：荣根兰;孙恺;孟燕子;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-02-23 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS麦克风及其微机电结构，该微机电结构包括第一背极板；第二背极板，位于第一背极板上；振动膜，位于第一背极板与第二背极板之间，振动膜与第一背极板构成第一可变电容，并与第二背极板构成第二可变电容；第一支撑部，位于第一背极板与振动膜之间，并分别与第一背极板和振动膜固定连接；第二支撑部，位于第二背极板与振动膜之间，并分别与第二背极板和振动膜固定连接，其中，第一支撑部沿振动膜的边缘向振动膜的中心方向凸出于第二支撑部。该微机电结构通过使得第一支撑部沿振动膜的边缘向中心方向凸出于第二支撑部，从而改善了由于振动膜的应力不一导致差分信号的一致性较差的问题。
mems 麦克风及其微机结构

[实用新型]压力传感器-CN202120442198.4有效
发明人：吕萍;胡维;李刚 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-03-01 - 公布日： 2021-09-24 - 主分类号： G01L9/06 文献下载
摘要：本申请提供了一种压力传感器，该压力传感器包括：衬底，衬底中设置有收容腔；压力传感器主体，设置在收容腔中；第一梁结构，设置在收容腔中，并连接压力传感器主体与衬底，使得压力传感器主体悬浮于收容腔中；阻挡层，设置在压力传感器主体远离衬底的一侧，阻挡层靠近衬底的表面上设置有第一凸起状结构。本申请实施例提供的压力传感器能够有效地提高压力传感器的可靠性和抗冲击性。
压力传感器

[发明专利]惯性传感器及其制备方法-CN202110791961.9在审
发明人：庄瑞芬;胡维;李刚 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-07-13 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： B81B7/04 文献下载
摘要：本申请提供了一种惯性传感器及其制备方法，解决了现有技术中批量生产的惯性传感器的性能均一性较差和电互联难度高的问题。其中，惯性传感器的制备方法包括：提供第一基板，第一基板包括第一导电层；提供第二基板，第二基板包括第一衬底，第一衬底的材料为单晶材料；将第一导电层和第一衬底结合在一起，形成结合界面；形成可动元件，可动元件包括至少部分第一衬底。
惯性传感器及其制备方法

[实用新型]一种麦克风振膜及麦克风-CN202120243027.9有效
发明人：荣根兰;孙恺;孟燕子;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2021-01-28 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： H04R7/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及电子器件技术领域，尤其涉及一种麦克风振膜及麦克风。所述麦克风振膜包括振膜本体，振膜本体上开设有不封闭的环形第一泄气孔以形成泄气结构，泄气结构包括振动部和连接部，连接部与振膜本体相连接，且连接部的长度大于第一泄气孔的宽度，泄气结构能够相对于振膜本体上下摆动，以调整第一泄气孔的泄气量。所述麦克风振膜通过连接部的设置，能够减小泄气结构与振膜本体之间的连接刚度，从而使泄气结构更容易相对于振膜本体上下摆动，从而使泄气结构在外界声压的作用下打开的幅度更大，增大泄气量，提高泄气能力，从而提高振膜本体的可靠性。所述麦克风通过应用上述麦克风振膜，能够保证麦克风低频频响性能，提高麦克风的稳定性。
一种麦克风

[实用新型]MEMS麦克风、微机电结构-CN202023117127.1有效
发明人：荣根兰;孙恺;孟燕子;胡维 -专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2021-08-17 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS麦克风、微机电结构。该微机电结构包括：至少一个背极板，每个背极板具有至少一个通孔；振动膜，与每个背极板构成相应的可变电容，振动膜包括至少一个气孔；第二防护层，用于阻挡异物经通孔进入相应背极板与振动膜之间的间隙；以及第二连接部，固接在第二防护层与相应背极板之间，以使第二防护层与相应背极板分隔，其中，第二连接部为光刻胶连接部。
mems 麦克风微机结构

[发明专利]用于发电机对中的固定工装及其使用方法-CN202110561751.0在审
发明人：马飞;陈方俊;张焱焱;吴美良;胡维;王建东;许瑛;杨文慧;徐振国 -专利权人：中广核新能源安徽有限公司
申请日： 2021-05-23 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于发电机对中的固定工装及其使用方法，包括四组工装组件，任意一组所述工装组件均包括插管和若干工装块，四组工装组件中的所述插管依次插入相邻工装组件的插板中，所述固定槽内设置有控制电路，且滑板下滑使得控制开关闭合，所述滑槽上内壁固定连接有弹性推杆，且弹性推杆和磁性挡块间活动连接有压板，所述工装块外侧壁滑动连接有滑动箱，所述滑动箱内底壁和压板间活动设置有弹性气囊，所述滑动箱下方固定连接有弹性吸盘，本发明在使用中，通过多个错位对应设置的弹性插块和穿过槽，提高工装组件的适应性和灵活性，并通过压板、滑动箱、弹性气囊和弹性吸盘间的配合设置，提高对发电机的固定效果。
用于发电机中的固定工装及其使用方法