专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果97个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]获取并处理CDSEM文件的方法-CN202211402206.8在审
  • 刘朗;陆正;江志兴 - 华虹半导体(无锡)有限公司
  • 2022-11-10 - 2023-03-21 - G06F40/186
  • 本发明提供一种获取并处理CDSEM文件的方法,所述方法包括:通过曝光工艺于晶圆上形成光刻胶图案;将晶圆置于量测机台内,并设置机台参数对光刻胶图案的关键尺寸进行量测以获取CDSEM文件;于终端输入CDSEM文件的绝对路径以读取CDSEM文件;对CDSEM文件中的数据进行匹配以筛选出目标数据;判断目标数据是否为FEM数据;若判断结果为是,利用数据分析库将目标数据转为第一种形式的模板文件,若判断结果为否,利用数据分析库将目标数据转换为第二种形式的模板文件;于终端导出模板文件。通过本发明解决了以现有的获取及处理CDSEM文件的方法所存在的效率较低的问题。
  • 获取处理cdsem文件方法

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top