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[发明专利]一种测试载台及COC测试设备-CN202310549925.0在审
发明人：郭岩;陈佳乐;于彪;王成坤;高静;刘佳乐 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01R1/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种测试载台及COC测试设备，属于芯片检测技术领域，其中，测试载台包括：载片台，所述载片台上设有至少两个尺寸不同的载片部。本发明提供的测试载台，载片台上设有至少两个不同尺寸的载片部，在对不同大小的芯片进行检测时，可以根据芯片的大小将芯片放置在对应尺寸的载片部上，避免在对芯片检测过程中因芯片尺寸问题更换载片台，保证芯片的检测效率，同时，将各种尺寸的芯片放置在最适合尺寸的载片台上，以保证芯片后部发出的光不会被载片台的多出的台面部分所遮挡。
一种测试 coc 设备

[发明专利]一种SOA芯片光放大检测方法及检测设备-CN202310355349.6在审
发明人：郝佳杰;孙家琛;郝文杰;胡延壮;麻凯;王成坤;张雨晨 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-08-11 - 主分类号： G01M11/00 文献下载
摘要：一种SOA芯片光放大检测方法及检测设备，SOA芯片光放大检测方法，包括以下步骤：S1，SOA芯片位置检测；S2，SOA芯片水平面角度调整：调整所述SOA芯片在水平方向上的倾斜角度Angle；S3，SOA芯片偏移量检测：确定所述SOA芯片的水平方向和竖直方向的偏移量；S4，SOA芯片竖直偏移量调整：调整所述SOA芯片的SOA芯片与载台二者之间夹角角度θ，使所述SOA芯片的位置与检测探针相对应。通过上述SOA芯片光放大检测方法，即可实现SOA芯片多角度和位置调整，从而解决现有技术中的检测探针无法有效地对准SOA芯片，导致SOA芯片光放大检测设备无法有效地检测上述SOA芯片的问题。
一种 soa 芯片放大检测方法设备

[发明专利]一种探针调节件、探针架及测试平台-CN202310491079.1在审
发明人：牛超凡;郭岩;戎晓红;彭薪元 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01R1/067 文献下载
摘要：本发明提供一种探针调节件、探针架及测试平台，属于芯片测试技术领域，其中，探针调节件包括：调节件本体，具有螺纹段和连接在螺纹段一端的阻挡部，阻挡部的外径大于螺纹段，螺纹段的中心具有朝向远离阻挡部的一端开口的中心孔；第一弹性件，套设于螺纹段上，第一弹性件的一端抵接在阻挡部上；第二弹性件，装设于中心孔内，第二弹性件的伸出中心孔的一端用于与探针的摆臂接触；本发明的探针调节件，通过第一弹性件对阻挡部进行弹性抵接，从而保证螺纹段进行螺纹连接时沿轴向保持相对稳定，进而提高调节精度，通过第二弹性件用于对探针的摆臂接触，从而使摆臂的抵接压力保持在一定波动区间范围内。
一种探针调节测试平台

[发明专利]摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构及其使用方法-CN202310530116.5在审
发明人：罗丹;刘嘉乐;周子博;麻凯;陈佳乐;张剑 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构及其使用方法，基准点定位机构，包括：长臂销轴座，设置有长臂销轴；销轴座滑动机构，用于驱动长臂销轴座在水平方向滑动；水平角摆臂机构，包括：水平角摆臂、水平角摆臂定位滑块，以及水平角摆臂驱动机构；水平角摆臂定位滑块上设置有供长臂销轴插入的中心孔；竖直角摆臂机构，包括：竖直角摆臂、竖直角摆臂定位滑块，以及竖直角摆臂驱动机构；竖直角摆臂定位滑块上设置有供长臂销轴插入的中心孔。通过上述结构可以解决现有技术中缺乏用于摆臂式发散角测试装置的基准点定位机构，导致难以保证测量基准点的位置准确的问题。
摆臂式发散测试装置基准点定位机构及其使用方法

[发明专利]一种探针尖端打磨机及打磨方法-CN202310551557.3在审
发明人：罗丹;李鹏宽;门刘晨曦;耿一港;盖涂泉;陈佳乐;吴江月;苗惠霞 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-05-16 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： B24B19/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种探针尖端打磨机及打磨方法，属于探针打磨技术领域，探针尖端打磨机包括：机体，机体上设有上料仓、上料夹爪、旋转夹头及砂轮；上料夹爪滑动安装在机体上，旋转夹头滑动安装在机体上，且上料夹爪的滑动方向朝向旋转夹头，所述旋转夹头的滑动方向朝向所述砂轮，所述上料夹爪适于夹取探针至旋转夹头位置处，所述旋转夹头适于带动探针至砂轮处进行研磨；检测装置，设于所述机体上，所述检测装置适于检测探针的研磨状态。本发明提供的探针尖端打磨机，通过上料夹爪将探针夹取至砂轮位置进行研磨，通过检测装置检测探针研磨状况，能够更好的完成对探针的研磨，保证探针尖端的研磨精度。
一种探针尖端打磨方法

[发明专利]一种光纤固定结构及APD芯片测试装置-CN202310566056.2有效
发明人：杜海洋;郝文杰;牛浩飞;杨祎琪;耿一港;谷超文 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-05-19 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：一种光纤固定结构及APD芯片测试装置，光纤固定结构，包括：第一光纤固定部，朝向芯片相机的相机视野方向延伸，第一光纤固定部用于夹持光纤的铠装部分；第二光纤固定部，朝向芯片相机的相机视野方向延伸，第二光纤固定部用于夹持光纤的包层部分；第二光纤固定部位于第一光纤固定部靠近光纤的一侧，且第二光纤固定部延伸至相对于第一光纤固定部靠近相机视野的位置。通过上述光纤固定结构，可以使减小光纤与芯片相机的相机视野相互干涉的问题。并且，使光纤尽可能地与芯片的打光面垂直，同时减小光纤的出光头与上述芯片二者之间的距离，从而提高芯片测试装置的检测准确性。
一种光纤固定结构 apd 芯片测试装置

[发明专利]一种探针磨尖机及探针磨尖方法-CN202310429247.4在审
发明人：徐虎子;李晓瑞;罗丹;高静;于彪;王天宇 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-04-20 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： B24B19/16 文献下载
摘要：本发明提供了一种探针磨尖机及探针磨尖方法，属于探针打磨技术领域，其中，探针磨尖机包括：机体，所述机体上设有上料仓、输送托板及收料仓；分料拨轮，安装在所述机体上，且所述分料拨轮位于上料仓出口位置处，所述分料拨轮上开设有至少一个适于容纳探针的凹槽；砂轮，转动安装在输送托板一侧并适于对经过的探针的尖端进行打磨；输送带，所述输送带转动安装在所述分料拨轮上，所述输送带与输送托板之间形成探针的输送空间。本发明提供的探针磨尖机，通过分料拨轮不断的将探针输送至输送托板上，探针在输送托板上进行移动的过程中，砂轮对探针的尖端进行打磨，输送托板上可以同时输送多个探针，提高探针的磨削效率及生产效率。
一种探针磨尖机方法

[发明专利]一种六英寸晶圆裂片机及裂片方法-CN202310558041.1在审
发明人：马修远;张一暾;韩凯音;车新鹿;谷超文;胡一丁 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-05-17 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种六英寸晶圆裂片机及裂片方法，属于晶圆裂片技术领域，包括：机体，工作台；所述机体上还安装有刀头装置、视觉定位装置、视觉识别装置、第一驱动装置、第二驱动装置；刀头装置包括适于对晶圆裂片的劈刀；视觉定位装置适于调整晶圆在工作台上的角度及位置；视觉识别装置适于识别晶圆上待裂解区域的图像；刀头装置安装在所述第二驱动装置的驱动端上。本发明提供的晶圆裂片机，机体上设有工作台，晶圆放置在工作台上，通过视觉定位装置对晶圆的位置进行调整，通过视觉识别装置对晶圆上待裂解区域的图像进行识别，最后通过刀头装置的劈刀对晶圆进行裂解，操作过程简便，晶圆位置定位精准，实现晶圆全自动的裂解过程。
一种英寸裂片方法

[发明专利]一种列阵式芯片的检测设备及其检测方法-CN202310443134.X在审
发明人：刘强;胡延壮;耿一港;王天宇;吴江月;于彪 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-04-23 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种列阵式芯片的检测设备及其检测方法，列阵PD芯片的检测方法，包括以下步骤：S1，列阵PD芯片位置检测；S2，列阵PD芯片角度调整；S3，列阵PD芯片偏移量检测；S4，列阵PD芯片偏移量调整：根据所述列阵PD芯片位置检测信息，通过芯片位置调整机构驱动所述列阵PD芯片平移，调整所述列阵PD芯片的位置；S5，列阵PD芯片检测：通过具有至少两根探针的探针组件对所述列阵PD芯片上的多个芯片进行同时检测。通过上述列阵PD芯片检测方法可以实现多个芯片一同检测，有效地提高列阵PD芯片检测效率。
一种阵式芯片检测设备及其方法

[发明专利]一种晶圆测试平台及其检测方法-CN202310483823.3在审
发明人：吕晨虹;盖涂泉;麻凯;李文格;王成坤;杨祎琪 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-04-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种晶圆测试平台及其检测方法，晶圆测试平台，包括：承载盘；相机机构，用于校准所述晶圆的位置；芯片角度调整机构，用于调整所述晶圆的水平方向角度；芯片位置调整机构，用于调整所述晶圆的水平位置；探针组件，所述探针组件上设有至少两根探针；所述探针组件用于对所述晶圆上的多个芯片进行同时检测，用于在所述晶圆上的多个芯片加电后测试芯片的暗场IV曲线；光纤测试机构，通过光纤发出的标准光束入射到芯片光敏面上，加电测试芯片光场数据。通过上述晶圆测试平台可以实现晶圆上多个芯片一同检测，解决现有的晶圆检测效率低的问题。
一种测试平台及其检测方法

[发明专利]一种列阵PD芯片的检测方法及检测设备-CN202310280420.9在审
发明人：孙家琛;郝佳杰;董树标;许冰洋;杨神琪;胡延壮;麻凯 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-03-21 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：一种列阵PD芯片的检测方法及检测设备，列阵PD芯片的检测方法，包括以下步骤：S1，列阵PD芯片位置检测；S2，列阵PD芯片角度调整；S3，列阵PD芯片偏移量检测；S4，列阵PD芯片偏移量调整；S5，列阵PD芯片检测：通过具有至少两根探针的探针组件对所述列阵PD芯片上的多个芯片进行同时检测。通过上述列阵PD芯片检测方法可以实现多个芯片一同检测，有效地提高列阵PD芯片检测效率。
一种列阵 pd 芯片检测方法设备

[发明专利]一种阵列式探针组件、测试台及测试机-CN202310530912.9在审
发明人：杜海洋;伊力夏提.伊克木;祁佩恩;张唯伟;张焕德 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2023-05-11 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种阵列式探针组件、测试台及测试机。一种阵列式探针组件，包括：框架；加电条，设于所述框架上，所述加电条的测试端适于与Bar条的待测试端接触，在测试状态下，所述加电条通电后与沿待测试Bar条贴合接触，对同一Bar条上的各颗芯片同时进行检测，以判断是否符合质量标准。本发明要解决普通探针无法同时对同一Bar条上的每颗芯片进行测试的缺陷，从而提供一种阵列式探针组件、测试台及测试机。
一种阵列探针组件测试

[发明专利]一种导轨结构及芯片测试机-CN202210424643.3有效
发明人：孙国杰;吕苏羲;张焕德;孙家琛 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2022-04-21 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种导轨结构及芯片测试机，属于移动导轨技术领域，导轨结构，包括：安装平台；第一基板；第二基板；第三基板，第一基板的滑动方向、第二基板的滑动方向与第三基板的滑动方向两两垂直；第一驱动机构；第二驱动机构；第三驱动机构。本发明提供的导轨结构，在第三基板上伸出有安装部，在第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构的驱动下，三个基板的往复滑动实现安装部前后左右上下的移动，以带动对位件进行前后左右上下的移动，在对位件移动过程中校正芯片的位置，便于对对位件进行三个方向上位移的调节，以调整芯片的位置及角度。
一种导轨结构芯片测试

[发明专利]一种视觉检测机构、检测方法及检测装置-CN202211249846.X有效
发明人：张明亮;郭岩;徐虎子;祁佩恩;张天一 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2022-10-12 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明提供的一种视觉检测机构、检测方法及检测装置，属于检测技术领域技术领域，一种视觉检测机构，包括：第一检测区；第二检测区；拍照组件，所述拍照组件包括第一相机、第二相机和第三相机；第一相机具有四个，并分别设在第一检测区的四周，且呈十字形结构布置；第二相机设置在第一检测区的上方；第三相机设置在第二检测区的下方。本发明将待测芯片移动到第一检测区，通过第一相机和第二相机对待测芯片进行检测，再将待测芯片移动到第二检测区，通过第三相机进行检测，通过第一相机和第二相机能够对待测芯片的前后左右及上面进行检测，第三相机对待测芯片的底面进行检测，通过拍照组件能够对待测芯片使用较少的设备进行全面的检测。
一种视觉检测机构方法装置

[发明专利]一种Bar条承载台及具有其的芯片测试机-CN202211107087.3有效
发明人：张唯伟;王梓伊;薛飞飞;耿一港;安进昌;高静 -专利权人： 河北圣昊光电科技有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-06-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明涉及晶圆生产技术领域，具体涉及一种Bar条承载台及具有其的芯片测试机。一种Bar条承载台，用于吸附Bar条，包括：承载组件，设有承载面，承载面适于放置待检测Bar条，承载面设有至少两列第一气孔和第二气孔，第一气孔、第二气孔均为至少两个；抽气结构，包括第一气道和第二气道，第一气道和第二气道设于承载组件内，第一气道与第一气孔贯通连接、第二气道与第二气孔贯通连接，且第一气道连通第一抽真空件、第二气道连通第二抽真空件，将Bar条放于承载面，第一抽真空件抽取第一气道内气体和/或第二抽真空件抽取第二气道内气体，以使Bar条与承载面贴合。本发明解决载台无法适应不同尺寸待检测Bar条，增加生产成本问题。
一种 bar 承载具有芯片测试

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