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- [发明专利]一种横流式薄膜沉积反应器-CN202211605063.0在审
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王拓;巩金龙;王欣妍;刘斌;裴春雷;张恭;郭岚心
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天津大学
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2022-12-14
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2023-04-07
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C23C16/455
- 本发明属于半导体薄膜沉积技术领域,公开了一种横流式薄膜沉积反应器,反应腔室设置有气体入口、气体出口和用于样品进出的快开门;反应腔室在气体入口和样品台之间设置有挡板式气体再分布器,反应腔室外部设置有第一加热器,快开门的大气一侧装载有第二加热装置;快开门还可以通过散热法兰与反应腔室连接,并且通过橡胶密封圈实现密封。本发明通过挡板式气体再分布器计对气体入口处气流的扰动,调节进入反应腔室的气体流动模式,确保气体流速的均匀分布,从而实现样品表面温度的均匀分布,获得了稳定且流速分布均匀的层流流场,消除了大容器反应腔室内的涡流死区,且避免了传统薄膜沉积反应器中的莲蓬头气体再分布器、多孔进气喷嘴等复杂结构。
- 一种横流式薄膜沉积反应器
- [实用新型]一种用于手工皂生产的菩提精华提取装置-CN202220767529.6有效
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谢培欣;王欣妍;王旭佳;李亦涵
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谢培欣
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2022-04-01
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2022-12-23
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B01D1/22
- 本实用新型涉及精华提取技术领域,尤其为一种用于手工皂生产的菩提精华提取装置,包括支撑架,所述支撑架的内部固定安装有收集箱,所述收集箱前表面的顶部右侧固定安装有控制开关,所述收集箱前表面的底部中间固定安装有第一控制阀,本实用新型通过设置的原料箱与高效率煎煮浓缩组件中的多组扁平状加热箱,能够将原料箱中的原料通过多组扁平状加热箱进行加热浓缩,有效加快了精华提取的效率,配合排气结构使得机器能够进行一体化提取生产,同时降低了的工人的劳动强度,另外通过高效率煎煮浓缩组件中的导热板以及导热叶片,有效的增加了导热板与液体原料之间的接触面积,能够对原料进行快速加热浓缩,进一步增加了精华提取的效率,设计更加人性化。
- 一种用于手工生产菩提精华提取装置
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