专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种湿法蚀刻机台清洗装置-CN202022273776.4有效
  • 兰升友;李瑶;熊超超;肖清凯;杨富可 - 重庆康佳光电技术研究院有限公司
  • 2020-10-13 - 2021-07-20 - H01L21/67
  • 本实用新型涉及一种湿法蚀刻机台清洗装置。包括:储液箱,存储清洗液;至少包括顺次设置于储液箱一侧的第二冲洗单元、第一冲洗单元,第一、第二冲洗单元分别对待清洗物进行第一次冲洗、第二次冲洗;储液箱通过第一输液管与第一、第二冲洗单元连通向第一、第二冲洗单元输送清洗液;第一冲洗单元包括第一积液箱,积存经第一冲洗单元清洗后的清洗液,第一积液箱底部设有排流管;第二冲洗单元包括第二积液箱,第二积液箱通过第二输液管与第一冲洗单元连通,第二输液管上设置有过滤装置,过滤第二积液箱内排出的清洗液。通过设置的积液箱和过滤装置将清洗液进行过滤后重复利用,减少了清洗液的用量,降低了厂务处理废水的费用。
  • 一种湿法蚀刻机台清洗装置
  • [实用新型]一种蚀刻清洗装置-CN202022477899.X有效
  • 兰升友;徐瑞林;易熊军;文成龙;肖清凯 - 重庆康佳光电技术研究院有限公司
  • 2020-10-29 - 2021-06-01 - H01L21/67
  • 本实用新型涉及一种蚀刻清洗装置,其包括依次连通的蚀刻区、减速清洗区、转弯清洗区和缓冲清洗区;蚀刻区和减速清洗区沿第一方向连通,缓冲清洗区沿第二方向设置;蚀刻区、减速清洗区、转弯清洗区和缓冲清洗区的腔内底部均设置有滚轮,蚀刻区、减速清洗区、转弯清洗区和缓冲清洗区的腔内顶部均设置有喷头;蚀刻区和减速清洗区内的滚轮沿第一方向滚动,缓冲清洗区内的滚轮沿第二方向滚动,转弯清洗区内的滚轮沿第三方向滚动;减速清洗区与转弯清洗区上的滚轮具有第一转动速度,缓冲清洗区上的滚轮具有第二转动速度;第二转动速度大于第一转动速度。本实用新型能够减少晶圆破片现象,并能够降低宕机率,从而提高了产能,降低了生产成本。
  • 一种蚀刻清洗装置

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