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[发明专利]薄膜体声波谐振器及其加工方法-CN201710185948.2有效
发明人：张树民;王国浩;陈海龙 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2017-03-24 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种采用键合方式实现的薄膜体声波谐振器及其制备方法，通过将顶电极、压电材料、底电极依次沉积为压电薄膜堆叠结构，然后将底电极刻蚀后与带有空腔的基片键合，最后再对顶电极金属进行刻蚀形成所需的电极形状。本发明提供的制备方法中，压电三明治结构逐层沉积之后再整体刻蚀，有效避免了沉积压电材料层的缺陷或者损害。其次，由于采用预先刻蚀好的空腔键合工艺，能有效的避免传统加工方法造成的牺牲层释放不彻底和粘连问题，或者是背部刻蚀所造成的器件应力问题。
薄膜声波谐振器及其加工方法

[发明专利]一种甲壳动物黄病毒及其检测方法和应用-CN201911372152.3在审
发明人：董宣;黄倢;王国浩;曹志;李晨;张庆利;史卫峰;胡弢 -专利权人：中国水产科学研究院黄海水产研究所
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： C12N7/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种甲壳动物黄病毒及其检测方法和应用。所述传染性早熟病毒（Infectious precocity flavivirus），属于传染性早熟病毒，保藏编号为CCTCC No.V201870。形态呈球形，直径40‑60 nm，能够感染罗氏沼虾。本发明还提供了上述传染性早熟病毒的试剂盒。为甲壳类水产传染性早熟病毒的检测与防控提供新的可能。
一种甲壳动物病毒及其检测方法应用

[实用新型]滤波器-CN201921261346.1有效
发明人：张树民;王国浩;汪泉;陈海龙;郑根林;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-08-06 - 公布日： 2020-04-07 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种滤波器，该滤波器包括级联的若干个谐振器，其中，各谐振器均包括：基板，该基板的承载面上设置有第一凹槽；设置在承载面上的支撑层；压电堆叠结构，该结构设置在支撑层背离第一凹槽的一侧并与第一凹槽对应；其中，支撑层在对应压电堆叠结构的位置处设置有至少一个镂空图形，各压电堆叠结构对应的镂空图形同层设置且材料相同，并且，至少一个压电堆叠结构对应的镂空图形不同于其他压电堆叠结构对应的镂空图形，以通过在不同镂空图形内填充材料调整谐振器的谐振频率。该滤波器实现了同时具有多个不同谐振频率的谐振器情况，易于调整频率，修正的频率范围较大，且降低了成本，提高了设计灵活度。
滤波器

[实用新型]声表面波谐振器和声表面波滤波器-CN201921277229.4有效
发明人：张树民;王国浩;汪泉;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2020-02-07 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种声表面波谐振器和声表面波滤波器，包括基板、设置在基板上的叉指换能器以及位于叉指换能器长度方向两侧的反射栅阵，叉指换能器包括叉指汇流电极部以及与叉指汇流电极部电连接并呈周期分布的叉指电极部，反射栅阵包括栅阵汇流电极部以及与栅阵汇流电极部电连接并呈周期分布的栅阵指电极部，栅阵汇流电极部与叉指汇流电极部相对应，所述栅阵指电极部与所述叉指电极部相对应，所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有至少一个防能量泄露部，以阻止声表面波能量泄露。这样，可以通过所设置的防能量泄露部，阻止声表面波谐振器的声表面波能量泄露，从而可以提高声表面波谐振器的Q值，改善声表面波谐振器的性能。
汇流电极部栅阵声表面波谐振器能量泄露叉指叉指换能器叉指电极反射栅阵声表面波周期分布电极部电连接基板滤波器本实用新型和声表面波

[实用新型]薄膜体声波谐振器-CN201921232008.5有效
发明人：张树民;王国浩;汪泉;陈海龙;郑根林;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：基板，硅结构层，至少一组纵向布拉格反射栅，压电堆叠结构以及至少一组横向反射栅。其中，各组纵向布拉格反射栅沿基板的厚度方向依次层叠设置在基板承载面上，纵向布拉格反射栅沿长度方向一端与硅结构层相接，每组纵向布拉格反射栅均包括至少两层具有不同声阻抗的薄膜材料层，此外，至少一组横向反射栅的各组横向反射栅均设置在压电堆叠结构的边缘区域，且各组横向反射栅沿基板的长度方向交替设置。本实用新型提供的薄膜体声波谐振器在横向与纵向上均设置反射栅，有利于将声波能量限制在器件有效区域，实现能陷作用，可以进一步提高器件的Q值，从而使谐振器具有较高的频率稳定度。
布拉格反射栅横向反射基板薄膜体声波谐振器本实用新型堆叠结构硅结构层压电薄膜材料层频率稳定度边缘区域基板承载交替设置声波能量依次层叠有效区域反射栅谐振器两层阻抗

[实用新型]薄膜体声波谐振器-CN201920739552.2有效
发明人：张树民;王国浩;汪泉 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2020-01-10 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种薄膜体声波谐振器，包括：SOI硅片，所述SOI硅片包括硅衬底以及依次设置在硅衬底上的埋氧层和硅结构层；二氧化硅墙结构，设置在所述硅结构层上；二氧化硅钝化层，所述二氧化硅钝化层设置在所述硅结构层背离所述硅衬底的一侧；功能器件层，所述功能器件层设置在所述二氧化硅钝化层背离所述硅衬底的一侧，并且，所述硅结构层在对应所述功能器件层的位置处设置有贯穿其厚度的通孔，以使得所述功能器件层与所述埋氧层之间形成空气隙。采用二氧化硅作为器件的支撑结构，在射频下损耗较小，功能器件层生长于SOI基片本身的硅结构层上，因晶格匹配较好，有利于生长性能更好的功能器件层，有利于改善薄膜体声波谐振器器件性能等有益效果。
功能器件硅结构层硅衬底二氧化硅钝化层薄膜体声波谐振器二氧化硅埋氧层背离本实用新型晶格匹配器件性能生长性能依次设置支撑结构空气隙墙结构位置处射频通孔贯穿生长

[实用新型]一种声波器件及一种声波器件温度控制装置-CN201920934800.9有效
发明人：张树民;王国浩;汪泉;陈海龙;郑根林;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-06-20 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种声波器件及一种声波器件温度控制装置。声波器件包括第一基板，以及设置在第一基板上的声波结构、测温电阻及若干个主键合凸点；第二基板，以及设置在第二基板上的TEC器件、若干个副键合凸点与若干金属过孔。第一基板与第二基板相对设置，且通过第一基板上的若干主键合凸点依次与第二基板上的若干金属过孔、若干副键合凸点电连接。此外，声波器件温度控制装置通过精准电压源、微控制器、TEC器件及测温电阻协同作用，对声波器件进行制冷或加热处理，进而控温，使声波器件具有稳定的工作温度。
声波器件第二基板第一基板凸点温度控制装置测温电阻副键主键本实用新型精准电压源金属加热处理微控制器相对设置声波电连接控温制冷

[发明专利]一种薄膜体声波谐振器及其制备方法-CN201910706032.6在审
发明人：张树民;王国浩;汪泉;陈海龙;郑根林;其他发明人请求不公开姓名 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-08-01 - 公布日： 2019-10-08 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法。制备方法包括：提供第一基板和第二基板；在第一基板上形成第一凹槽；在第二基板上形成至少一组纵向布拉格反射栅，每组均包括至少两层具有不同声阻抗的薄膜材料层；将第二基板设置有纵向布拉格反射栅的一侧与第一基板设置有第一凹槽的一侧键合；在第二基板背离第一基板的一侧形成压电堆叠结构；在压电堆叠结构的边缘区域形成至少一组横向反射栅，以完成所述薄膜体声波谐振器的制备。本发明制备的薄膜体声波谐振器在横向与纵向上均设置反射栅，有利于将声波能量限制在器件有效区域，实现能陷作用，可以进一步提高器件的Q值，从而使谐振器具有较高的频率稳定度。
薄膜体声波谐振器制备第二基板第一基板布拉格反射栅堆叠结构压电薄膜材料层频率稳定度边缘区域横向反射声波能量有效区域反射栅谐振器键合两层阻抗背离

[发明专利]薄膜体声波谐振器及其制备方法-CN201910428924.4在审
发明人：张树民;王国浩;汪泉 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2019-05-22 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜体声波谐振器及其制备方法，制备方法包括以下步骤：S110、提供SOI硅片，所述SOI硅片包括硅衬底以及依次形成在所述硅衬底上的埋氧层和硅结构层；S120、形成二氧化硅墙结构；S130、形成二氧化硅薄膜以作为第一钝化层；S140、形成功能器件层；S150、图形化所述二氧化硅墙结构所对应的硅结构层，以使得所述功能器件层与所述埋氧层之间形成空气隙，完成所述薄膜体声波谐振器的制备。采用二氧化硅作为器件的支撑结构，在射频下损耗较小，功能器件层生长于SOI基片本身的硅结构层上，因晶格匹配较好，有利于生长性能更好的功能器件层，有利于改善薄膜体声波谐振器器件性能等有益效果。
薄膜体声波谐振器功能器件制备二氧化硅硅结构层硅衬底埋氧层墙结构二氧化硅薄膜晶格匹配器件性能生长性能支撑结构钝化层空气隙图形化射频生长

[实用新型]一种基于4G通信的射频滤波器-CN201821756175.5有效
发明人：张树民;王国浩;陈海龙;郑根林 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2018-10-29 - 公布日： 2019-07-26 - 主分类号： H04B1/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及无线通信射频前端器件技术领域，提出了一种基于4G通信的射频滤波器，该滤波器包括：硅衬底；设置于硅衬底上的空腔，固定于硅衬底上的空腔中的活动臂，设置在硅衬底与活动臂之间的用于驱动活动臂发生倾斜角度变化的驱动器，活动臂包括固定于驱动器上的垂直固定部，以及与垂直固定部连接且用于与硅衬底共同形成活动声波腔的至少一个水平活动部，水平活动部的另一端悬空于硅衬底的顶部上方，驱动器驱动活动臂发生倾斜角度变化使活动声波腔的腔体发生变化进而调节谐振频率。上述滤波器通过驱动活动臂发生倾斜角度变化以使活动声波腔的腔体空间发生变化，进而改变谐振频率，能够有效解决用牺牲层形成空腔产生的释放困难、应力集中等问题。
硅衬底活动臂驱动器角度变化声波腔空腔滤波器垂直固定部射频滤波器水平活动谐振频率驱动无线通信射频本实用新型前端器件腔体空间应力集中有效解决牺牲层腔体悬空释放

[发明专利]射频滤波器的制作方法和射频滤波器-CN201810762036.1在审
发明人：刘建生;陈海龙;张树民;王国浩;汪泉 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2018-07-12 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： H03H3/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种射频滤波器的制作方法和射频滤波器。包括：S110、提供压电基板；S120、在压电基板上形成金属电极层，并对其进行图形化；在图形化的金属电极层上涂覆光刻胶层，并对光刻胶层进行曝光、显影，以形成与图形化的金属电极层相一致的图形；在压电基板上形成初始的温度补偿层，初始的温度补偿层的厚度与金属电极层的厚度一致；剥离曝光、显影后的光刻胶层，并在图形化的金属电极层和初始的温度补偿层上形成最终的温度补偿层；在最终的温度补偿层的表面形成钝化层。制作工艺简单，无需对温度补偿层的表面进行化学机械研磨工艺处理，从而可以简化射频滤波器的制作工艺，降低制作射频滤波器的制作成本，提高经济效益。
射频滤波器温度补偿层金属电极层图形化压电基板光刻胶层制作工艺制作显影化学机械研磨工艺表面形成钝化层厚度一致曝光刻胶层涂覆剥离

[实用新型]一种基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器-CN201821282924.5有效
发明人：张树民;王国浩;刘建生;汪泉 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2018-11-06 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于固体反射层的温度补偿声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层；所述声表面波谐振器的顶层设置有温度补偿结构。
声表面波谐振器布拉格反射层压电材料基板反射层组温度补偿反射层温度补偿结构本实用新型叉指结构顶层

[发明专利]一种温度补偿声表面波滤波器及其制备方法-CN201810341933.5在审
发明人： 王国浩 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2018-04-17 - 公布日： 2018-09-14 - 主分类号： H01L41/04 文献下载
摘要：本发明提供一种温度补偿声表面波谐振器及其制备方法，所述温度补偿声表面波谐振器包括压电材料基板、位于该压电材料基板上的第一温度补偿材料层，形成在所述压电补偿材料层上的金属叉指结构，形成在所述金属叉指结构上的第二温度补偿材料层。本发明的温度补偿声表面波谐振器能够有效降低工艺的难度；提高工艺的稳定性和可靠性，并且提高产品的良率；降低了频率温度系数，提高器件的性能。
温度补偿声表面波谐振器温度补偿材料压电材料基板金属叉制备声表面波滤波器频率温度系数补偿材料良率压电

[实用新型]一种基于固体反射层的声表面波谐振器-CN201820710758.8有效
发明人： 王国浩 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种基于固体反射层的声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。本实用新型的声表面波谐振器能使漏波能通过固体反射层的布拉格反射回来，从而提高谐振器的Q值。
声表面波谐振器布拉格反射层压电材料基板反射层本实用新型反射层组布拉格反射叉指结构谐振器漏波

[发明专利]一种基于固体反射层的声表面波谐振器及其制造方法-CN201810455144.4在审
发明人： 王国浩 -专利权人：杭州左蓝微电子技术有限公司
申请日： 2018-05-14 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供了一种基于固体反射层的声表面波谐振器，所述声表面波谐振器包括基片、位于该基片上方的压电材料基板以及形成于该压电材料基板上的叉指结构；在所述基片和所述压电材料基板之间设有至少一组反射层组，各组反射层组均包括第一布拉格反射层及位于该第一布拉格反射层上的第二布拉格反射层。本发明还提供了一种声表面波谐振器的制造方法，通过上述方法形成的声表面波谐振器能使漏波能通过固体反射层的布拉格反射回来，从而提高谐振器的Q值。
声表面波谐振器布拉格反射层压电材料基板反射层反射层组布拉格反射叉指结构谐振器漏波制造