专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶圆位置校准方法及设备-CN202311011509.1有效
  • 李全腾;朱小庆;刘好好;刘海洋;胡冬冬;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2023-08-11 - 2023-10-24 - H01L21/68
  • 本申请提供一种晶圆位置校准方法及设备,晶圆放置于晶圆载台,方法包括:控制超声波发生器向晶圆发射第一声波,由于超声波发生器、超声波接收器和晶圆部分交叠,因此第一声波具有未被晶圆阻挡的部分,可以控制超声波接收器接收未被晶圆阻挡的第一声波。根据未被晶圆阻挡的第一声波计算得到晶圆的中心位置偏移晶圆载台的中心位置的偏移方向和偏移值,就可以根据偏移方向和偏移值定位晶圆在晶圆载台上的位置,实现利用超声波对晶圆的精准定位。在对晶圆定位之后,可以控制机械手臂根据偏移方向和偏移值调整抓取晶圆的位置信息,也就是说,对机械手臂抓取晶圆的位置进行校准,从而实现晶圆在传输过程中进行稳定且高精度的定位和校准。
  • 一种位置校准方法设备
  • [发明专利]一种传输阀-CN202310830212.1在审
  • 方传阳;胡冬冬;卢昕雨;叶鹏;吕康理;李浩;朱小庆;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2023-07-07 - 2023-10-03 - F16K1/00
  • 本发明公开了一种传输阀,包括阀体、单侧密封板和双侧密封板,所述阀体设有第一端口和第二端口,所述单侧密封板用于密封所述第一端口,所述双侧密封板包括第一密封板和第二密封板,所述第一密封板和第二密封板用于密封所述第一端口和第二端口;所述阀体内部设有升降机构,所述第一密封板和第二密封板通过横向伸缩机构安装于所述升降机构,所述第一密封板和第二密封板分别通过能够分离和结合的对接结构与所述横向伸缩机构相连接。该传输阀在排查相邻腔室间出现漏点的情况时,能够实现漏点的准确定位,提高排查效率,而且,在拆装阀体时,不会破坏腔室内部的真空环境,从而保证晶圆生产质量的稳定性。
  • 一种传输
  • [发明专利]一种信号巢细胞以及类胚胎的制备方法-CN202310767747.9在审
  • 艾宗勇;李天晴;牛宝华;尹宇;朱小庆 - 昆明理工大学
  • 2023-06-27 - 2023-09-15 - C12N5/073
  • 本发明涉及干细胞和类胚胎技术领域,尤其涉及一种信号巢细胞以及类胚胎的制备方法。本发明通过采用特定的诱导培养基诱导始发态人多能干细胞制得信号巢细胞,并基于该信号巢细胞建立类胚胎的制备方法。本发明的类胚胎在体外成功长出了双胚盘、羊膜腔和卵黄囊的三维结构,以及上胚层、胚外内胚层、胚外中胚层、羊膜、原条和原始生殖细胞等多谱系的协同发育,能够模拟人着床后早期胚胎的谱系发育,为体外研究人着床后早期胚胎的发育机制提供新模型、同时也针对胚胎异常发育进行药物筛选和毒理测试提供新平台。
  • 一种信号细胞以及胚胎制备方法
  • [实用新型]具有雾化效率监测功能的纯水雾化系统、ICP刻蚀机-CN202223106552.X有效
  • 庄佳伟;卢浩;陈兆超;朱小庆;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-11-22 - 2023-09-12 - B05B15/00
  • 本实用新型公开了一种具有雾化效率监测功能的纯水雾化系统,包括水流量计、雾化器、第一进水管路、第一进水阀门、第一蒸气管路、第二蒸气管路、第一截止阀门、第二截止阀门、水雾容器和水蒸气检测单元;水流量计的出口通过第一进水管路与雾化器的进水端连接,对进入雾化器的纯水流量进行检测;第一进水阀门安装在第一进水管路上;雾化器通过第一蒸气管路与气室连接,第一截止阀门安装在第一蒸气管路上;雾化器通过第二蒸气管路与水雾容器连接,第二截止阀门安装在第二蒸气管路上;水蒸气检测单元安装在水雾容器内,对水雾容器内的水蒸气参数进行检测。本实用新型能够确保晶圆表面的PR胶去除工艺质量,有效提高晶圆生产成功率。
  • 具有雾化效率监测功能纯水系统icp刻蚀
  • [实用新型]用于显示屏的复合光学板-CN202223020442.1有效
  • 黄海涛;朱小庆 - 南通创亿达新材料股份有限公司
  • 2022-11-14 - 2023-08-15 - G02F1/13357
  • 本实用新型涉及一种用于显示屏的复合光学板,该复合光学板由若干个层状的光学组件贴合而成,其中至少两个光学组件经由局部胶粘层连接,在一光学组件的侧面局部涂胶后再与另一光学组件贴合从而形成所述的局部胶粘层,该两个光学组件之间形成局部分布的连接点或者连接线,该两个光学组件之间非连接点或连接线的部位形成辉度无损空间。本实用新型通过局部胶粘层的连接点对两个光学组件进行连接,大大降低了光损。
  • 用于显示屏复合光学
  • [发明专利]用于半导体真空设备的防护窗及半导体真空设备-CN202210026128.X在审
  • 卢浩;姬富裕;刘昊;朱小庆;许开东 - 江苏鲁汶仪器有限公司
  • 2022-01-11 - 2023-07-21 - H01J37/18
  • 本发明公开了一种用于半导体真空设备的防护窗及半导体真空设备,半导体真空设备包括:真空腔体,真空腔体上设有抽气口;分子泵,分子泵安装在抽气口处用于抽出真空腔室内的气流;开关阀,开关阀设在分子泵和抽气口之间以打开或者关闭抽气口;防护窗,防护窗设在抽气口处且位于开关阀的朝向真空腔体的一侧,防护窗包括边框和多个叶片,边框的形状和抽气口的形状一致,多个叶片以边框中心为中心沿径向向外均匀间隔开布置,在垂直于防护窗所在平面的轴向截面上每个叶片的两个边呈预定角度α,在径向上相邻的两个叶片之间设有与预定角度相对应的预定重叠区a。根据本发明的实施例的防护窗,可以保证抽气速度,防止刻蚀产物或溅射物进入分子泵内。
  • 用于半导体真空设备防护
  • [实用新型]一种弹性式电连接线护线装置-CN202320166913.5有效
  • 陈洁;张泽;孔德阳;邵耀斌;朱小庆;殷涛;戴亿;崔鑫 - 中铁建电气化局集团轨道交通器材有限公司
  • 2023-02-03 - 2023-07-21 - H02G7/05
  • 本实用新型涉及一种弹性式电连接线护线装置,包括线夹,所述电连接线轴向穿入线夹内并夹紧,所述的线夹上固定有护线套,所述护线套包括一体结构的连接部和弹簧部,所述连接部由构成弹簧部的弹簧丝延伸后弯折成形,所述的连接部从线夹一端嵌入线夹内并夹紧,所述弹簧部缠绕在位于线夹外部的电连接线的外周。本实用新型通过增加一胡克系数较大的弹簧结构作为护线套紧密缠绕在电连接线外周,可将接触网的高频机械波进行滤波避震,同时由于电连接线出线口以后的部分被护线套紧密缠绕包裹,两者互相约束,可有效避免电连接线出线口部分被拉扯和小幅度弯折,从而确保电连接线的使用性能,延长电连接线的使用寿命。
  • 一种弹性连接线线装
  • [实用新型]一种防偏载棘轮补偿装置-CN202320694774.3有效
  • 储文平;蒋文杰;李大东;朱小庆;崔鑫;陈天宇;员鹏博;张成;丁玉书 - 中铁建电气化局集团轨道交通器材有限公司
  • 2023-03-31 - 2023-07-21 - B60M1/26
  • 本实用新型是一种防偏载棘轮补偿装置,包括:棘轮本体;棘轮轴,其穿设棘轮本体中部,其两端分别通过轴承与棘轮本体连接;轴承挡圈,其设置在棘轮轴端部,其用于限制轴承的轴向移动;端盖,其中部供棘轮轴端部穿过,其与棘轮本体固定连接;垫圈,其设置在棘轮本体、端盖之间;骨架油封,其套设在棘轮轴上,并位于端盖的内圈处;本装置采用圆锥滚子轴承;棘轮补偿装置在隧道内多为倾斜安装,此时棘轮补偿装置既要承受径向力,又要承受轴向力;若采用深沟球轴承,极易使棘轮补偿装置产生偏磨,大大缩短使用寿命,而采用的圆锥滚子轴承,使装置能够承受轴向力,规避了因倾斜安装带来的偏磨,大大提高了装置的使用寿命。
  • 一种防偏载棘轮补偿装置
  • [实用新型]具有晶圆异常监测功能的晶圆对准装置-CN202223515931.4有效
  • 卢昕雨;方传阳;朱小庆;吕康理;胡冬冬;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-07-04 - H01L21/68
  • 本实用新型公开了一种具有晶圆异常监测功能的晶圆对准装置,包括转动机构支架、转动机构、晶圆以及相机支架,晶圆通过晶圆基座安装在转动机构上,而转动机构则安装在转动机构支架上,所述晶圆的正面配设有上位相机,而晶圆的背面则配设有下位相机;上位相机以及下位相机均安装在相机支架上,且上位相机能够对晶圆正面进行扫描并判断晶圆正面是否有裂痕或划伤,而下位相机则能够对晶圆背面进行扫描并判断晶圆背部是否有划伤。因此,本实用新型能够有效预防晶圆颗粒带来的影响和及时发现晶圆异常情况处理,从而能够有效提高芯片品质,进而提高芯片生产的良率,给芯片生产企业带来更大的利润。
  • 具有异常监测功能对准装置
  • [实用新型]一种气体管路的固定测量装置-CN202223089359.X有效
  • 方传阳;卢昕雨;吕康理;朱小庆;胡冬冬;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-11-17 - 2023-06-27 - G01B5/00
  • 本实用新型公开了一种气体管路的固定测量装置,包括移动基座、平面固定单元、平行移动单元、旋转机构、白板和参数测量单元;所述平面固定单元位于移动基座上表面的中部区域,用于将气体管路平行固定在移动基座上;所述平行移动单元安装在移动基座上表面;所述白板通过旋转机构翻转安装在平行移动单元上,沿移动基座上表面水平竖向移动,且在外力作用下向下翻转以从上方固定平行固定在移动基座上的气体管路,或者向上翻转以远离气体管路;所述参数测量单元包括量角器。本实用新型能够实现不同尺寸的气体管路的尺寸测量,提高气体管路的测量精确性。
  • 一种气体管路固定测量装置
  • [发明专利]一种具有辅助窗的刻蚀腔室、刻蚀方法-CN202211741921.4在审
  • 朱小庆;孟庆国;卢浩;刘帅;刘小波;胡冬冬;许开东 - 江苏鲁汶仪器股份有限公司
  • 2022-12-31 - 2023-06-09 - H01J37/32
  • 本发明公开了一种具有辅助窗的刻蚀腔室,包括腔室本体、安装组件,以及通过安装组件可拆卸地安装在腔室本体内的辅助窗;所述辅助窗通过安装组件固定在腔室上盖内侧,与静电夹盘之间具有空隙;所述辅助窗的横截面完全覆盖静电夹盘的横截面,并且辅助窗的中心点与静电夹盘的中心点位于同一竖直线上;在刻蚀工艺中,通过调整辅助窗的形状尺寸改变腔室内的等离子体分布特性,以满足不同的工艺需求。本发明的辅助窗的材质,厚度,直径,表面的曲度和倒角的弧度可以根据实际工艺的表现进行调整,来应对客户对不同工艺的变更,极大地提高了腔室的兼容性和迅速的调整可行性。
  • 一种具有辅助刻蚀方法

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