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- [发明专利]陶瓷加热器-CN201980071351.2有效
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尹守远;黄喆湖
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美科陶瓷科技有限公司
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2019-12-02
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2023-08-15
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H05B3/28
- 本发明涉及一种陶瓷加热器，更具体而言，涉及一种陶瓷加热器，其特征在于，形成有陶瓷加热器(100)所含的发热体(400)的同心圆柱的连接部，连接所述同心圆柱的连接部对的连接部对对称轴不经过发热体的中心(420)。根据本发明，能够提供如下的陶瓷加热器(100)：其具有能够减少陶瓷加热器所含的发热体的低温区域，从而提高陶瓷板加热面的温度均匀性的效果，并且具有能够在无需添加额外的装置的情况下，仅通过变更连接陶瓷加热器所含的发热体的同心圆柱的连接部结构的设计，来提高陶瓷加热器加热面的温度均匀性的效果。
- 陶瓷加热器
- [发明专利]改善温度偏差特性的基板加热装置-CN201680052441.3有效
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郑哲镐;崔晋荣;崔允豪
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美科陶瓷科技有限公司
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2016-09-30
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2022-10-14
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H01L21/324
- 本发明涉及基板加热装置，更具体而言，涉及如下一种基板加热装置，包括位于基板加热装置的内部区域的第一发热体、位于外部区域的第二发热体及横穿所述内部区域而向第二发热体传输电力的第三发热体构成，通过使构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径更厚，可以抑制因所述第三发热体发热而发生过热区域。本发明具有的效果是公开一种基板加热装置，作为对基板加热的基板加热装置，其特征在于，包括：主体部，其支撑基板；第一发热体，其位于所述主体部的内部区域；第二发热体，其位于环绕所述内部区域的外部区域；及第三发热体，其横穿所述主体部的内部区域，向所述第二发热体传递电流，构成所述第三发热体的金属线直径比构成所述第二发热体的金属线直径粗。
- 改善温度偏差特性加热装置
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