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[发明专利]用于制造玻璃纤维的漏板及玻璃纤维的制造方法-CN201980054665.1有效
发明人：藤井刚;斋藤真规 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2019-08-15 - 公布日： 2023-09-26 - 主分类号： C03B37/083 文献下载
摘要：本发明的用于制造玻璃纤维的漏板具备底板与多个排列在上述底板上的排出玻璃熔液的喷嘴，其中，上述底板具备水平截面为扁平状的底孔，上述喷嘴具备喷嘴壁与喷嘴孔，所述喷嘴壁沿上述底孔的轮廓从上述底板突出，所述喷嘴孔从上述底孔贯穿至上述喷嘴壁的前端且维持上述底孔的形状，上述喷嘴壁具有没有从上述底板突出的一对缺口，上述一对缺口隔着上述喷嘴孔的长边方向的中心轴相对且相向，上述缺口的宽度为上述喷嘴孔的长边方向的中心轴的长度的10％以上、95％以下。
用于制造玻璃纤维方法

[发明专利]用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法-CN202210718411.9有效
发明人：藤井刚;斋藤真规 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： C03B37/083 文献下载
摘要：本发明涉及用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法。用于制造玻璃纤维的嘴头包括：一对长边壁和一对短边壁，该一对长边壁和一对短边壁由铂或铂合金形成；以及嘴孔，其由所述长边壁和短边壁形成，用来排出玻璃熔体。所述嘴孔具有水平截面为扁平状的孔形状，各长边壁在玻璃熔体的排出侧具有缺口，所述缺口的宽度为所述嘴孔的扁平状的孔形状的长边方向中心轴线的长度的10％～55％，所述一对长边壁是以所述嘴孔的所述中心轴线为对称轴对称的形状。利用该嘴头，能够高效地制造具有期望的截面形状的玻璃纤维。
用于制造玻璃纤维嘴头方法

[发明专利]用于制造玻璃纤维的嘴头和玻璃纤维的制造方法-CN201880014287.X有效
发明人：藤井刚;斋藤真规 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2018-02-23 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C03B37/083 文献下载
摘要：用于制造玻璃纤维的嘴头包括：一对长边壁和一对短边壁，该一对长边壁和一对短边壁由铂或铂合金形成；以及嘴孔，其由所述长边壁和短边壁形成，用来排出玻璃熔体。所述嘴孔具有水平截面为扁平状的孔形状，各长边壁在玻璃熔体的排出侧具有缺口，所述缺口的宽度为所述嘴孔的扁平状的孔形状的长边方向中心轴线的长度的10％～55％，所述一对长边壁是以所述嘴孔的所述中心轴线为对称轴对称的形状。利用该嘴头，能够高效地制造具有期望的截面形状的玻璃纤维。
用于制造玻璃纤维嘴头方法

[发明专利]保护膜形成用化学溶液-CN201611028598.0有效
发明人： 斋藤真规;荒田忍;斋尾崇;公文创一;七井秀寿;赤松佳则 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2010-10-20 - 公布日： 2020-09-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及保护膜形成用化学溶液。本发明公开了一种晶片的拒水性保护膜形成用化学溶液，其特征在于，其为包含拒水性保护膜形成剂的化学溶液，所述拒水性保护膜形成剂用于在表面形成有微细的凹凸图案且该凹凸图案的至少凹部表面的一部分包含选自由钛、氮化钛、钨、铝、铜、锡、氮化钽、钌以及硅组成的组中的至少1种物质的晶片的清洗时至少在前述凹部表面形成拒水性保护膜，该拒水性保护膜形成剂为非水溶性的表面活性剂。利用该化学溶液形成的拒水性保护膜可以防止清洗工序中的晶片的图案倾塌。
保护膜形成化学溶液

[发明专利]导电性无机填料-CN201880025647.6在审
发明人： 斋藤真规;浅川裕也 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2018-02-13 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： H01B5/14 文献下载
摘要：本发明的课题在于，提供一种容易配混至树脂中且树脂的导电性赋予也良好的导电性填料。本发明的导电性填料包含玻璃纤维的粉粒体，前述玻璃纤维在玻璃纤维的长度方向上具备金属覆盖层，前述玻璃纤维具有纤维长度分布，个数基准的累积分布10％处的纤维长度(L10)为20μm～200μm，个数基准的累积分布97％处的纤维长度(L97)为400μm～1000μm，前述玻璃纤维的平均纤维直径为1～40μm。
玻璃纤维导电性填料个数基准纤维树脂纤维长度分布导电性金属覆盖层粉粒体赋予

[发明专利]晶片的清洗方法-CN201480054698.3有效
发明人： 斋藤真规;斋尾崇;公文创一;荒田忍 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2014-09-08 - 公布日： 2018-09-21 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的晶片的清洗方法是表面形成有凹凸图案且该凹凸图案的凹部表面具有钛、钨、铝、铜、锡、钽和钌之中的至少1种元素的晶片的清洗方法，该方法至少具备：前处理工序，在凹凸图案的至少凹部保持清洗液；保护膜形成工序，在上述前处理工序后，在凹凸图案的至少凹部保持保护膜形成用化学溶液；以及干燥工序，通过干燥而从凹凸图案去除液体，上述保护膜形成用化学溶液是包含拒水性保护膜形成剂的化学溶液，所述拒水性保护膜形成剂用于在至少上述凹部表面形成拒水性保护膜，若上述保护膜形成用化学溶液为碱性则上述清洗液为酸性，若上述保护膜形成用化学溶液为酸性则上述清洗液为碱性。
晶片清洗方法

[发明专利]电磁屏蔽性金属被覆玻璃纤维填料、电磁屏蔽性金属被覆玻璃纤维填料的制造方法、以及电磁屏蔽性树脂物品-CN201680063986.4在审
发明人：浅川裕也;斋藤真规 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2016-10-31 - 公布日： 2018-07-31 - 主分类号： C03C25/20 文献下载
摘要：本发明的电磁屏蔽性金属被覆玻璃纤维填料的特征在于，其与树脂复合化来使用，在玻璃纤维的纵长方向上具备金属被覆层，上述金属被覆层由合金构成，所述合金包含由锌组成的第一金属、及由比锌的氧化还原电位小的(即，比锌容易氧化的)金属组成的第二金属，上述第二金属是选自由钡、锶、钙、镁、铍、铝、钛、锆、锰和钽组成的组中的至少1种，上述合金包含50质量％以上的上述第一金属。
金属电磁屏蔽性玻璃纤维填料合金金属被覆层氧化还原电位玻璃纤维金属组成树脂复合树脂物品纵长自由制造

[发明专利]加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法-CN201410214947.2有效
发明人：两川敦;山田周平;藤谷昌弘;桥本阳祐;出田知爱;公文创一;斋藤真规;斋尾崇 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2014-05-20 - 公布日： 2018-03-16 - 主分类号： B65D90/00 文献下载
摘要：本发明提供一种即使在长时间保管保护膜形成用化学溶液、用于配制该化学溶液的保护膜形成用化学溶液组合试剂后，也能够确保该化学溶液或该化学溶液组合试剂等液体的洁净性，且能够抑制该液体的带电的加压输送容器、使用了其的保管方法以及移液方法。一种加压输送容器，其特征在于，其为以保管保护膜形成用化学溶液或保护膜形成用化学溶液组合试剂、且能够通过对内部进行加压来移液的方式构成的加压输送容器，所述保护膜形成用化学溶液用于在表面具有凹凸图案且该凹凸图案的至少一部分包含硅元素的晶圆的该凹凸图案的至少凹部表面形成拒水性保护膜，所述保护膜形成用化学溶液组合试剂通过混合而形成上述保护膜形成用化学溶液。
加压输送容器使用保管方法以及

[发明专利]晶片的清洗方法-CN201180063349.4有效
发明人：公文创一;斋尾崇;荒田忍;斋藤真规;七井秀寿;赤松佳则 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2011-12-20 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：[课题]提供在表面具有凹凸图案的晶片的制造方法中用于改善容易诱发图案倾塌的清洗工序的清洗方法。[解决方法]所述清洗方法是表面具有凹凸图案的晶片的清洗方法，其至少具有以下工序用清洗液(8)清洗上述晶片(1)的工序；用拒水性化学溶液(9)置换在清洗后保持于晶片(1)的凹部(4)的清洗液(8)的工序；干燥晶片(1)的工序，上述清洗液(8)包含80质量%以上的沸点为55～200℃的溶剂，通过使上述置换的工序中供给的拒水性化学溶液(9)的温度为40℃以上且低于该拒水性化学溶液(9)的沸点，从而至少使上述凹部表面拒水化。
晶片清洗方法

[发明专利]保护膜形成用化学溶液-CN201080049331.4有效
发明人： 斋藤真规;荒田忍;斋尾崇;公文创一;七井秀寿;赤松佳则 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2010-10-20 - 公布日： 2016-11-30 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片的拒水性保护膜形成用化学溶液，其特征在于，其为包含拒水性保护膜形成剂的化学溶液，所述拒水性保护膜形成剂用于在表面形成有微细的凹凸图案且该凹凸图案的至少凹部表面的一部分包含选自由钛、氮化钛、钨、铝、铜、锡、氮化钽、钌以及硅组成的组中的至少1种物质的晶片的清洗时至少在前述凹部表面形成拒水性保护膜，该拒水性保护膜形成剂为非水溶性的表面活性剂。利用该化学溶液形成的拒水性保护膜可以防止清洗工序中的晶片的图案倾塌。
保护膜形成化学溶液

[发明专利]保护膜形成用化学溶液-CN201380050128.2在审
发明人：荒田忍;公文创一;斋藤真规;斋尾崇 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2013-09-12 - 公布日： 2015-05-27 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：[课题]本发明提供如下的形成拒水性保护膜的拒水性保护膜形成用化学溶液，该化学溶液用于改善容易诱发表面形成凹凸图案且该凹凸图案的凹部表面具有钛、钨、铝、铜、锡、钽、以及钌中的至少一种元素的晶片(金属系晶片)的图案倒塌的清洗工序。[解决方法]拒水性保护膜形成用化学溶液，其特征在于，所述化学溶液用于在采用仅由质子性极性溶剂构成的冲洗液或以质子性极性溶剂作为主要成分的冲洗液对前述晶片表面进行冲洗处理的冲洗处理工序的前，通过保持在该晶片的至少凹部，从而在至少该凹部表面上形成拒水性保护膜，该化学溶液包含拒水性保护膜形成剂和溶剂，该拒水性保护膜形成剂为下述通式[1]～[3]所示的至少一种化合物。(R3)b(R4)cNH3-b-c[2]；R5(X)d [3]；。
保护膜形成化学溶液

[发明专利]保护膜形成用化学溶液-CN201180064801.9有效
发明人：斋尾崇;公文创一;斋藤真规;荒田忍;七井秀寿;赤松佳则 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2011-12-28 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种形成拒水性保护膜(10)的保护膜形成用化学溶液，其用于改善容易诱发表面形成有凹凸图案且该凹凸图案的凹部(4)表面具有钛、钨、铝、铜、锡、钽和钌中的至少1种元素的晶片(金属系晶片)的图案倾塌的清洗工序。[解决方案]一种拒水性保护膜形成用化学溶液，其特征在于，其为包含下述拒水性保护膜形成剂和溶剂的化学溶液，所述拒水性保护膜形成剂用于在前述金属系晶片的清洗工序之后且干燥工序之前在至少凹部(4)表面形成拒水性保护膜(10)，该拒水性保护膜形成剂为通式[1]表示的化合物。(R¹是一部分或全部氢元素任选被氟元素取代的碳原子数为1～18的1价烃基，R²各自相互独立地是包含一部分或全部氢元素任选被氟元素取代的碳原子数为1～18的烃基的1价有机基团，a是0至2的整数。)
保护膜形成化学溶液

[发明专利]拒水性保护膜形成剂、拒水性保护膜形成用化学溶液和使用该化学溶液的晶片的清洗方法-CN201180032637.3有效
发明人： 斋藤真规;斋尾崇;荒田忍;公文创一;七井秀寿 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2011-06-23 - 公布日： 2013-03-13 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：[课题]本发明涉及在半导体器件制造中防止凹凸图案（2）的至少凹部表面含有含硅元素物质的晶片（1）或者该凹凸图案（2）的至少凹部表面的一部分含有选自由钛、氮化钛、钨、铝、铜、锡、氮化钽和钌组成的组中的至少1种物质的晶片（1)的图案倾塌同时对晶片进行清洗的方法，提供了能够进行有效清洗的拒水性保护膜形成剂和含该形成剂的拒水性保护膜形成用化学溶液以及使用了该化学溶液的晶片的清洗方法。[解决方法]用于在上述晶片的清洗中在前述晶片的至少凹部表面形成拒水性保护膜的拒水性保护膜形成剂，前述形成剂是下述通式[1]所示的硅化合物。R1aSiX4-a[1]
水性保护膜形成化学溶液使用晶片清洗方法

[发明专利]保护膜形成用化学溶液-CN201180028305.8有效
发明人：公文创一;斋尾崇;荒田忍;斋藤真规;两川敦;山田周平;七井秀寿;赤松佳则 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2011-06-03 - 公布日： 2013-02-13 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：公开了一种用于在清洗表面具有微细凹凸图案（2）且该凹凸图案（2）的至少一部分含有硅元素的晶片（1）时在该凹凸图案（2）的至少凹部表面形成拒水性保护膜（10）的化学溶液。该化学溶液包含通式：R1aSi(H)bX4-a-b所示的硅化合物A和酸A，该酸A选自由三氟乙酸三甲基硅酯、三氟甲磺酸三甲基硅酯、三氟乙酸二甲基硅酯、三氟甲磺酸二甲基硅酯、三氟乙酸丁基二甲基硅酯、三氟甲磺酸丁基二甲基硅酯、三氟乙酸己基二甲基硅酯、三氟甲磺酸己基二甲基硅酯、三氟乙酸辛基二甲基硅酯、三氟甲磺酸辛基二甲基硅酯、三氟乙酸癸基二甲基硅酯和三氟甲磺酸癸基二甲基硅酯组成的组中的至少1种。
保护膜形成化学溶液

[发明专利]可手工涂布的溶胶凝胶膜形成用涂布液-CN200880014943.2无效
发明人： 斋藤真规;滨口滋生;公文创一;赤松佳则 -专利权人：中央硝子株式会社
申请日： 2008-04-28 - 公布日： 2010-03-17 - 主分类号： C09D183/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种涂布液，其为用于获得溶胶凝胶膜的涂布液，该涂布液含有固体成分和溶剂，该固体成分具有烷氧基硅烷在酸性水溶液中水解和缩聚而获得的氧化硅低聚物，该溶剂具有沸点为100℃以上且粘度为3.5mPa·s以下的有机溶剂和前述酸性水溶液，其中，前述氧化硅低聚物的聚苯乙烯换算的数均分子量为500～4000，涂布液中的固体成分的含量为8～30重量％，固体成分中的氧化硅低聚物的含量为10重量％以上。通过本发明，即使用手工涂布等无需设备就可涂布的涂布方法，也可获得具有硬度、以透明性为首的外观、透视变形、膜厚等方面优良品质的溶胶凝胶膜。
手工溶胶凝胶形成用涂布液

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