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[发明专利]一种金属化合物薄膜的制备方法-CN202111123778.8有效
发明人：马迎功;郭冰亮;武树波;赵晨光;周麟;宋玲彦;杨健;甄梓杨;翟洪涛;段俊雄;师帅涛;许文学;张璐;崔亚欣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属化合物薄膜的制备方法，包括：步骤1：将待沉积薄膜的晶圆放入反应腔室中基座上方的托盘上；步骤2：向反应腔室内通入惰性气体和工艺气体的混合气体，对反应腔室中的金属靶材施加脉冲直流功率，使该混合气体形成等离子体，该等离子体轰击金属靶材，以在晶圆上形成金属化合物薄膜；同时对基座施加射频偏压功率，以调整金属化合物薄膜的应力。本发明在步骤2中，对基座施加射频偏压功率，以在晶圆上形成金属化合物薄膜时调整金属化合物薄膜的应力。解决了薄膜受力弯曲，甚至脱落的问题，进而提升了器件的可靠性。
一种金属化合物薄膜制备方法

[发明专利]预处理腔室、半导体的预处理方法、加工设备及方法-CN202111006316.8有效
发明人：赵晨光;郭冰亮;马迎功;宋玲彦;杨健;周麟;武树波;许文学;翟洪涛;甄梓杨 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-08-30 - 公布日： 2023-04-14 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供一种预处理腔室、半导体的预处理方法、加工设备及方法，其包括：腔体以及设置在腔体中的加热组件、承载组件和升降组件；其中，升降组件能够将待处理件移动至用于进行加热去气工艺的第一工艺位或者用于进行预清洗工艺的第二工艺位；预处理腔室还包括防干扰装置，防干扰装置设置于加热组件的用于与电源连接的一端，防干扰装置用以防止承载组件加载射频功率后干扰加热组件的电信号。本发明能够将去气设备和预清洗设备集成在同一个腔室且不会互相干扰，而且在进行预清洗工艺时，去气工艺设备能够持续对待处理件进行加热以维持待处理件温度的稳定，进而可以提高待处理件的预处理效果，以使后续待处理件上沉积的薄膜质量和产能均能得到提升。
预处理半导体方法加工设备

[发明专利]一种登录方法及装置-CN202011621507.0有效
发明人：泰凯文;翟洪涛;宋玲玲 -专利权人：中国农业银行股份有限公司
申请日： 2020-12-30 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H04L9/40 文献下载
摘要：本申请公开了提供了一种登录方法和装置，该方法包括：响应于用户发送的目标业务模块的选择信息，根据目标业务模块的目标地址获取目标业务模块的目标页面。通过目标接口将目标令牌发送给目标业务模块，以便目标业务模块在接收到目标令牌后，利用目标令牌获取用户的登录信息，并利用用户的登录信息在目标页面上进行登录。通过本申请实施例提供的登录方法，当用户已登录主应用时，第二服务器保密存储有用户的登录信息。若用户需要登录到目标业务模块，则可以通过主应用将目标令牌发送给目标业务模块，使目标业务模块利用目标令牌获取用户的登录信息进行登录。则在登录目标业务模块时，不需要用户重新输入登录信息，方便了用户。
一种登录方法装置

[发明专利]一种银行贵金属展示方法、装置及设备-CN202211302912.5在审
发明人： 翟洪涛;王文华 -专利权人：中国农业银行股份有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2022-12-06 - 主分类号： G06T15/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种银行贵金属展示方法、装置及设备，该方法包括：首先获取待展示的目标银行贵金属信息，以及获取终端设备类型和场景标识，然后，在根据所述场景标识进行场景判断后，获取当前服务器并发数，并判断所述并发数是否小于预设阈值，若是，则将所述目标银行贵金属进行3D模式展示；若否，则将所述目标银行贵金属进行2D模式展示。从而能够根据银行贵金属信息和使用的终端设备类型，对银行贵金属进行3D和2D场景的智能切换展示，有效改善页面贵金属信息加载速度，进而有效提升用户体验。
一种银行贵金属展示方法装置设备

[发明专利]磁控溅射设备-CN202011530202.9有效
发明人：武树波;马迎功;师帅涛;许文学;郭冰亮;甄梓杨;张璐;崔亚欣;翟洪涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-22 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明提供一种磁控溅射设备，包括工艺腔室、偏压电源组件和激励电源组件，工艺腔室中设置有基座组件和偏压导入组件，工艺腔室的顶部设置有靶材，其中，基座组件位于工艺腔室的底部，用于支撑晶片承载件，驱动晶片承载件移动，以及加热晶片承载件；偏压导入组件位于基座组件上，用于支撑晶片承载件，并且偏压导入组件与晶片承载件电接触；偏压电源组件与偏压导入组件电连接，用于通过偏压导入组件向晶片承载件加载偏置电压；激励电源组件与靶材电连接，用于向靶材加载激励电压。本发明提供的磁控溅射设备能够降低生产及维护成本，并避免晶片在不同的工艺腔室之间传输，从而缩短工艺时间并提高产能。
磁控溅射设备

[发明专利]应用于薄膜沉积装置的托盘-CN201911292324.6有效
发明人：马迎功;董博宇;郭冰亮;武学伟;武树波;赵晨光;翟洪涛;杨依龙;杨健;甄梓杨;宋玲彦;孙鲁阳;李新颖;刘玉杰;许文学;张璐;崔亚欣 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-12-16 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种应用于薄膜沉积装置的托盘，包括：第一盘体、第二盘体以及连接组件。第一盘体包括用于承载晶圆的多个通孔，且第一盘体下表面设置有多个第一槽位。第二盘体的尺寸与第一盘体的尺寸相对应，且第二盘体上表面设置有多个第二槽位。第二槽位的形状及位置与第一槽位的形状及位置相对应。连接组件位于一一对应的第一槽位及第二槽位之间，用于实现第一盘体和第二盘体的固定连接。第一盘体采用第一材质制备，第二盘体采用第二材质制备,且第一材质的热膨胀系数与待沉积薄膜的热膨胀系数的相对偏差值小于20％，以减少对所述晶圆沉积薄膜时的应力影响；第一材质的体积电阻率大于第二材质的体积电阻率，以使在对晶圆沉积薄膜时第一盘体形成绝缘体。
应用于薄膜沉积装置托盘

[发明专利]半导体加工设备及对半导体加工设备进行清理的工艺-CN202110161102.1有效
发明人：赵晨光;郭冰亮;马迎功;宋玲彦;杨健;武树波;许文学;张璐;甄梓杨;翟洪涛 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2021-02-05 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本申请公开了一种半导体加工设备及对半导体加工设备进行清理的工艺，所公开的半导体加工设备包括反应腔室、升降驱动装置、屏蔽件和靶材；升降驱动装置用于驱动反应腔室内承载晶片的托盘在第一位置与第二位置之间移动；屏蔽件设于反应腔室的侧壁；靶材设于反应腔室内，且靶材与托盘相对设置；在托盘位于第一位置的情况下，托盘与靶材之间的距离为第一距离，且屏蔽件的第一区域位于托盘背离靶材的一侧；在托盘位于第二位置的情况下，托盘与靶材之间的距离为第二距离，第一距离小于第二距离。上述方案能够解决半导体加工设备在生产过程中由于溅射电压过高而影响半导体加工设备的产能及其生产的产品的良率问题。
半导体加工设备对半导体进行清理工艺

[发明专利]金属氮化物薄膜沉积方法-CN202011469751.X有效
发明人：马迎功;郭冰亮;武树波;师帅涛;赵晨光;杨健;宋玲彦;甄梓扬;翟洪涛;许文学;张璐;崔亚欣;段俊雄;孙鲁阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种金属氮化物薄膜沉积方法，应用于半导体设备的工艺腔室，包括以下步骤：S1、对衬底进行加热，以去除衬底上的杂质；S2、向工艺腔室中通入氮气，并开启偏压电源，激发氮气形成等离子体，以通过使等离子体轰击衬底的表面来去除残留的杂质，并与衬底表面上的金属原子反应形成金属氮化物缓冲层；S3、进行溅射工艺，以在金属氮化物缓冲层上沉积形成金属氮化物薄膜。本发明实施例提供的金属氮化物薄膜沉积方法，其不仅可以完全去除衬底的水汽和与衬底表面结合较紧固的杂质，而且还可以减少金属氮化物薄膜的应力，从而可以提高金属氮化物薄膜性能。
金属氮化物薄膜沉积方法

[发明专利]一种车辆BSD信号测试设备及测试方法-CN202210257978.0在审
发明人：张长禄;赵士舒;郭魁元;吉恒毅;柳博航;翟洪涛;张帅;马文博;李韬 -专利权人：中汽研汽车检验中心（天津）有限公司;中国汽车技术研究中心有限公司
申请日： 2022-03-16 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： G06V20/56 文献下载
摘要：本发明提供了一种车辆BSD信号测试设备，包括密封箱体，密封箱体的其中一组侧板上设有与车辆后视镜对应的开口一和用于安装辅助光源的开口二，开口一处设置有用于防止漏光的柔性内衬，密封箱体靠近车尾方向的背板上设有开口三，开口三处铰接有遮挡板一，遮挡板一的内壁上固定设置有移动机构，移动机构上安装有光学摄像机；密封箱体的外壁上固定连接有用于将箱体主体固定在车身外壁上的固定支架。本发明所述的一种车辆BSD信号测试设备及测试方法实现了自动驾驶道路测试中对BSD信号的有效识别，具备不受外接环境干扰、多参数自定义调整、识别准确率较高、信号输出稳定高效、安装便捷、车型通用的优势。
一种车辆 bsd 信号测试设备方法

[实用新型]电源墙壁接线暗盒螺母恢复支撑通用框架及插排套装-CN202122566900.0有效
发明人：毛圣儿;翟洪涛;巩思晨;周连峰 -专利权人：北京首都机场动力能源有限公司
申请日： 2021-10-25 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H02G3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及电器领域，特别涉及一种电源墙壁接线暗盒螺母恢复支撑通用框架及插排套装。本实用新型的电源墙壁接线暗盒螺母恢复支撑通用框架包括方形的框架本体，所述框架本体两端分别沿边沿线设有宽边的定位边条，所述定位边条上分别设有用于锁紧安装插座或开关面板的螺孔，所述框架本体上还设有与底盒可拆卸连接的定位组件。优点：结构设计简单、合理，能够适用于大部分插排的拆装安装更换，使用安全可靠。
电源墙壁接线暗盒螺母恢复支撑通用框架套装

[实用新型]减振结构、丝杠升降机构及半导体加工设备-CN201922052849.4有效
发明人：杨依龙;武学伟;董博宇;李新颖;武树波;郭冰亮;宋玲彦;杨建;赵晨光;马迎功;刘玉杰;张家昊;陈玉静;张璐;翟洪涛;甄梓杨;孙鲁阳 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-08-21 - 主分类号： F16H25/24 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种减振结构、丝杠升降机构及半导体加工设备。该减振结构设置于丝杠升降机构的丝杠螺母及升降套筒组件之间，用于对升降套筒组件减振。减振结构包括：第一连接件、第二连接件及减振组件；第一连接件及第二连接件平行且间隔设置，第一连接件与丝杠螺母连接，第二连接件与升降套筒连接；第一连接件及第二连接件左右两侧均设置有减振组件，并且减振组件的两端分别第一连接件及第二连接件的侧面连接，第二连接件能相对于第一连接件沿前后方向移动。本申请实施例可以有效提高丝杠升降组件的安全性及稳定性，进而有效提高了工艺的安全性，可以有效提高经济效益。
结构升降机构半导体加工设备

[实用新型]一种高供高计仿真计量柜-CN201820887330.0有效
发明人：毛圣儿;翟洪涛;巩思晨 -专利权人：北京首都机场动力能源有限公司
申请日： 2018-06-08 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： G01R11/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种高供高计仿真计量柜，包括电压互感器、电流互感器、接线盒、电能表、转换开关、电压表、安装框架以及展示板，电压互感器的一次绕组以及电流互感器的一次绕组分别与外部的高压供电电路电连接，电压互感器的二次绕组以及电流互感器的二次绕组分别通过接线盒与电能表电连接，接线盒通过转换开关与电压表电连接；展示板盖设于安装框架的上端，且展示板的一边与安装框架的一边转动连接，并可打开或盖合安装框架的上端，电压互感器、电流互感器以及接线盒均可拆卸地安装于安装框架内，电能表、转换开关以及电压表均可拆卸地安装于展示板的下表面。本实用新型提供的仿真计量柜可以加强技术人员实操动手能力的培训。
安装框架电流互感器电压互感器接线盒展示板转换开关电连接电能表电压表计量柜本实用新型二次绕组一次绕组可拆卸上端高压供电电路动手能力转动连接可打开下表面盖合盖设外部培训

[发明专利]一种高供高计仿真计量柜-CN201810587208.6在审
发明人：毛圣儿;翟洪涛;巩思晨 -专利权人：北京首都机场动力能源有限公司
申请日： 2018-06-08 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： G01R11/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种高供高计仿真计量柜，包括电压互感器、电流互感器、接线盒、电能表、转换开关、电压表、安装框架以及展示板，电压互感器的一次绕组以及电流互感器的一次绕组分别与外部的高压供电电路电连接，电压互感器的二次绕组以及电流互感器的二次绕组分别通过接线盒与电能表电连接，接线盒通过转换开关与电压表电连接；展示板盖设于安装框架的上端，且展示板的一边与安装框架的一边转动连接，并可打开或盖合安装框架的上端，电压互感器、电流互感器以及接线盒均可拆卸地安装于安装框架内，电能表、转换开关以及电压表均可拆卸地安装于展示板的下表面。本发明提供的高供高计仿真计量柜可以加强技术人员实操动手能力的培训。
安装框架电流互感器电压互感器接线盒展示板转换开关电连接电能表电压表计量柜二次绕组一次绕组可拆卸上端高压供电电路动手能力转动连接可打开下表面盖合盖设外部培训

[发明专利]基于含氟聚芳醚酮共聚改性聚酰亚胺的耐高温漆包线漆组合物及其制备方法-CN201610121603.6有效
发明人：赵芸;翟洪涛;矫庆泽;黎汉生 -专利权人：北京理工大学
申请日： 2016-03-04 - 公布日： 2018-06-15 - 主分类号： C09D179/08 文献下载
摘要：本发明涉及基于含氟聚芳醚酮共聚改性聚酰亚胺的耐高温漆包线漆组合物及其制备方法。所述漆包线漆组合物包含：10‑45％的含氟聚芳醚酮共聚改性聚酰胺酸，30‑70％的溶剂，10‑60％的稀释剂，1‑10％的润滑剂，0.1‑2.0％的流平剂，其重量百分数总和为100％。本发明的漆包线漆组合物固含量为15‑45％，具有出色的耐热性，满足240级漆包线漆国家标准。 1
含氟聚芳醚酮共聚改性漆包线漆耐高温漆包线漆聚酰亚胺制备稀释剂耐热性聚酰胺酸固含量流平剂润滑剂溶剂

[实用新型]一种远程控制室温的楼栋集中器及远程楼栋温度控制系统-CN201621075743.6有效
发明人：刘永超;李墨;金玉林;翟洪涛;张静 -专利权人：唐山金万众科技有限公司
申请日： 2016-09-23 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： F24F11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种远程控制室温的楼栋集中器及远程楼栋温度控制系统，一种远程控制室温的楼栋集中器包括控制模块、第一无线通讯模块、第二无线通讯模块、电源模块、状态显示模块、人机输入模块、参数设置接口、时钟模块，远程楼栋温度控制系统包括上述楼栋集中器、温度采集器、阀门开度控制器、上端服务器。本实用新型的一种远程控制室温的楼栋集中器可通过无线通信收集多个温度采集器的数据并下发控制指令，管理人员也可根据要求进行人机操作或参数设置，状态显示模块显示楼栋集中器的工作状态。本实用新型的远程楼栋温度控制系统，采用无线通讯的方式节约了成本，管理人员可监测并远程控制住户室内的温度，减轻工作负荷，提高住户生活质量。
一种远程控制室温集中器温度控制系统

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