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[发明专利]一种空间质谱计测量及校准装置-CN202211671588.4有效
发明人：葛金国;张虎忠;姚鹏;马卓娅;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-25 - 公布日： 2023-09-29 - 主分类号： H01J49/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种空间质谱计测量及校准装置，包括高压气瓶、混合腔室以及超高真空腔室，其中：高压气瓶为多个，多个高压气瓶均与混合腔室连接；超高真空腔室包括依次连接的第一超高真空腔室、第二超高真空腔室以及第三超高真空腔室；混合腔室通过微调阀与第二超高真空腔室连通，通过截止阀与第一超高真空腔室连通；第一超高真空腔室的进口设置有脉冲弹簧阀和电离电极；第二超高真空腔室的进口设置有锥形孔，第二超高真空腔室的内部设置有脉冲电极；第三超高真空腔室内部设置有离子检测器。本申请不仅可以实现单一气体平衡态的校准，还可以模拟空间复杂气体的环境，实现分子束流、离子束流的测量与校准。
一种间质测量校准装置

[发明专利]一种多感压膜绝压MEMS电容薄膜真空规-CN202310648235.0在审
发明人：李刚;李得天;成永军;孙雯君;张虎忠;陈会颖;任正宜;赵澜 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种多感压膜绝压MEMS电容薄膜真空规，包括基底玻璃、基底硅、感压薄膜以及上盖玻璃，其中：基底硅设置在基底玻璃与上盖玻璃之间；感压薄膜设置在基底硅上，感压薄膜的下方空间与基底玻璃之间形成测量腔体，感压薄膜的上方空间与上盖玻璃之间形成参考腔体；测量腔体内设置有敏感电容电极和信号引出电极；参考腔体内设置有硅块和吸气剂膜。本申请能够实现10‑2Pa至104Pa范围绝对真空度的测量，测量准确度高、灵敏度高、输出的重复性和长期稳定性好，同时具有体积小、重量轻、功耗低、制作工艺与集成电路兼容，便于集成化批量生产的优点。
一种多感压膜绝压 mems 电容薄膜真空

[发明专利]一种星载热定标源温度标定装置与漂移误差补偿方法-CN202211533827.X在审
发明人：高青松;陶院;张虎忠;景春妍;马动涛;郭朝帽;张富华 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G01J5/80 文献下载
摘要：本申请涉及空间微波遥感技术领域，具体而言，涉及一种星载热定标源温度标定装置与漂移误差补偿方法，所述装置包括铂电阻测温传感器、标准直流多值电阻箱、高低温试验箱、供电电源以及专测设备，其中：标准直流多值电阻箱用于模拟铂电阻测温传感器对应分度表中的多档位输出电阻值；高低温试验箱内部的试验箱平台上设置有热定标源控制器；热定标源控制器通过信号传输电缆组件分别与标准直流多值电阻箱、供电电源以及专测设备连接。本申请采用优化的输入输出系统标定法，在不考虑铂电阻传感器测温电路或测温系统的具体内部形式的条件下，完成温度模拟量信号到温度数字量的转换与标定。
一种星载热定标温度标定装置漂移误差补偿方法

[发明专利]一种小型高性能空间探测质谱计-CN201911358714.9有效
发明人：李得天;董猛;成永军;裴晓强;习振华;张虎忠;马亚芳;刘珈彤 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2019-12-25 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： H01J49/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种小型高性能空间探测质谱计，包括离子源、电场分析器、磁场分析器和离子流检测器；电场分析器产生的电场和磁场分析器产生的磁场相互正交嵌套；其中，电场分析器产生1/4圆环形的电场，电场方向为径向，磁场力FB是电场力FE的2倍，离子源出口至电场入口的距离l0，电场出口至离子流检测器的距离l1，l0＝l1，且等于离子束偏转半径r的0.35倍；本发明能够在改善质谱计性能的同时实现质谱计的小型化。
一种小型性能空间探测质谱计

[发明专利]一种储存式离子源-CN202011478875.4有效
发明人： 张虎忠;李得天;成永军;习振华;裴晓强;董猛;侯颖杰;魏建平;范栋;陈会颖;郭睿 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01J27/02 文献下载
摘要：本申请涉及真空电子学技术领域，具体而言，涉及一种储存式离子源，包括阴极、电子聚焦系统、电离室以及电子收集极，其中：电子聚焦系统设置在阴极的上方，阴极产生的电子通过电子聚焦系统形成电子束流；电离室设置在电子聚焦系统与电子收集极之间，电离室的两侧设置有栅网，电离室与栅网之间形成均匀电场；电子束流通过均匀电场电离后，被电子收集极接收。本申请利用电子的空间电荷效应囚禁储存离子，使得离子的初始状态具有良好一致性，在引出离子源时，离子束的稳定性和均匀性得到很大提升。
一种储存离子源

[发明专利]一种高分辨小型化同位素质谱计-CN202211533740.2在审
发明人：郭美如;李得天;李文峰;杨喆;任正宜;张虎忠;成永军 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： H01J49/28 文献下载
摘要：本申请涉及仪器仪表技术领域，具体而言，涉及一种高分辨小型化同位素质谱计，包括离子源、电分析器、磁分析器以及离子检测器，其中：离子源为基于对称磁场和双灯丝结构的电子碰撞型电离源；电分析器由两个同轴圆筒形电极组成；磁分析器的磁场结构为直射非对称扇型磁场；电分析器和磁分析器采用反向串接的组合方式；离子检测器采用微通道板+荧光屏成像的方式。本申请的电分析器和磁分析器采用反向串接的方式，能够使得磁场和电场产生的能量色散相互抵消，从而使得磁偏转质谱计实现能量和方向双重聚焦，提高其分辨率，磁分析器的磁场采用直射非对称的扇形结构，使得结构较为紧凑，有效减少了仪器的质量和体积。
一种分辨小型化同位素质

[发明专利]一种复合式MEMS真空规及其制作方法-CN202211662335.0在审
发明人：李刚;李得天;张虎忠;成永军;孙雯君;郭美如;任正宜;葛金国;赵澜;陈会颖 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-24 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： G01L21/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计量技术领域，具体而言，涉及一种复合式MEMS真空规及其制作方法，所示真空规包括MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规，其中：电容薄膜真空规和皮拉尼真空规设置在同一硅基底上；电容薄膜真空规包括真空参考腔和电容间隙，真空参考腔与电容间隙之间的硅基底上设置有感压薄膜，电容间隙内设置有固定电极；皮拉尼真空规包括承载膜、压敏电阻、引出电极以及参考电阻，承载膜设置在硅基底上，下方设置有腔体，压敏电阻设置在承载膜上，引出电极和参考电阻均设置在硅基底上，压敏电阻和参考电阻均与引出电极连接。本申请结合MEMS电容薄膜真空规和MEMS皮拉尼真空规，采用一个传感器就可以同时精确测量待测气体的真空压力和待测气体的种类。
一种复合 mems 真空及其制作方法

[发明专利]一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法-CN202011468250.X有效
发明人：董猛;成永军;习振华;贾文杰;孙雯君;张虎忠;马亚芳;刘珈彤;杨利 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2020-12-14 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用超冷原子测量超高或极高真空的装置及检测方法。利用第一性原理等物质的本征物理特性及定义出发，利用基于量子理论的中性气体－超冷原子碰撞理论能够实现超高或极高真空的绝对测量，使其成为具有自校准特性的超高或极高真空测量量子基准，不需要和其它标准进行比对校准，而且测量下限不受限制，可以实现10－9Pa及以下的宇宙空间极高真空精确测量。
一种利用原子测量超高极高真空装置检测方法

[发明专利]一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法-CN202211533739.X在审
发明人：习振华;郭美如;李博文;成永军;赵蕾;贾文杰;任正宜;张虎忠;李刚 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计校准技术领域，具体而言，涉及一种磁悬浮转子真空计校准装置及方法，所述装置包括校准室、前级压力室、真空泵组以及气瓶，其中：校准室上设置有参考标准真空计和待校准磁悬浮转子真空计；前级压力室上设置有前级标准真空计；气瓶与前级压力室连接，前级压力室与校准室连接；真空泵组分别与前级压力室和校准室连接。本申请以切向动量传递系数的压力相关特性表征磁悬浮转子真空计校准结果，通过3个压力点即可实现全量程的校准，并有效解决了现有校准装置无法反应压力相关特性、校准效率低、校准结果缺乏可实操性的问题。
一种磁悬浮转子真空计校准装置方法

[发明专利]一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计-CN202211670229.7在审
发明人： 张虎忠;李得天;成永军;李刚;马卓娅;葛金国;姚鹏 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-25 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01L21/30 文献下载
摘要：一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种基于点状碳纳米管阴极的电离真空计，包括依次连接的阴极、引出极、聚集系统、电离室、电子收集极以及偏转极，其中：阴极作为场发射电子源，选用生长在不锈钢衬底上的碳纳米管阵列；引出极是中心为栅网的孔板结构；聚集系统包括依次连接的第一透镜、聚集极以及第二透镜；电离室的内部设置有离子收集极；阴极、引出极以及聚集系统设置在电离室的前端，电子收集极以及偏转极设置在电离室的后端。本申请通过控制电子的运动轨迹，实现了电离真空计灵敏度的稳定可靠，通过结构设计实现了电子和离子的空间分离，抑制了电子撞击电子收集极产生的二次电子和X射线对测量的影响。
一种基于点状碳纳米阴极电离真空计

[发明专利]一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法-CN202211533826.5在审
发明人：孙雯君;丁栋;裴晓强;成永军;李刚;董猛;张虎忠;张瑞芳 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2022-12-01 - 公布日： 2023-03-17 - 主分类号： G01M3/20 文献下载
摘要：本申请涉及测量仪器检漏技术领域，具体而言，涉及一种用于电容薄膜真空计零部件的快速检漏装置及方法，所述装置包括伺服机构、密封夹具、氦质谱检漏仪以及标准漏孔，其中：密封夹具设置多个，每个密封夹具内部设置一种电容薄膜真空计的零部件；每个密封夹具的一端通过电磁阀与伺服机构连接，另一端通过电磁阀和波纹管与氦质谱检漏仪连接；标准漏孔通过第一手动截止阀与氦质谱检漏仪连接。本申请伺服机构按照智能化设计，各部件具有自适应功能，各设定参数均通过多次试验获得，可靠性较高，通过伺服机构的操控实现密封夹具对零部件的锁紧和密封，避免了密封不严和漏气现象，避免了检漏过程中人工安装检漏工装的返工现象，极大地提高了检漏效率。
一种用于电容薄膜真空计零部件快速检漏装置方法

[发明专利]一种上升速率法真空计校准装置及方法-CN202111557939.4在审
发明人：习振华;郭美如;贾文杰;范栋;李刚;张虎忠;任正宜 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本申请涉及真空计校准技术领域，具体而言，涉及一种上升速率法真空计校准装置及方法，所述装置包括气瓶、充气室、一级校准室、二级校准室以及真空泵组，其中：气瓶通过管道与充气室连接；充气室通过管道和第一流导元件与一级校准室连接；一级校准室通过管道和第二流导元件与二级校准室连接；真空泵组通过管道分别与充气室、一级校准室以及二级校准室连接。本申请可实现真空计时域范围内不间断的连续校准，提供了更加完整的计量特性表征方式；避免了已有真空校准装置所用方法对前级压力、真空室容积、管路流导等参数绝对值的测量，减小了校准结果的测量不确定度。
一种上升速率真空计校准装置方法

[发明专利]一种宽量程电离真空计规管-CN202111472942.6在审
发明人： 张虎忠;李得天;成永军;孙雯君;葛金国;孙冬花;姚鹏;魏建平;习振华;杨利 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01L21/32 文献下载
摘要：本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种宽量程电离真空计规管，包括阴极、阳极、收集极、以及法兰组件，其中：阴极为侧置式阴极，位于阳极侧面；阳极为笼式半封闭栅网，收集极为细丝状收集极；阴极发射的电子经栅网进入栅网内部，在栅网内部多次振荡后，被收集极接收；法兰组件为宽量程电离真空计规管的真空系统的机械接口。本申请的宽量程电离真空计规管，既能够抑制电极漏放气的影响，还能具有较高灵敏度。
一种量程电离真空计

[发明专利]一种真空计控制系统-CN202111472284.0在审
发明人： 张虎忠;葛金国;成永军;孙雯君;魏建平;姚鹏;孙冬花;李刚;董猛;高洁 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G05B19/042 文献下载
摘要：本申请涉及真空测量技术领域，具体而言，涉及一种真空计控制系统，包括高压电源模块、微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面，其中：高压电源模块与微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面分别连接，为微弱离子流检测模块、控制板、以及人机交互界面供电；高压电源模块与控制板之间、微弱离子流检测模块与控制板之间、控制面板与人机交互界面之间分别通讯，进行信息交互。本申请的真空计控制系统，电压电流输出控制精度高、灯丝发射控制精确高、微弱电流采集精度高，真正实现10‑9Pa的测量下限，满足不同电离真空计的控制要求。
一种真空计控制系统

[发明专利]一种基于电子轨迹积分法的电离规灵敏度数值计算方法-CN202110761560.9在审
发明人： 张虎忠;成永军;孙雯君;魏建平;贾文杰;孙冬花;吴成耀 -专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于电子轨迹积分法的电离规灵敏度数值计算方法，构建电离规三维结构模型，利用有限元方法对所述模型进行有限元划分，确定边界条件后，通过求解泊松方程计算所述模型的空间电磁场分布，然后利用四阶龙格库塔法计算电磁场空间的电子运动轨迹和离子运动轨迹，根据离子运动轨迹，统计分析获得有效电离区域，从而计算得到分布于有效电离区域中的有效电子轨迹，最后将有效电子轨迹微分为若干段，计算每段长度及与之对应的电离截面，再根据灵敏度物理定义，积分计算获得灵敏度数值；本发明能够实现电离规高精度灵敏度数值计算。
一种基于电子轨迹积分电离灵敏度数值计算方法

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