“施耀明”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果72个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种理论光谱数据的优化方法、系统及光学测量方法-CN202110736218.3有效
发明人：张晓雷;张厚道;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-06-30 - 公布日： 2023-07-18 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供一种理论光谱数据的优化方法、系统及光学测量方法，该优化方法包括:获取一在X、Y方向均具有周期性结构的样品模型；获取样品模型在X、Y方向上的收敛级次对集合；建立包括至少一个可调参数的级次对不等式，以级次对不等式为约束条件，在收敛级次对集合中提取第一优化级次对集合；基于RCWA算法，获取第一优化级次对集合中级次对集合对应的第一均方误差；将第一均方误差与预先设定的第一阈值比较，提取第二优化级次对集合；基于RCWA算法，获取第二优化级次对集合对应的理论光谱数据。本发明通过级次对不等式对收敛级次对集合进行优化，第二优化级次对集合中级次对的个数少，从而可以减少计算量，提高计算理论光谱数据的效率。
一种理论光谱数据优化方法系统光学测量方法

[发明专利]一种方便检修的壁挂式WAPI无线设备-CN202211512534.3在审
发明人：阳佑敏;杨乐;谢俊毅;洪丹轲;李买林;李克键;蓝天宝;彭舜杰;林和昀;潘信宏;陆贻名;黎洪波;施耀明;周孜;蔡晓兰 -专利权人：广西电网有限责任公司;广西电网能源科技有限责任公司
申请日： 2022-11-28 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： F16M11/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种方便检修的壁挂式WAPI无线设备，包括安装箱、安装盒和设置于安装箱内部的设备本体，所述安装箱的一侧为开口设置，且安装箱的开口侧转动安装有防护门，所述安装盒的上下两侧内壁之间固定安装有两根固定杆，所述安装箱靠近其顶端的背部固定安装有两根固定块，所述固定杆贯穿固定块的外表面并与其滑动安装，所述安装盒的内部设有用于升降安装箱的升降机构。本发明通过电机带动螺杆转动，使螺杆通过安装块带动安装箱整体向下移动，使安装箱下降至与检修人员身高相合适的高度，以便检修人员对安装箱内部的设备本体进行检修，不需要使用梯子等工具进行登高维修，降低检修人员跌落的危险。
一种方便检修壁挂式 wapi 无线设备

[发明专利]带有散热底座的WAPI网络设备-CN202211609031.8在审
发明人：彭舜杰;阳佑敏;谢俊毅;黄一霖;李克键;杨乐;蓝天宝;蒋烨;黄国伦;唐元;李买林;施耀明;耿榕;王凯行;覃威威 -专利权人：广西电网有限责任公司;广西电网能源科技有限责任公司
申请日： 2022-12-14 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H04Q1/02 文献下载
摘要：本发明公开了带有散热底座的WAPI网络设备，包括设备壳体和底座，所述设备壳体内安装有路由器模组，所述底座上设置有散热机构和用于固定设备壳体夹持件；所述散热机构包括固定在底座底部内壁的循环管和固定在底座底部内壁的半导体制冷器，所述循环管呈一定的走势固定在底座的内壁；所述夹持件包括夹杆，所述夹杆的顶部通过扭簧固定有顶板，所述夹杆的中部内壁固定有挤压块。本发明设备壳体与循环管直接接触，工作时设备壳体内部发热传导至循环管，并通过半导体制冷器进行降温，起到有效的低噪音散热降温作用，同时对设备壳体进行较好的夹持固定，使其稳定。
带有散热底座 wapi 网络设备

[发明专利]混合模型学习方法、光学散射测量方法和电子设备-CN202211490637.4在审
发明人：梁洪涛;张厚道;张晓雷;张云;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-11-25 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： G06N20/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于光学散射测量的混合模型学习方法、光学散射测量方法和电子设备，包括：基于物理模型和材料的结构参数，通过分析实验光谱进行回归方式获得回归数据，回归数据为仿真光谱或待测参数预测值；将参考参数作为标签数据，将标签数据和回归数据共同输入机器学习模型进行训练；当机器学习模型的损失函数的损失值达到设定阈值时停止训练，获得混合模型。该方法结合了物理模型的泛化能力和机器学习模型的精度优势，能够提升半导体量测中的测量速度和精度。
混合模型学习方法光学散射测量方法电子设备

[发明专利]一种获取理论光谱的方法、形貌参数测量方法及装置-CN202211060933.0在审
发明人：张晓雷;张厚道;梁洪涛;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-12-30 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种获取理论光谱的方法、形貌参数测量方法及装置。周期性结构包括若干周期单元，该方法包括：沿周期性结构底部到顶部的方向Z，将所述形貌模型划分出多个片层；基于每个所述片层在所述方向Z的介质分布，获取相应片层介电系数沿周期方向的连续函数；然后计算每个所述片层的介电系数的傅里叶系数；最后利用严格耦合波分析算法，计算得到周期性结构的理论光谱。本发明避免了对模型划分的片层侧面轮廓的近似，使得RCWA计算中形貌模型的处理更加贴合样品实际形貌模型，得到了每个片层的介电系数的连续函数，提高了介电系数的傅里叶系数计算精度，提高了理论光谱计算精度和计算效率。
一种获取理论光谱方法形貌参数测量方法装置

[发明专利]建立理论光谱库的方法及装置、形貌参数测量方法及装置-CN202211047949.8在审
发明人：张晓雷;张厚道;梁洪涛;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-30 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种建立理论光谱库的方法及装置、形貌参数测量方法及装置，该建立理论光谱库的方法能够提高创建理论光谱库的速度，包括：获取待测量样品的形貌模型，将形貌模型划分为M个分块，并获取每个分块的初始形貌参数；多次浮动每个分块的至少一个初始形貌参数，得到每个分块的多组参考形貌参数；根据每个分块的初始形貌参数，确定每个分块的初始子构型，根据每个分块的多组参考形貌参数，确定每个分块的多个参考子构型，划分为多个片层，得到每个分块的子构型的片层划分结果；得到形貌模型的所有的子构型；得到形貌模型的所有子构型分别对应的片层划分结果；分别计算形貌模型的每个子构型对应的理论光谱，得到形貌模型对应的理论光谱库。
建立理论光谱方法装置形貌参数测量方法

[发明专利]一种光声测量的建模方法、光声测量方法及系统-CN202211042805.3在审
发明人：张晓雷;张厚道;梁洪涛;董诗浩;李仲禹;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种光声测量的建模方法、光声测量方法及系统，其建模方法包括获取待测样品的特性参数，所述特性参数包括膜层数M、各膜层的复折射率和名义厚度，M为正整数；根据所述特性参数，计算得到所述待测样品的第一反射率；获取所述待测样品在吸收激发光后于厚度方向上各膜层的位移；根据所述位移，得到所述待测样品的第二反射率；基于所述第一反射率和所述第二反射率，得到所述待测样品的反射率变化的仿真信号。本发明提出了基于应变后的样品分层模型和RCWA算法，来计算膜厚；适用于任意入射角的探测光的同时，提高了计算效率和准确率。
一种测量建模方法测量方法系统

[发明专利]一种IP地址配置的方法与AP设备-CN202210931216.4在审
发明人：陆贻名;莫飘;耿榕;周孜;周高明;黎洪波;滕敬徳;程海生;施耀明;马杨浩;甘露;董申颂;芦超 -专利权人：广西电网有限责任公司百色供电局
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2022-11-15 - 主分类号： H04L61/5014 文献下载
摘要：本发明公开了一种IP地址配置的方法与AP设备，包括以下步骤：第一AP周期性发送控制消息，控制消息中包括了AC的IP地址、控制动作；第二AP接收和处理控制消息，第二AP接收控制消息后，进行消息解析，并检查当前是否已从DHCP服务器获取得到动态IP地址，如果动态IP地址已得到，则进行设置自动处理，包括设置接口静态IP地址、设置AC地址配置项；第二AP发送确认消息，在第二AP完成接口的静态IP地址、AC地址设置后，向第一AP发送确认消息。本发明可以高效、快速地配置AP的IP地址和ACIP地址配置项，还可以利用此方法迅速定位安装或网络连接有问题的待配置AP，对于解决如变电站场景中的AP自动配置非常有用。
一种 ip 地址配置方法 ap 设备

[发明专利]理论光谱数据的优化方法、设备及测量方法-CN202210668928.1在审
发明人：张晓雷;张厚道;张戎;梁洪涛;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G06F16/215 文献下载
摘要：本发明提供了一种理论光谱数据的优化方法、设备及测量方法，所述理论光谱数据的优化方法包括：获取样品模型，所述样品模型在X、Y方向均具有周期性结构；获取所述样品模型在所述X、所述Y方向上的收敛级次对集合；获取所述收敛级次对集合中的每一个级次对相对于(0，0)级次对的光特性参量的相对分布或每一个所述级次对的所述光特性参量的绝对分布，并根据所述相对分布或所述绝对分布建立数据表；对所述数据表中的数据进行筛选，符合预设条件的所述数据所对应的级次对为优化级次对；基于RCWA算法，获取所述优化级次对所对应的理论光谱数据。本发明提高了理论光谱数据求解的效率。
理论光谱数据优化方法设备测量方法

[发明专利]光学测量方法-CN202210667770.6在审
发明人：梁洪涛;张戎;张厚道;张晓雷;张云;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： G01B11/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学测量方法，所述光学测量方法包括：获取待测样品的测量光谱；对所述测量光谱进行光滑滤波处理，以得到高频光谱；基于所述待测样品的光学性能参数对所述测量光谱中的变量真空波长建立变量替换函数关系，以获取替换变量；基于所述替换变量，对所述高频光谱进行约化处理，以得到目标高频信号；对所述目标高频信号进行傅里叶变换，以得到傅里叶空间光谱；对所述傅里叶空间光谱进行寻峰，其中最大峰所对应的参数值即为所述待测样品的待测参数的测量结果。本发明直接通过确定所述傅里叶空间光谱最大峰所对应的参数值，并根据所述参数值得到所述待测样品的待测参数，提高了对待测样品的光学参数的准确度。
光学测量方法

[发明专利]一种获取理论光谱的方法和形貌参数的测量方法-CN202210826813.0在审
发明人：张晓雷;张厚道;梁洪涛;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种获取理论光谱的方法和形貌参数的测量方法，用于提高理论光谱计算效率和形貌参数的测量效率。获取理论光谱的方法包括：获取待测量样品的形貌模型，将形貌模型划分为M个分块，获取每个分块的初始形貌参数，浮动初始形貌参数得到多组参考形貌参数；确定每个分块的初始构型和多个参考构型，每个分块的散射特性矩阵组包括初始构型和多个参考构型分别对应的散射特性矩阵；从形貌模型的底部向顶部的顺序依次从每个分块的散射特性矩阵组中分别选取的任意一个散射矩阵进行逐级合并，得到形貌模型入射区的散射特性矩阵；获取入射区的多个散射特性矩阵；获取入射区的多个反射电场，基于多个反射电场得到待测量样品的多个理论光谱。
一种获取理论光谱方法形貌参数测量方法

[发明专利]光学特性建模方法及装置、光学参数测量方法-CN202210429471.9在审
发明人：张晓雷;张厚道;梁洪涛;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学特性建模方法及装置、光学参数测量方法，所述光学特性建模方法，包括：获取周期性介质的特性参数，并基于所述特性参数和严格耦合波分析法构建第一耦合波方程组；所述周期性介质关于光束入射平面对称；获取电场的两个正交分量或磁场的两个正交分量的线性组合，并基于所述第一耦合波方程组和所述电场的两个正交分量或所述磁场的两个正交分量的线性组合构建第二耦合波方程组；根据所述周期性介质的对称性简化所述第二耦合波方程组；求解简化后的所述第二耦合波方程组，得到理论光谱。本发明提高了光学建模的效率，以得到理论光谱。
光学特性建模方法装置参数测量方法

[发明专利]玻璃纤维布及低介电玻璃纤维丝制玻璃纤维布的加工方法-CN202011457540.4在审
发明人：蔡富全;林荣郁;李朝欉;施耀明;李政中 -专利权人：南亚塑胶工业股份有限公司
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： D03D15/267 文献下载
摘要：本发明公开一种玻璃纤维布及以低介电玻璃纤维丝制成的玻璃纤维布加工方法，所述玻璃纤维布是由多根玻璃纤维丝进行织造而成。各个所述玻璃纤维丝包含有B2O3、SiO2、Al2O3、及MgO。基于各个所述玻璃纤维丝的总重为100wt％，B2O3的含量范围为介于20.13wt％至25wt％之间，SiO2的含量范围为介于50wt％至55wt％之间，Al2O3的含量范围为介于14wt％至19wt％之间，并且MgO的含量范围为介于0.1wt％至8.5wt％之间。据此，所述玻璃纤维布能具有低介电常数及低散失因子，以满足高频高速化的应用需求。
玻璃纤维低介电加工方法

[发明专利]光学参数测量方法及装置-CN202111546851.2在审
发明人：梁洪涛;张戎;张厚道;张云;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G01B11/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种光学参数测量方法及装置，所述方法包括：获取待测样品的测量光谱S，并获得优化谱线T；计算待测参数x的第一初值x1；创建测量光谱S的仿真光谱s和所述s的优化谱线t；计算特征差值M0，并设置所述M0的权重k0，计算特征差值Ma，并设置所述Ma的权重ka，所述M0和所述Ma是跟随所述x变化的变量；计算M的最小值，在所述M取Mmin时，所对应的待测参数x的参数值x2为所述待测参数x的最优解。本发明通过综合考量同一待测样品的不同类型光谱曲线的特性确定出待测参数初值的最优解，提高了对薄膜厚度、OCD等光学参数测量的准确度。
光学参数测量方法装置

[发明专利]一种模型理论光谱计算方法和装置-CN202111602467.X在审
发明人：张晓雷;张厚道;施耀明 -专利权人：上海精测半导体技术有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种模型理论光谱计算方法和装置。本申请的模型理论光谱计算方法，包括：建立样品形貌模型，并建立XOZ平面坐标系；获取样品形貌模型在XOZ平面坐标系的平面轮廓；在平面轮廓上获取多个采样点，并根据多个采样点构成初始点集；根据初始点集得到Z坐标分层值集合；根据Z坐标分层值集合计算理论光谱。本申请的模型理论光谱计算方法通过获取样品形貌模型在XOZ平面坐标系的平面轮廓，并记录平面轮廓中的多个采样点，根据多个采样点构成初始点集，根据初始点集的Z坐标值进行分层，能够在线形发生改变的地方对样品形貌模型进行分层，之后根据分层值进行理论光谱的计算，在保证精度的同时减少片层的划分数量，能够提升理论光谱计算的速度。
一种模型理论光谱计算方法装置

1
2
3
4
5
下一页»
尾页
共 72 条