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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]设计布局的失效风险的智能型预诊断系统及方法-CN201710249588.8有效
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2017-04-17 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明公开一种设计布局的失效风险的智能型预诊断系统及方法，本发明的方法是先取得一物体的一设计布局，再于设计布局上划分出至少一布局区域，其中布局区域内具有一布局图案，接着取得多个缺陷，并按照尺寸的大小顺序将多个缺陷逐个与布局图案的一预定部分进行比对，然后根据比对结果判断布局区域的失效风险等级。本发明能快速且准确地预测在线随机缺陷及系统缺陷等是否会在物体上造成错误并影响到物体的良率。
设计布局失效风险智能型诊断系统方法

[发明专利]半导体厂缺陷操作系统及装置-CN201810786547.7有效
发明人：吕一云;蔡瑞圳 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2018-07-17 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：一种半导体厂缺陷操作系统，经由『半导体厂缺陷操作系统』来立即处理多个缺陷数据；接着，进行坐标校正、缺陷尺寸校正及使用关键区域分析来分析，产生致命缺陷数据文件；之后由集成电路设计公司进行故障分析及产生失败致命缺陷数据，以产生新的设计布局图数据；之后，再藉由网络将新的设计布局图数据及失败致命缺陷数据回传至半导体厂，此『半导体厂缺陷操作系统』乃是集成电路设计公司及半导体厂相互付出暨回馈缺陷数据及解决缺陷根本原因，以达到提升良率之目的。
半导体缺陷操作系统装置

[发明专利]智能型坐标转换校正方法-CN202110680060.2在审
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2021-09-07 - 主分类号： G06F30/392 文献下载
摘要：本发明提供一种智能型坐标转换校正方法，其方法包括：接收集成电路设计公司的IC设计布局图数据；通过缺陷检测机台扫描晶圆以取得缺陷扫描数据，并经过数据处理装置将缺陷扫描数据处理成缺陷文字及影像数据文件。将缺陷影像的单位尺寸及设计布局图的单位尺寸调整成一致；执行坐标转换程序，根据缺陷坐标将缺陷影像的图案的缺陷坐标转换至设计布局图中线路的相对坐标作为第一坐标。及执行坐标校正程序，包括手动比对或自动对准缺陷影像的图案与设计布局图的线路、或经由图形用户接口将缺陷影像的位置在设计布局图的线路上相对的位置标示出新坐标作为第二坐标，以取得校正后的坐标偏差量；基于校正后的坐标偏差量将缺陷坐标校正至第二坐标。
智能型坐标转换校正方法

[发明专利]智能型的缺陷校正系统与其实施方法-CN201711086885.1有效
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2017-11-07 - 公布日： 2021-07-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种智能型的半导体缺陷校正的系统与其实施方法，其方法包括：接收制造工厂送出的多个缺陷数据，接收一集成电路设计公司的IC设计布局图数据，并对多个缺陷数据进行缺陷坐标转换校正及缺陷影像校正后，用关键区域分析来分析校正后的缺陷数据及设计布局图形，用以提升关键区域分析的准确度和藉以精准判断各个缺陷影像造成断路或短路型失败的致命缺陷指数；再根据致命缺陷指数及缺陷讯号参数，区分致命缺陷为高风险缺陷、中风险缺陷及低风险缺陷等，达成提升智能型的缺陷校正系统与其实施方法准确度和精准判别致命缺陷之目的。
智能型缺陷校正系统与其实施方法

[发明专利]设计布局为主的快速在线缺陷诊断、分类及取样方法及系统-CN201710651356.5有效
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2017-08-02 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开一种设计布局为主的快速在线缺陷诊断、分类及取样方法及系统，本发明的方法是先取得物体的设计布局图与物体于一重要制程阶段的缺陷数据，再从失效风险预诊断分析数据库中取得与设计布局图相关的一预诊断数据群体，然后根据预诊断数据群体判断缺陷数据的致命缺限指数暨失效风险等级。借此，本发明能提高缺陷检测的效率与准确度。
设计布局为主快速在线缺陷诊断分类取样方法系统

[发明专利]智能型弱点图形诊断方法与系统-CN201410210055.5有效
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2014-05-19 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开一种智能型弱点图形诊断方法与系统。在方法的实施例中，首先从缺陷图形库与高失败频率的缺陷图形库取得弱点图形布局，并通过晶圆缺陷检测工具取得缺陷数据，配合设计布局的取得与执行弱点缺陷图形筛选，可以取得已知或未知的弱点缺陷图形，除了更新弱点图形库外，更能在电子显微镜实际取得的晶圆影像上取得弱点图形轮廓，以利得到真实的系统性弱点图形。
智能型弱点图形诊断方法系统

[发明专利]智能型缺陷诊断方法-CN201210587012.X有效
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种智能型缺陷诊断方法，其使用于一制造工厂，该方法包括：接收至少一缺陷检测仪器所产生的多个缺陷数据，接收一轮廓设计系统产生的多个设计布局图，以及接收该制造工厂所产生的多个制造数据；通过一缺陷分析系统分析该缺陷数据、设计布局图及该制造数据。先分割完整晶片设计布局图成许多设计布局图单元，导入缺陷数据及图形比对分析成为以布局图图形群组(LPG)单元属性的缺陷复合式图形群组，并针对影像图形作影像处理测量及关键区域分析良率，诊断系统缺陷、制造方法缺陷、及缺陷良率。本发明可以快速地监控工厂生产状况，并针对缺陷良率作出正确的除错。
智能型缺陷诊断方法

[发明专利]智能型缺陷良率总览接口系统与方法-CN201210558323.3有效
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2012-12-19 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G06F17/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种智能型缺陷良率总览接口系统与方法，系统设计提出一个网页服务器，服务器用以启动包涵多个功能项目的网页接口，这些功能项目提供用来在接口上点选时启动对应的功能。通过网页接口上的使用者接口，使用者可选择一或多个功能来浏览多种有关晶圆良率的内容，其中系统使用存储器存储电脑可执行指令，可选择性执行对应的功能。当晶圆影像经接口输入系统时，系统可执行一缺陷坐标转换、仪表板总览缺陷过滤、缺陷取样、缺陷产出诊断、良率预测、图形诊断、数据管理与系统管理。通过此接口系统，还提供于晶圆工艺中取得数据的一种全晶片的总览方法。本发明可以通过数据探勘而改善半导体工艺良率。
智能型缺陷总览接口系统方法

[发明专利]缺陷分类法则建立方法、缺陷分类与致命缺陷判断方法-CN201210560801.4有效
发明人：吕一云 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2012-12-19 - 公布日： 2013-07-03 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本发明公开了一种缺陷分类法则建立方法、缺陷分类与致命缺陷判断方法，该缺陷分类法则建立方法，步骤描述如下。将作为例子的具有致命缺陷的多个缺陷分类图像和所有缺陷、图形和背景工艺材料信息输入至制造工具。制造工具取得每一输入图像的缺陷、图形与背景的图像特征、工艺特征与图像关联性(relativity)特征，其中输入的图像包含作为例子的具有致命缺陷的多个缺陷分类图像。根据每一输入图像的缺陷、图形与背景的图像特征、工艺特征与图像关联性特征建立缺陷分类法则。本发明可以把制造效率与产量提高数倍。
缺陷分类法则建立方法致命判断

[发明专利]智能缺陷筛选及取样方法-CN201110069559.6有效
发明人：吕一云;林钦贤 -专利权人： 敖翔科技股份有限公司
申请日： 2011-03-18 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：一种智能缺陷筛选及取样方法，包括预先将一设计布局处理为多个基于布局的图案群，将设计布局划分为多个晶胞，重叠属于同一个图案群的多个晶胞，提取一晶圆上的多个缺陷的多个缺陷数据，映射多个缺陷至重叠的图案群来建立多个基于布局的缺陷合成图案群，对缺陷合成图案群执行布局图案匹配，对每一个缺陷合成图案群执行一些缺陷取样选择法则以判断潜在系统缺陷优先顺序，根据潜在系统缺陷优先顺序将多个缺陷合成图案群分类为不同的缺陷类型，根据缺陷类型来检视不同取样个数的多个缺陷合成图案群以取得一缺陷图像文件，对缺陷图像文件执行缺陷产生率分析以产生缺陷图案数据库或缺陷产生率预测。本发明可增加系统性缺陷的检测率及检视缺陷的效率。
智能缺陷筛选取样方法

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