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[发明专利]一种适用于无尘烘箱的在线采样方法-CN202211480550.9在审
发明人：王羚;贺贤汉;管方方;周斌;张正伟 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01N33/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种适用于无尘烘箱的在线采样方法，包括以下操作步骤：S1.安装准备；S2.烘箱在第一温度段下的无污染确认；S3.样品干燥；S4.样品采样；S5.通气采样。本发明通过对无尘烘箱的改造，能对已经老化并检测过的吸附管进行在线采样，并将采样结果与空白吸附管进行比较，能通过在线采样及时了解烘箱内部气体污染情况，降低了部件再清洗成本，减少了因为残留挥发性有机物不合格造成的重新清洗；保证了产品的品质稳定，提高了干燥的效率和合格率。
一种适用于烘箱在线采样方法

[发明专利]一种半导体制造设备部件表面痕量离子污染的测试方法-CN202211547774.7在审
发明人：范瑞香;贺贤汉;张正伟;管方方;黄浩杰 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-03-14 - 主分类号： G01N30/96 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制造设备部件表面痕量离子污染的测试方法，在洁净级别至少为100级的洁净室中进行；采用经过清洁处理的无尘聚酯纤维棉签擦拭待测部件表面取样，紧接着在经清洁处理后的小瓶内采用电子级水浸泡棉签，取出棉签后采用离子色谱测试溶液中的离子含量。本发明利用无尘棉签擦拭的间接取样方式，将半导体制造设备部件表面痕量离子通过棉签擦拭出来，紧接着用电子级水浸泡棉签，最后取出棉签，用离子色谱测试溶液中离子含量。此方法操作简便快速，适用于局部测试和大尺寸零部件的表面痕量离子污染物分析。
一种半导体制造设备部件表面痕量离子污染测试方法

[发明专利]一种强疏水性、软质膜表面痕量元素污染的测试方法-CN202211189819.8在审
发明人：金奇梅;贺贤汉;管方方;幸仁华;张正伟 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明提供了一种强疏水性、软质膜表面痕量元素污染的测试方法，先进行空白样品污染痕量元素测定，然后进行膜表面污染痕量元素测定，而后根据二者差值进行膜表面污染痕量元素浓度计算。本发明进行膜表面污染痕量元素提取时，利用容器作为外壳载体，依靠萃取液自身重力将薄膜全部撑开，充分得以浸泡，一方面避免了滤膜浸泡时由于疏水、密度低造成的漂浮现象，另一方面避免了因质地软、密度低产生的褶皱现象，对此类疏水性、质地软且密度低的膜表面的痕量元素污染物分析非常有效。
一种疏水质膜表面痕量元素污染测试方法

[发明专利]一种半导体设备及部件表面颗粒的检测方法-CN202211276342.7在审
发明人：邹冰杰;贺贤汉;侯晓晨;管方方;张正伟 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2022-10-18 - 公布日： 2023-01-31 - 主分类号： G01N15/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种半导体设备及部件表面颗粒的检测方法，包括如下步骤：步骤一，将设备的零部件放置在固定的平台上，采用IPA溶液对零部件或者零部件的某一表面进行冲洗5‑10分钟，并收集冲洗后的液体，可重复进行多次；步骤二，用滴灌吸取3‑6ml冲洗后的液体，均匀地滴至滤膜上进行抽滤，其中滤膜材质为亲水的PTFE聚四氟乙烯；步骤三，抽滤结束后，将滤膜至于无尘烘箱内进行干燥；步骤四，滤膜烘干后，采用扫描电子显微镜和X射线能谱仪对颗粒的形貌和成分进行测试。本发明在通过对部件用IPA冲洗并采用滤膜过滤，将颗粒收集并进行等检测。过程简便，通过冲洗、过滤并烘干的处理，可直接对滤膜上的颗粒进行测试。无需对溶液内的颗粒进行消解处理。
一种半导体设备部件表面颗粒检测方法

[发明专利]一种半导体制造用气体分散部件表面痕量元素污染的测试方法-CN202110901283.7有效
发明人：金奇梅;贺贤汉;李文阁;管方方;张正伟;蒋立峰 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2021-08-06 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域。一种半导体制造用气体分散部件表面痕量元素污染的测试方法，包括以下步骤：步骤一，采样区内放置一块干净的疏水性光滑平面，在其表面滴加适量的稀硝酸溶液，一定时间后回收溶液，并放置于一个洁净的空瓶内，用ICP‑MS测试溶液中元素含量；步骤二，采样区内放置一块干净的疏水性光滑平面，在其表面滴加适量的稀硝酸溶液，由于表面张力的作用会使得溶液聚成球形，接着取出待测的带通孔零部件样品轻轻放置于球形溶液上方，一定时间后将样品轻轻拿出，并回收溶液将其置于一个洁净的空瓶内，用ICP‑MS测试溶液中元素含量；步骤三，取两次测试结果的差值，通过公式计算最终得到待测工件的痕量元素污染含量。
一种半导体制造气体分散部件表面痕量元素污染测试方法

[发明专利]一种半导体设备零部件通孔内微污染的测试方法-CN202110908400.2在审
发明人：李文阁;贺贤汉;金奇梅;管方方;张正伟;蒋立峰 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2021-08-09 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域。一种半导体设备零部件通孔内微污染的测试方法，包括以下步骤：步骤一，在洁净室的采样区放置一个洁净的塑料空瓶，往其中加入萃取溶液，一定时间后取出置于另一个洁净的塑料空瓶内；用电感耦合等离子质谱测试溶液中的元素含量，用离子色谱测试溶液中的阴、阳离子含量；步骤二：在洁净室的采样区内放置部件样品，通过注射装置往部件样品的通孔内注入萃取溶液，并回收溶液，用电感耦合等离子质谱测试溶液中的元素含量，用离子色谱测试溶液中的阴、阳离子含量；步骤三：取步骤一以及步骤二两次测试结果的差值，计算通孔内的元素含量和离子含量。该方法提供了一种特殊样品中通孔内杂质元素和离子等微污染的含量测试的途径。
一种半导体设备零部件通孔内微污染测试方法

[发明专利]一种半导体制造设备部件表面痕量污染的测试方法-CN202110498098.8在审
发明人： 管方方;贺贤汉;金奇梅;幸仁华;张正伟;蒋立峰 -专利权人：上海富乐德智能科技发展有限公司
申请日： 2021-05-08 - 公布日： 2021-08-27 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明公开了一种半导体制造设备部件表面痕量元素污染的非破坏性检测方法,该方法基于无尘棉签擦拭的间接取样方式，将制造设备部件表面痕量元素通过棉签擦拭出来，继而用酸浸泡棉签一段时间，最后取出棉签，利用ICP‑MS测试溶液中元素含量,对零部件表面痕量污染元素的定量测试有助于开发合理有效的清洗再生工艺，提高其再利用的可靠性。
一种半导体制造设备部件表面痕量污染测试方法

[外观设计]路灯（中华灯）-CN202030094812.3有效
发明人：陈连飞;管方方;钱维娜;徐小庆;丘丽翠 -专利权人：浙江瑞林光环境集团有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： 26-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：路灯（中华灯）。2.本外观设计产品的用途：用于照明与观赏。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.后视图与主视图相同，省略后视图;左视图与主视图相同，省略左视图;右视图与主视图相同，省略右视图。
路灯华灯

[实用新型]一种羽毛结构路灯-CN202020861112.7有效
发明人：金园妹;陈连飞;管方方;钱维娜 -专利权人：浙江瑞林光环境集团有限公司
申请日： 2020-05-21 - 公布日： 2020-11-17 - 主分类号： F21S8/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种羽毛结构路灯，包括灯体、LED灯泡和安装螺丝，所述灯体的上端左侧安装有第一灯杆，且第一灯杆上的下端安装有LED灯泡，所述第一灯杆的侧边设置有导灯条，且导灯条与第一灯杆的连接处设置有灯槽，所述灯槽的两侧安装有钢槽，且钢槽与第一灯杆的连接处安装有安装螺丝，所述第一灯杆的右端下侧设置有第二灯杆，且第二灯杆的下侧安装有第一连接环，所述第一连接环上连接有监控探头，所述监控探头的下端设置有第二连接环，且第二连接环的左端连接有连接杆。本实用新型结构简单，通过将第一灯杆的形状设置为羽毛状，能够增加路灯的形态，进而能够增加路灯的外观美观性，从而使路灯更加现代化。
一种羽毛结构路灯

[外观设计]路灯（羽毛灯一）-CN202030094416.0有效
发明人：陈连飞;管方方;钱维娜;徐小庆;丘丽翠 -专利权人：浙江瑞林光环境集团有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： 26-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：路灯（羽毛灯一）。2.本外观设计产品的用途：用于照明与观赏。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.后视图与主视图对称，省略后视图。
路灯羽毛

[外观设计]路灯（羽毛灯二）-CN202030094418.X有效
发明人：陈连飞;管方方;钱维娜;徐小庆;丘丽翠 -专利权人：浙江瑞林光环境集团有限公司
申请日： 2020-03-19 - 公布日： 2020-09-25 - 主分类号： 26-03 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：路灯（羽毛灯二）。2.本外观设计产品的用途：用于照明与观赏。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。5.后视图与主视图对称，省略后视图。
路灯羽毛

[发明专利]1,4,7,10-四氮杂环十二烷及其纳滤膜的制备方法-CN201410573813.X有效
发明人：陈桂娥;刘延军;许振良;管方方;孙丽;黄会红;陆晓孝;徐孙杰;朱维纬 -专利权人：上海应用技术学院
申请日： 2014-10-24 - 公布日： 2015-03-04 - 主分类号： C07D257/02 文献下载
摘要：一种1,4,7,10-四氮杂环十二烷的制备方法，先采用三乙烯四胺、甲苯、水获得三乙烯四胺水合结晶物；将三乙烯四胺水合结晶物和甲苯加热反应得到三乙烯四胺-甲苯溶液，再通过干燥、过滤、减压蒸馏得到线性三乙烯四胺；再线性三乙烯四胺、N,N-二甲基甲酰胺二甲基缩醛、甲苯进行反应，结晶得无色晶体双咪唑啉；将碳酸钾、溶剂乙腈、双咪唑啉、1,2-二溴乙烷反应减压蒸馏、洗涤、干燥得溴盐；在氮气保护下，加入氢氧化钾水溶液，加热至回流状态，滴加溴盐水溶液，过滤、沉淀、浓缩、冷却、结晶得到1,4,7,10-四氮杂环十二烷。本发明还提供了一种制备聚酰胺纳滤膜的方法。本发明提高了1,4,7,10-四氮杂环十二烷的纯度。
10 四氮杂环十二及其滤膜制备方法

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