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- [发明专利]装载端口-CN202210918009.5在审
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小川建;石原裕挥;杉本俊哉
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昕芙旎雅有限公司
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2022-08-01
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2023-04-04
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H01L21/677
- 本发明提供了一种装载端口。该装载端口包括:框架,该框架包括开口,传送目标物体能够经由该开口以基本上水平的姿势通过;装载端口门,该装载端口门被配置为与能够打开和关闭存储容器的装载/卸载端口的容器门接合,并且被配置为打开和关闭所述框架的开口,该存储容器包括能够以多级方式容纳传送目标物体的狭槽;以及映射机构,该映射机构被配置为经由开口和装载/卸载端口来映射关于容纳状态的信息,该容纳状态包括在所述存储容器中的每个所述狭槽中存在或不存在所述传送目标物体。
- 装载端口
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