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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]静电卡盘-CN202010064038.0在审
  • 黄正训;刘翰均;曺尚范 - 美科陶瓷科技有限公司
  • 2020-01-20 - 2021-07-09 - H01L21/683
  • 本发明涉及一种静电卡盘。本发明提供一种静电卡盘，包括：基材；及静电卡盘板，固定于所述基材上，并且包括被施加用于卡紧和解除卡紧的多个电极，所述多个电极具有从所述静电卡盘板的边缘的起点向中心侧的终点延长的螺旋形图案，所述螺旋形图案的旋转角是360°*n(n是1以上且2以下的实数)。
  • 静电卡盘
  • [发明专利]静电吸盘-CN202011221432.7在审
  • 黄正训;刘翰均 - 美科陶瓷科技有限公司
  • 2020-11-05 - 2021-05-28 - H01L21/683
  • 本发明涉及一种具有利用冷却气体的冷却结构的静电吸盘，包括：静电吸盘板，所述静电吸盘板包括在第一区域形成的多个第一冷却气体孔、在第二区域形成的多个第二冷却气体孔；及基材，所述基材具备与所述多个第一冷却气体孔连接的第一流路图案、与所述多个第二冷却气体孔连接的第二流路图案、变更注入所述第一流路图案的冷却气体的流入口位置的流入口移动图案。
  • 静电吸盘
  •  1 
  • 共 2 条
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