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[发明专利]高能量脉冲抑制方法-CN201110227632.8无效
发明人： K·格兰特;S·斯通;B·尼尔森 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-04-13 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： B23K26/06 文献下载
摘要：通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差，激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120)，激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供恒定脉冲能量的第二种方式采用AOM(10)以改变传递到工件的激光能量的量。提供恒定脉冲能量的第三种方式需要将选定脉冲的脉冲周期(200)延长以便无论何时发出假脉冲时，允许有额外的激光腔放电时间。
高能量脉冲抑制方法

[发明专利]修正激光处理系统中的系统误差的方法-CN200910160580.X有效
发明人： S·N·斯瓦林根;K·布鲁兰德;A·韦尔斯 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2006-02-15 - 公布日： 2010-04-28 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种在三个维度上校正激光微加工系统(20)的方法，其包含：扫描(70)样本工件(22)以决定3D表面；按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描数据的最佳拟合表面；以及储存(84)此结果，因而可对后续工件进行校正，以移除由相关的材料处置子系统内的偏差所引入的系统误差。该方法可视需要利用平板弯折理论以将粒子污染模型化，并利用样条函数以片段方式拟合该3D表面，以最小化局部偏差对整个表面拟合的影响。
修正激光处理系统中的系统误差方法

[发明专利]一种由具有不同输出性能特征的激光器提供质量一致的靶材料去除的方法-CN200580017385.1有效
发明人： W·莱;G·西盟森;J·豪尔顿;M·恩瑞 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-05-26 - 公布日： 2009-05-06 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：激光脉冲能量调整是受对这样的影响的理解驱动的，即对不同激光器中激光脉冲宽度变化对满足与激光加工靶关联的质量衡量的影响。在优选实施例中，调整标准化靶样品中不同激光钻孔中脉冲宽度变化的影响。基于应用到孔位置的脉冲能量，传输到靶样品从而形成每个孔的激光脉冲的数量可改变，从而控制不同孔质量衡量。
一种具有不同输出性能特征激光器提供质量一致材料去除方法

[发明专利]用于存储器连接处理的飞击射束路径误差校正-CN200710091523.1无效
发明人： M·温拉斯;K·布吕朗;H·W·罗;S·斯瓦伦戈 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2002-02-15 - 公布日： 2008-05-07 - 主分类号： B23K26/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于存储器连接处理的飞击射束路径误差校正的系统和/或方法。激光射束定位器(图12，340，236，260，262，302，304，310，312，316，318，320，322，324，326，328，330，336，342)使用一种操作镜，其执行激光射束的小角度反射，以补偿定位器平台的交叉轴的定位误差。在一个实施例中，优选一种两轴操作境，仅用于误差校正，而不需要以定位器平台的位置命令来协调。在半导体连接处理(“SLP”)的应用中，一种使用弯曲机构以及压电驱动装置来倾倒以及倾斜该镜子的快速操作镜足优选的。本发明补偿交叉轴的定位时间，致使SLP系统的产量以及精度增加，同时由于该操作镜的校正会宽松化定位器平台的伺服驱动需求，因而简化了定位器平台的复杂度。
用于存储器连接处理飞击射束路径误差校正

[发明专利]修正激光处理系统中的系统误差的方法-CN200680008802.0有效
发明人： S·N·斯瓦林根;K·布鲁兰德;A·韦尔斯 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2006-02-15 - 公布日： 2008-03-12 - 主分类号： B23K26/00 文献下载
摘要：一种在三个维度上校正激光微加工系统(20)的方法，其包含：扫描(70)样本工件(22)以决定3D表面；按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描数据的最佳拟合表面；以及储存(84)此结果，因而可对后续工件进行校正，以移除由相关的材料处置子系统内的偏差所引入的系统误差。该方法可视需要利用平板弯折理论以将粒子污染模型化，并利用样条函数以片段方式拟合该3D表面，以最小化局部偏差对整个表面拟合的影响。
修正激光处理系统中的系统误差方法

[发明专利]重复测试电组件的方法和机器-CN200580044419.6有效
发明人： D·J·加西亚;金京英;L·洛曼 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-11-21 - 公布日： 2008-01-09 - 主分类号： H01H31/02 文献下载
摘要：一种方法(1000，1100，1200，1300，1400)自动测试电子组件(12，120)的参数以确定该组件(12，120)是否具有可接受的值。方法(1000，1100，1200，1300，1400)采用自动电子组件测试机(2)，其具有至少第一和第二测量位置，可在这些测量位置测量参数。当值实际上是可接受的时候，测试程序本身可能错误地导致该值看起来不可接受。方法(1000，1100，1200，1300，1400)将组件(12，120)放置在第一测量位置并在第一测量位置测量参数，由此生成第一被测参数值。方法(1000，1100，1200，1300，1400)也将组件(12，120)放置在第二测量位置并在第二测量位置测量参数，由此生成第二被测参数值。只有当所有被测值都不可接受时，方法(1000，1100，1200，1300，1400)才拒绝组件(12，120)，从而使错误拒绝组件(12，120)的概率比如果只执行单个测量步骤而错误拒绝组件(12，120)的概率要小。
重复测试组件方法机器

[发明专利]用于耐久高功率激光波长变换的非线性晶体改进-CN200580046022.0无效
发明人： Y·孙;R·S·哈里斯 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-11-15 - 公布日： 2008-01-09 - 主分类号： H01S3/109 文献下载
摘要：诸如非线性晶体的波长转换器(34)具有斜切的出射表面(36)，以从基波波长或不同谐波波长分离谐波波长。固态光学盖层媒质(28)具有入射表面(38)，其被斜切成与变换器出射表面相配。光学盖层媒质(28)对基波波长和被选谐波波长基本上是透明的，具有与波长变换器(34)相似的折射率，并且在被选波长具有的损坏阈比波长变换器(34)的各自损坏阈更大。
用于耐久功率激光波长变换非线性晶体改进

[发明专利]半导体器件的多波长激光微加工-CN200580046660.2无效
发明人： Y·孙;K·布吕兰;R·F·海恩斯;R·哈里斯;W·J·乔丹斯;H·W·鲁;L·孙 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-12-07 - 公布日： 2008-01-09 - 主分类号： B23K26/40 文献下载
摘要：由分布图的不同时间的不同激光波长表征的特定形状的激光脉冲能量分布图(98，104，156)，提供了减小的、受控制的抖动，从而使得可以进行能够获得高质量加工和较小可能光斑尺寸的半导体器件微加工。
半导体器件波长激光加工

[发明专利]用于修整同步脉冲形状的方法和系统-CN200580046803.X无效
发明人： Y·孙;L·孙 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-11-21 - 公布日： 2008-01-09 - 主分类号： H01S3/082 文献下载
摘要：多个具有不同设计配置的次谐振器(12、14)共用共同的谐振器部分(18)，使得产生激光的动作能够大致上同步以提供相干激光脉冲，该相干激光脉冲合并由次谐振器(12、14)的配置所赋予的不同的各自的脉冲能量廓形和/或脉冲宽度特性。次谐振器(12、14)可共用位于共同部分内的激光介质(42)，或者每个不同的次谐振器部分(28、36)具有其本身的激光介质(42)。示例性长次谐振器(12)和短次谐振器(14)产生特别修整过的激光脉冲，在一个波长或是两个不同波长上，此修整过的激光脉冲具有短上升时间和长脉冲宽度，这对于包括存储器链路处理在内的各种激光和微机械加工应用是大有益处的。
用于修整同步脉冲形状方法系统

[发明专利]使用多激光束的高效微机械加工设备和方法-CN200580046342.6无效
发明人： D·R·卡特拉;B·W·伯德;R·S·哈瑞斯;D·M·海明威;H·罗;B·E·尼尔森;Y·尾峪;L·孙;Y·孙;M·A·安瑞斯 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-11-29 - 公布日： 2008-01-02 - 主分类号： H01L21/26 文献下载
摘要：激光束切换系统(50)应用耦合到光束切换装置(58)的激光器(52)，这种激光切换装置使得激光束在第一和第二光束定位头之间切换，这样当第一光束定位头(60)正在引导激光束加工工件目标位置时，第二光束定位头(62)同时移动到另外一个目标位置，反之亦然。优选的光束切换装置包括第一和第二AOM。当施加RF到第一AOM(72)时，激光束向第一光束定位头衍射，并且当施加RF到第二AOM(74)时，激光束向第二光束定位头衍射。工件加工系统(120)使用一个通用模块化成像光学组件(122)和一个可选的可变光束扩展器(94)来对多个激光束进行光学处理。
使用激光束高效微机加工设备方法

[发明专利]无源电子元件的基于激光的终结-CN200480031984.4无效
发明人： E·J·斯温森;D·J·加西亚;B·S·弋德华特 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2004-11-04 - 公布日： 2007-12-19 - 主分类号： H01C17/06 文献下载
摘要：终结无源电子元件的末端涉及将激光烧蚀涂层(70)施加至衬底(10和34)的各相对的主要表面(14和16、36和38)。引导所具有的光斑尺寸和能量分布足以从主要表面的多个选定区域去除激光烧蚀涂层的UV激光束入射到衬底上。UV激光束和衬底之间的相对运动去除足量的激光烧蚀涂层，以暴露相对的主要表面的多个选定区域。衬底然后被断裂成多个条棒(48和50)，每个条棒包括侧边缘(60和62)，沿着侧边缘，设置相对主要表面的空间上对齐的不同对的选定区域。导电材料被施加至侧边缘，以在空间上对齐的每对选定区域之间形成导电互连部分(56和58)。
无源电子元件基于激光终结

[发明专利]伺服机构控制系统的自适应命令滤波-CN200580015464.9有效
发明人： D·沃特;M·阿尔佩;M·尤饶思;J·温;B·波瑟得 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-05-12 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： G05D23/275 文献下载
摘要：本发明的优选实施例实现用于修改命令轨迹、伺服机构控制系统(10)的架构或这两者的技术，从而减少命令轨迹期间和/或命令轨迹之后的伺服误差。迭代精化过程产生伺服机构控制系统使用的校正输入du，其显著减少期望的(y_d)和实际(y)的伺服机构控制系统输出之间的误差(e)。在一个实施例中，迭代精化过程中使用唯一识别的设备模型来计算提高精化过程的性能和可靠性的近似梯度。在另一实施例中，在迭代精化过程中使用实际的设备响应替代所述识别的模型。这是在向设备(12)施加存储的误差信号以产生对校正输入信号du的更新之前，通过将来自训练操作的存储误差信号进行时间反转完成的。
伺服机构控制系统自适应命令滤波

[发明专利]高能量脉冲抑制方法-CN200580044852.X无效
发明人： K·格兰特;S·斯通;B·尼尔森 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-04-13 - 公布日： 2007-12-12 - 主分类号： H01S3/11 文献下载
摘要：通过表征激光腔放电行为并利用该信息调节假脉冲时间周期来补偿能量误差，激光器(126)用激光脉冲(192)处理工件(120)，激光脉冲(192)是在随机的时间间隔以基本恒定的能量等级传送的。假脉冲(194)是被阻止到达工件的激光脉冲。提供恒定脉冲能量的第二种方式采用AOM(10)以改变传递到工件的激光能量的量。提供恒定脉冲能量的第三种方式需要将选定脉冲的脉冲周期(200)延长以便无论何时发出假脉冲时，允许有额外的激光腔放电时间。
高能量脉冲抑制方法

[发明专利]用于电气接触改进的真空环设计-CN200580043700.8无效
发明人： D·J·加西亚;J·L·菲什;金京英 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-11-03 - 公布日： 2007-12-05 - 主分类号： G01R31/01 文献下载
摘要：本发明采用凹部(72)，表面轮廓，触点尖部改进(52)，和/或确保测试板(5)的底表面(50)和电气触点的顶表面(52)之间压紧的其他方法来增强电气触点的顶表面(52)的清洁，从而改进DUT测量的可靠性。
用于电气接触改进真空设计

[发明专利]跟踪并标记具有缺陷的试样-CN200580039094.2有效
发明人： M·泰勒;R·W·科尔比;J·W·莱昂那德;L·M·多森;D·A·瓦特;C·E·希尔;L·H·坎贝尔 -专利权人： 电子科学工业公司
申请日： 2005-11-14 - 公布日： 2007-11-21 - 主分类号： G06F19/00 文献下载
摘要：一种方法和系统(10)，其提高了在靶材的激光加工中加工的试样产量，其中所述靶材包括共衬底上形成的多个试样。优选实施例实现了一个能在激光加工系统中存储一列有缺陷试样的特征，所述有缺陷的试样在某种程度上在激光加工期间已经受到了错误的影响。一旦已经完全加工所述共衬底，系统警示操作员不适当加工试样的数量，并给予操作员运行软件程序(12)的机会，在一个优选实施例中，该软件程序使用激光在每个没有适当加工的试样的顶面上划上标记。
跟踪标记具有缺陷试样

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