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[发明专利]一种模压成形方法-CN202310944288.7在审
发明人：尹韶辉;舒成松;蔡迫 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;湖南大学
申请日： 2023-07-28 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： C03B23/03 文献下载
摘要：本发明公开了一种模压成形方法，涉及精密模压成形技术领域，方法包括：将曲面预制件与模具装配，模具包括上模具、下模具，包括：将曲面预制件放置在下模具中心的定位部；将上模具置于曲面预制件的上方，上模具与下模具设有相互对应的单模多穴结构；加热软化曲面预制件；通过上模具对曲面预制件施加第一压力，以便软化的曲面预制件从中心向外周均布冲型，得到阵列光学元件；降低加热温度，同时通过上模具对阵列光学元件施加第二压力，直到阵列光学元件降温至预定温度；停止施压，待阵列光学元件冷却到室温后，脱模取出阵列光学元件。解决了模压成形过程中在光学元件表面形成气泡，模具的形貌无法被精确复制，精度低、阵列中各穴面形差异大的问题。
一种模压成形方法

[发明专利]用于碳化硅晶圆的减薄砂轮制备方法-CN202310882814.1在审
发明人：尹韶辉;周仁宸;康宁;王哲;吉佛涛;杨远航 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;湖南大学
申请日： 2023-07-18 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： B24D18/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于碳化硅晶圆的减薄砂轮制备方法，包括：根据预定配方对多种原材料进行均匀混合，得到减薄砂轮模块成型料，多种原材料包括细粒度金刚石磨料、辅助磨料、陶瓷结合剂、造孔剂、粘结剂、分散剂、润滑剂；对减薄砂轮模块成型料进行冷压成型得到减薄砂轮磨块生坯，对该生坯进行烧结，其中，按照预定升温曲线进行升温至烧结温度，在烧结完成后进行冷却，得到减薄砂轮磨块熟坯；对该熟坯进行表面处理，得到减薄砂轮磨块；获取砂轮基体并进行去油清洗及干燥处理；将减薄砂轮磨块垂直粘贴在砂轮基体的沟槽内，并进行固化成型及修整处理，以得到减薄砂轮。根据本发明制备的减薄砂轮减薄后可获得超平坦、无缺陷及无损伤的碳化硅晶圆表面。
用于碳化硅砂轮制备方法

[发明专利]基于轮廓恢复的椭圆检测方法、计算设备及存储介质-CN202310587259.X在审
发明人：刘坚;王华建;张杰;索鑫宇;周飞滔;金超群 -专利权人：湖南大学;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于轮廓恢复的椭圆检测方法、计算设备及存储介质，方法包括：从工件的内孔图像上获取第一内孔轮廓点集合；确定第一内孔轮廓点集合对应的覆盖角度范围及覆盖角度值；判断覆盖角度值是否大于第二覆盖角度阈值；如果否，则对第一内孔轮廓点集进行椭圆检测，得到第一椭圆参数；根据第一椭圆参数构建圆环；利用最大熵阈值分割方法，从内孔图像上提取第二内孔轮廓；基于圆环截取第二内孔轮廓，得到待恢复轮廓区域；从待恢复轮廓区域获取多个轮廓点，并与第一内孔轮廓点集合进行合并，得到新的内孔轮廓点集合，并对其进行椭圆检测，得到新的椭圆参数，作为最终椭圆参数。本发明能实现对内孔轮廓进行恢复，提高了椭圆检测精度。
基于轮廓恢复椭圆检测方法计算设备存储介质

[发明专利]环状工件的缺陷检测方法、装置、计算设备及存储介质-CN202310315422.7在审
发明人：刘坚;张杰;索鑫宇;周羽卓;吴卓骅 -专利权人：湖南大学;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种环状工件的缺陷检测方法、装置、计算设备及存储介质，方法在计算设备中执行，包括：获取环状工件的待检测图像；从待检测图像中提取环状感兴趣区域并进行展开，得到待检测矩形展开图；根据灰度概率分布矩阵，确定待检测矩形展开图的像素灰度概率，以构建概率图，并确定概率图中的缺陷区域；对概率图中的缺陷区域进行灰度修复，得到修复图；根据修复图，构建自适应无缺陷模板；计算自适应无缺陷模板与待检测矩形展开图的绝对差值，得到缺陷残差图，以便根据缺陷残差图定位环状工件的缺陷位置。根据本发明的技术方案，能提高对环状工件的大尺寸缺陷的检测效果，实现高精度检测，同时优化了算法，提高了缺陷检测效率。
环状工件缺陷检测方法装置计算设备存储介质

[发明专利]砂轮基体制备方法及砂轮基体-CN202310899164.1在审
发明人：尹韶辉;吉佛涛;周仁宸;杨远航 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;湖南大学
申请日： 2023-07-20 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种砂轮基体制备方法及砂轮基体，方法包括：对主体进行车削加工，以在主体的顶部形成伞形斜面、与伞形斜面下边缘相连的过渡平面，得到第一加工件；对第一加工件进行铣销加工，以在第一加工件的顶部靠近边缘处形成用于定位粘接砂轮齿的环形粘接槽、在第一加工件的底部形成环形的进水槽，得到第二加工件；对第二加工件进行钻孔加工，以形成连通过渡平面和所述进水槽的多个通水孔，得到砂轮基体。根据本发明的技术方案，进水槽、多个通水孔和伞形斜面形成通水结构，以便冷却水经通水结构精确流至砂轮齿内壁进行冷却降温；并且，基于环形粘接槽易于对砂轮齿进行定位粘接，最终形成的砂轮的圆柱度更高，减薄效率更高。
砂轮基体制备方法

[实用新型]一种导轨系统-CN202320551670.7有效
发明人：尹韶辉;刘坚;邱蕾;高云睿;何富裕 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;江苏优普纳科技有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-08-29 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种导轨系统，涉及超精密的移动定位技术领域，导轨系统包括滑板、底座、静压导轨组件和直线导轨抱闸装置。静压导轨组件包括安装于滑板上的静压滑块以及安装于底座两侧的两个导轨盖板。静压滑块与底座滑动连接以带动滑板相对底座运动，静压滑块与底座之间、导轨盖板的底部与静压滑块之间分别形成油膜；直线导轨抱闸装置与静压导轨组件平行布置，直线导轨抱闸装置包括安装于底座上的直线导轨和安装于滑板上的抱闸器，导轨系统工作状态下，抱闸器与直线导轨之间存在间隙；导轨系统停止工作时，抱闸器启动锁紧直线导轨，停止滑板运动。本实用新型中的导轨系统能够在保持高精度运行的基础上，防止停止工作或断电停机时滑块发生撞击。
一种导轨系统

[发明专利]工件内孔轮廓的椭圆检测方法、计算设备及存储介质-CN202310587590.1在审
发明人：刘坚;张杰;王华建;索鑫宇;周飞滔;金超群 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;湖南大学
申请日： 2023-05-23 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种工件内孔轮廓的椭圆检测方法、计算设备及存储介质，方法包括：基于预定角度步长，从工件的内孔图像上获取内孔轮廓点集合；从内孔轮廓点集合中随机获取预定数量个轮廓点；判断任意两个轮廓点之间的距离是否大于第一距离阈值；如果是，则基于预定数量个轮廓点拟合形成初始椭圆；从内孔轮廓点集合中随机获取下一个轮廓点，判断下一个轮廓点到初始椭圆的距离是否小于第二距离阈值；如果是，则确定内孔轮廓点集合中到初始椭圆的距离小于第二距离阈值的所有目标轮廓点的目标覆盖角度值；判断目标覆盖角度值是否大于第一覆盖角度阈值，如果是，则根据初始椭圆得到椭圆参数。根据本发明的技术方案，有利于提高椭圆检测效率和精度。
工件轮廓椭圆检测方法计算设备存储介质

[实用新型]一种转台结构-CN202320361069.1有效
发明人：尹韶辉;刘坚;邱蕾;高云睿;何富裕 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;江苏优普纳科技有限公司
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B23Q1/26 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种转台结构，包括：基体、设置在基体上的转台部和驱动部；其中，转台部，包括固定轴、主轴轴承和台面，固定轴的一端与基体固定连接，主轴轴承套接在固定轴远离基体一端，台面上设置有通孔，台面通过通孔套接在主轴轴承上；驱动部，包括电机、传动杆、同步带和带轮，带轮通过传动杆与电机连接，同步带分别缠绕带轮和台面。该转台结构，利用转台部实现转台结构的回转，通过驱动部分实现转台结构的往复运动，减小了零件加工要求，降低了加工成本。
一种转台结构

[实用新型]一种滑台组件-CN202320345065.4有效
发明人：尹韶辉;刘坚;吴文志;邱蕾 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;江苏优普纳科技有限公司
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： B23Q1/25 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种滑台组件，涉及超精密的移动定位技术领域，滑台组件包括滑台本体。滑台本体包括：上滑板；交叉滚子导轨副，与所述上滑板连接，所述交叉滚子导轨副包括多个导轨、滚子保持架和圆柱滚子；下滑板，通过所述交叉滚子导轨副与所述上滑板滑动连接，所述下滑板的横截面呈凸型，且所述下滑板的中部设有凹型定位槽；直线电机，安装在所述下滑板的凹型定位槽中，适于驱动所述上滑板运动。本实用新型中的交叉滚子导轨副与上、下滑板组合后相应得到的运行精度能达到机械结构的理论数值，匹配相应运行精度的直线电机，能耗低，运行精度高。
一种组件

[实用新型]一种测量系统-CN202320117772.8有效
发明人：刘坚;吴卓骅;尹韶辉;王辰;张桢巍 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;江苏优普纳科技有限公司
申请日： 2023-01-13 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01B21/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种测量系统，涉及测量技术领域，该测量系统用于测量待测晶圆，包括：形状误差测量模块；粗糙度测量模块，布置在所述形状误差测量模块的一侧；竖直布置的第一滑台，所述第一滑台与所述形状误差测量模块固定连接，适于驱动所述形状误差测量模块竖直运动，以便调节所述形状误差测量模块的高度；水平布置的第二滑台，适于驱动所述待测晶圆水平运动至形状误差测量模块的测量范围内，以便对所述待测晶圆进行形状误差测量；并适于驱动所述待测晶圆水平运动至所述粗糙度测量模块的测量范围内，以便对所述待测晶圆进行表面粗糙度测量。根据本实用新型的技术方案，实现了对待测晶圆进行非接触式测量，提高了测量效率。
一种测量系统

[发明专利]一种碳化硅晶片剥离装置和方法-CN202310181760.6在审
发明人：尹韶辉;刘坚;邱蕾;郑延青;钱泽梁 -专利权人：江苏优普纳科技有限公司;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心
申请日： 2023-02-28 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶片剥离装置和方法。碳化硅晶片剥离装置，包括：剥离单元和控制单元；剥离单元，包括：顶升部，适于利用顶升力将碳化硅晶片从晶锭中进行剥离；缓冲部，与顶升部固接，适于在顶升部的顶升力达到预设值时，在顶升部与碳化硅晶片之间形成缓冲；驱动部，与缓冲部固接，适于驱动缓冲部和顶升部靠近或远离碳化硅晶片；控制单元，与驱动部电信连接，适于控制驱动部启动或关闭。该装置在顶升部的顶升力达到预设值时，通过缓冲部在顶升部与碳化硅晶片之间形成缓冲，达到保护晶片的目的，减少碳化硅晶片剥离时破片率较高的问题。
一种碳化硅晶片剥离装置方法

[发明专利]一种转台结构-CN202310193328.9在审
发明人：尹韶辉;刘坚;邱蕾;高云睿;何富裕 -专利权人：江苏优普纳科技有限公司;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心
申请日： 2023-03-01 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： B23Q1/26 文献下载
摘要：本发明公开了一种转台结构，包括：基体、设置在基体上的转台部和驱动部；其中，转台部，包括固定轴、主轴轴承和台面，固定轴的一端与基体固定连接，主轴轴承套接在固定轴远离基体一端，台面上设置有通孔，台面通过通孔套接在主轴轴承上；驱动部，包括电机、传动杆、同步带和带轮，带轮通过传动杆与电机连接，同步带分别缠绕带轮和台面。该转台结构，利用转台部实现转台结构的回转，通过驱动部分实现转台结构的往复运动，减小了零件加工要求，降低了加工成本。
一种转台结构

[发明专利]一种静压导轨及静压导轨系统-CN202310167889.1在审
发明人：尹韶辉;吴书昊 -专利权人：江苏优普纳科技有限公司;无锡市锡山区半导体先进制造创新中心
申请日： 2023-02-24 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： B23Q1/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种静压导轨及静压导轨系统，涉及流体静压支承领域，静压导轨外接供油设备，包括：底座；滑块，与底座滑动连接，滑块设有多个油孔；多个静压油垫，安装于滑块的上、下面及侧面，适于将滑块划分为多个油腔，多个油腔包括主油腔和辅油腔，多个油孔被划分至主油腔或辅油腔，滑块下面的油腔与底座间形成油膜间隙；端部挡油板，固定于底座两端；侧挡油板，固定于所述底座两侧；溜板，固定连接于所述滑块上方，溜板侧面设有液压油进油孔，液压油进油孔与进油管道连接。根据本发明的技术方案，在滑块中设置主油腔和辅油腔，液压油经由溜板从供油设备进入各油腔，在端部挡油板和侧挡油板的密封作用下，实现了闭式液压导轨的液压油流动。
一种静压导轨系统

[发明专利]一种砂轮表面形貌仿真方法、计算设备及存储介质-CN202210901639.1在审
发明人：刘坚;路恩会;袁一洁;索鑫宇 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06F30/17 文献下载
摘要：本发明涉及精密加工领域，特别涉及一种砂轮表面形貌仿真方法、计算设备及存储介质，方法包括：根据待仿真砂轮的表面参数和砂轮表面的自相关函数确定砂轮表面的各点高度；根据砂轮表面的自相关函数确定砂轮表面的系统传递函数；根据砂轮表面的系统传递函数和各点高度确定砂轮表面的目标滤波函数；根据目标滤波函数对砂轮的表面形貌进行仿真。本发明能够根据砂轮的表面参数以及自相关函数模拟砂轮表面的各点高度，再通过各点高度及系统传递参数对砂轮表面进行模拟，得到砂轮表面的目标滤波函数，从而实现对砂轮表面进行仿真。
一种砂轮表面形貌仿真方法计算设备存储介质

[发明专利]一种图像中包覆燃料颗粒的检测方法-CN202211440854.2在审
发明人：刘坚;胡钊川;张航;李蓉;陈宁 -专利权人： 无锡市锡山区半导体先进制造创新中心;湖南大学
申请日： 2022-11-17 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G06T7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种图像中包覆燃料颗粒的检测方法，包括：获取包含包覆燃料颗粒的切片的输入图像；将输入图像输入到结合特征金字塔结构的主干网络中进行特征提取，得到第一特征图；将第一特征图输入锚框生成网络，得到锚框，并通过锚框对第一特征图进行修正，得到修正后的第二特征图；将锚框和第二特征图输入到建议提案网络中，得到建议区域；对建议区域在第二特征图上的映射进行感兴趣区域对齐操作，得到固定尺寸的第三特征图；将第三特征图输入到全卷积网络中，得到输入图像中包覆燃料颗粒的类别和位置。
一种图像中包覆燃料颗粒检测方法

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