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- [发明专利]光学邻近修正方法-CN202310067085.4在审
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邓慧芳;江志兴;范晓
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华虹半导体(无锡)有限公司
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2023-01-16
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2023-05-16
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G03F7/20
- 一种光学邻近修正方法,包括:提供目标图形,所述目标图形包括若干组同类型边;将每组所述同类型边进行分段处理,获取若干分割段;调整每组所述同类型边中各个所述分割段的控制点的位置参数、以及所述目标图形各个拐角的半径参数,建立原始参数矩阵;根据所述原始参数矩阵对所述目标图形进行若干次光学邻近修正,并获取每次所述光学邻近修正后的曝光图形,并从若干所述曝光图形中获取最佳曝光图形;获取所述最佳曝光图形对应的所述原始参数矩阵中最佳参数分配。在保证不扩大所述目标图形的前提下,获取所述最佳曝光图形,进而有效避免短路风险,以及提高所述曝光图形的面积,增加后续工艺的可靠性。
- 光学邻近修正方法
- [发明专利]图形修正方法-CN202211221485.8在审
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吴青;范晓;江志兴
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华虹半导体(无锡)有限公司
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2022-10-08
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2022-12-13
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G03F7/20
- 一种图形修正方法,包括:提供待修正版图,包括若干待修正图形;获取掩模版的最小工艺尺寸和最小设计尺寸;获取掩膜版尺寸限定规则,所述掩膜版尺寸限定规则包括若干待设定参数,所述待设定参数包括投影距离;根据最小工艺尺寸和最小设计尺寸获取待设定参数的限定条件;根据限定条件对待设定参数进行取值,获取若干待设定参数数值;根据待设定参数的数值对待修正图形进行光学邻近效应修正,获取若干全局残值;以若干投影距离的取值数值为横坐标,以全局残值为纵坐标,获取若干条曲线;根据曲线的斜率以及对应的全局残值,获取待设定参数的目标数值;根据待设定参数的目标数值对待修正图形进行光学邻近效应修正。提升光学邻近效应修正的精确度。
- 图形修正方法
- [发明专利]OPC方法-CN202211037025.X在审
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夏文彬;肖燏萍;江志兴
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华虹半导体(无锡)有限公司
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2022-08-29
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2022-11-11
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G03F7/20
- 本发明提供一种OPC方法,包括:定义所述凸类图形的目标图形的特征变量:凸高、凸宽和临边;设置所述凸类图形的特征条件和修正评价规则;获取凸高的影响因子;对凸高应用所述凸高的影响因子,进行OPC修正;获取凸类图形的模拟图形与凸类图形的目标图形在所述凸高上的交点;判断所述交点是否符合所述修正评价规则,若符合,则完成OPC修正。本申请通过获取所述凸高的影响因子,并利用所述凸高的影响因子对凸类图形进行OPC处理,再评价交点是否符合所述修正评价规则,这样可以在减少OPC修正次数的同时,避免OPC修正过程中报错的情况,提高了凸类图形对内部的通孔层的覆盖率,节省了OPC修正时间,提高了OPC修正效率。
- opc方法
- [发明专利]存储器件-CN202211071166.3在审
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何应春;顾林;王虎;江志兴;吴青;杨耀华
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华虹半导体(无锡)有限公司
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2022-08-31
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2022-11-08
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H01L27/11517
- 本申请公开了一种存储器件,包括:衬底,其上形成有隧道介质层,该隧道介质层上形成有多个栅极结构,衬底中形成有SAS掺杂区,SAS掺杂区形成于衬底的预定区域,该预定区域位于栅极结构之间;层间介质层,其形成于衬底上,层间介质层覆盖衬底、隧道介质层和栅极结构;接触孔,其形成于层间介质层中,接触孔的底部和SAS掺杂区接触,从俯视角度观察,接触孔为椭圆形。本申请通过将存储器件中,与SAS掺杂区相接触的接触孔设置为截面为椭圆形,从而增加了该接触孔的工艺窗口,改善其形貌,在一定程度上提高了器件的可靠性和良率。
- 存储器件
- [发明专利]提升通孔工艺窗口的OPC方法-CN202210855800.6在审
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肖燏萍;夏文彬;江志兴
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华虹半导体(无锡)有限公司
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2022-07-19
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2022-11-01
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G03F7/20
- 本发明提供一种提升通孔工艺窗口的OPC方法,方法包括:提供一孔层图形,并从孔层图形中选出主目标通孔及次目标通孔;通过计算得到第一SRAF的最小缩短值及最大缩短值;根据最小缩短值及最大缩短值得到N种不同长度的第一SRAF,并将各第一SRAF添加于主目标通孔的一侧以得到N种不同添加方式下的SRAF层;于各SRAF层的整个孔层添加第二SRAF以得到N种目标层;将各目标层进行修正后模拟来获取主目标通孔及次目标通孔周边不同方位处的EPE值,以选择出第一SRAF的最佳添加方式。通过本发明解决了现有通孔因SRAF添加不合理导致其周围SRAF不一致或者EPE较大的问题。
- 提升工艺窗口opc方法
- [发明专利]一种脉象自动采集装置及方法-CN202210819898.X在审
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江志兴;董文;郭超勋;张大鹏
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深圳市大数据研究院
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2022-07-13
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2022-10-14
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A61B5/02
- 本发明公开的一种脉象自动采集装置及方法,所述脉象自动采集装置包括SCARA机械臂、与所述SCARA机械臂同一平面的限位机构;所述SCARA机械臂包括:固定支架、活动支架、第一转动臂、第二转动臂和复合式脉象传感器;所述限位机构包括:固定部、位于所述固定部一侧的握把、设于与所述握把同侧的限位部、以及用于获取图像的摄像装置。该脉象自动采集装置基于SCARA机械臂的三通道脉象传感器空间位置控制结构,使用所述复合式脉象传感器可同时控制切脉压力,输出两类不同的压力脉象信号,并且通过限位机构对腕部的姿态进行限定和保持,以及采集位置记录的影像装置,可实现同一被采集者多次采集之间采集位置的统一性。
- 一种脉象自动采集装置方法
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