专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种芯片加工用双面晶圆划片机-CN202120777208.X有效
  • 胡天武 - 绍兴宇力半导体有限公司
  • 2021-04-16 - 2022-04-19 - B23K26/38
  • 本实用新型公开了一种芯片加工用双面晶圆划片机,包括划片机本体,划片机本体内设置有滑动块,滑动块经与滑动件连接的驱动件连接滑动设置在划片机本体内,滑动件固定在划片机本体侧壁上且能够驱动驱动件横向移动,驱动件滑动设置在划片机本体内且与滑动件连接,滑动件上设置有第一电机,第一电机输出轴上固定有固定块,固定块上固定有激光笔,划片机本体内设置有第一吸盘,第一吸盘经与升降件连接的第一移动件滑动设置在划片机本体内,升降件滑动设置在划片机本体内,划片机本体上固定有第一负压泵且第一负压泵与吸盘管道连接,划片机本体上设置有第二吸盘,划片机本体上固定有第二负压泵,可以对工件双面进行加工。
  • 一种芯片工用双面划片
  • [实用新型]一种芯片加工用晶片减薄机-CN202120778331.3有效
  • 胡天武 - 绍兴宇力半导体有限公司
  • 2021-04-16 - 2022-04-19 - B24B37/00
  • 本实用新型公开了一种芯片加工用晶片减薄机,包括底座、固定在底座上用于挡水的挡水框以及固定在底座上用于对工件进行研磨的研磨件,还包括设置在底座上的喷头以及用于支撑喷头的支撑板,支撑板经与齿条连接的直齿轮滑动设置在底座上,齿条旋转设置在底座上且齿条与支撑板固定配合,直齿轮旋转设置在底座内且直齿轮与其齿条相啮合,底座内固定有主电机且其输出轴与直齿轮固定配合,旋转主电机输出轴以使其驱动直齿轮带动齿条转动,达到齿条驱动支撑板带动喷头在底座上转动,底座上固定有储存箱,储存箱的内壁上固定有抽水泵且其与喷头通过软道连接,抽水泵可传输储存箱内水通过喷头对工件进行清洗,可以对工件进行清洗。
  • 一种芯片工用晶片减薄机
  • [实用新型]一种具有烘干效果的芯片蚀刻装置-CN202120778122.9有效
  • 胡天武 - 绍兴宇力半导体有限公司
  • 2021-04-16 - 2022-02-22 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种具有烘干效果的芯片蚀刻装置,包括蚀刻箱本体、开设在蚀刻箱本体上的烘干槽以及固定在蚀刻箱本体上用于对工件进行蚀刻的蚀刻件,还包括开设在蚀刻箱本体上的烘干槽以及固定在烘干槽内壁上的出风板,蚀刻箱本体上固定有风机,风机与出风板通过传输管连接且风机可传输气流进入到出风板内,气流可通过出风板上开口对工件进行烘干,传输管上固定有加热丝且加热丝可对传输管进行加热,加热后传输管可对气流进行加热,可以对工件进行烘干。
  • 一种具有烘干效果芯片蚀刻装置
  • [实用新型]一种芯片加工用单晶炉-CN202120788639.6有效
  • 胡天武 - 绍兴宇力半导体有限公司
  • 2021-04-16 - 2022-02-22 - C30B35/00
  • 本实用新型公开了一种芯片加工用单晶炉,包括单晶炉本体,单晶炉本体上滑动设置有滑动块,单晶炉本体上固定有第一电动推杆且其输出轴与滑动块固定配合,第一电动推杆输出轴伸出时可驱动滑动块移动,滑动块上滑动设置有夹持机械手,滑动块内固定有第二电动推杆且其输出轴与夹持机械手固定配合,第二电动推杆输出轴伸出时可驱动夹持机械手移动,单晶炉本体上固定有支撑框,支撑框上贯穿固定有风机,风机可传输外界气流对单晶进行冷却,可以对单晶进行冷却。
  • 一种芯片工用单晶炉
  • [实用新型]一种芯片加工用蚀刻装置-CN202120777904.0有效
  • 胡天武 - 绍兴宇力半导体有限公司
  • 2021-04-16 - 2022-01-11 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种芯片加工用蚀刻装置,包括蚀刻箱本体、开设在蚀刻箱本体内的清理槽以及固定在蚀刻箱本体底部用于对工件进行蚀刻的蚀刻件,还包括固定在蚀刻箱本体上储水箱以及固定在清理槽内的喷头,储水箱的内壁上固定有抽水泵且其与喷头通过管道连接,清理槽内旋转设置有旋转块,清理槽的内壁上固定有主电机且其输出轴转动时可驱动与其输出轴固定配合的旋转块转动,旋转旋转块以使旋转块驱动工件转动,转动中的工件可通过喷头将水传输到工件上对其进行清理,清理槽与储存箱通过管道连接,可以对芯片进行自动清洗。
  • 一种芯片工用蚀刻装置

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