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[发明专利]一种全自动上下料系统及划片机-CN202311170713.8在审
发明人： 廖招军;张智广;征建高;王春萍 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2023-09-12 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本申请公开了一种全自动上下料系统及划片机，包括：用于料盒上下定位的料盒平台，所述料盒平台上设置有料盒上料区和料盒下料区；用于放置料盒以及基板排位的周转平台，所述周转平台上设置有用于基板排位的料盘，所述料盘的一侧设置有料盒工作槽，所述料盒工作槽的一侧设置有驱动料盒升降的升降组件和驱动基板进出所述料盘和料盒的基板上下组件；设于所述料盒平台和所述周转平台之间的搬运模组，所述搬运模组上设置有料盒搬运机械手和基板搬运吸盘组件。本申请的系统不仅可用于料盒的搬运，而且可用于料盒中的基板进行上下料以及排位，使划片机一次能够加工多个基板，从而提升基板的上下效率，以及降低人力和物力，大大提高了划片机的加工效率。
一种全自动上下系统划片

[发明专利]miniLED划片机-CN202311170664.8在审
发明人： 廖招军;张智广;征建高;王春萍 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2023-09-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本申请公开了miniLED划片机，包括床身以及设于所述床身用于固定基板工作盘的旋转工作台和划切主轴，所述划切主轴设于所述旋转工作台的上方、并通过升降驱动模组和横向驱动模组与所述床身连接，所述床身上设置有连接所述旋转工作台的纵向驱动模组，所述纵向驱动模组的一侧设置有料盒上料平台，另一侧设置有基板周转平台，所述基板周转平台和所述料盒上料平台之间设置有搬运模组，所述搬运模组上设置有基板搬运吸盘机械手和料盒搬运机械手。本发明采用双主轴、多工位全自动上料划切，不仅能够有效提高基板的划切效率，而且能够提高基板上下料的效率，从而大大提高了划片机加工基板的效率。
miniled 划片

[外观设计]半导体切割测试分选一体机（TSD+TVP）-CN202230848662.X有效
发明人： 廖招军;李旺军;张智广 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-12-20 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： 15-09 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：半导体切割测试分选一体机（TSD+TVP）。2.本外观设计产品的用途：用于半导体晶圆的切割、测试和分选。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图。
半导体切割测试分选一体机 tsd tvp

[发明专利]切割分选上料机-CN202310672915.6在审
发明人： 廖招军;张智广;李旺军;吴鹏飞 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2023-06-08 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B28D7/04 文献下载
摘要：本申请公开了切割分选上料机，包括划片机和分选机，其特征在于，所述划片机的一侧设置有料片对中机构，另一侧设置有料片清洗机构，所述料片对中机构和所述料片清洗机构的上方设置有横向上料装置，所述横向上料装置的一端与所述分选机连接，另一端与所述料片对中机构一侧设置的料盒自动上料机构连接。本申请通过设计的横向上料装置将分选机和划片机连接在一起，使其能够实现划切和分选一体，不仅能够有效减少人工的搬运，而且能够有效提升工作的效率。
切割分选上料机

[实用新型]一种划片机的底座结构-CN202222848399.1有效
发明人： 廖招军;李旺军;张智广;吴鹏飞 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B28D7/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种划片机的底座结构，包括底座本体，所述底座本体包括：T型大理石平台以及设于所述T型大理石平台上的T型避让槽，所述T型避让槽上设置有基座，所述基座上设置有安装直线驱动组件的第一装配槽，所述第一装配槽的两侧设置有安装直线导轨的限位块，所述限位块背离所述第一装配槽的一侧设置有与所述基座连接的装配避让槽和直线导轨锁紧孔以及直线导轨定位孔。本申请的底座本体采用大理石材质，不仅质量轻、便于搬运、不易生锈，而且便于表面精密磨削、抛光，以及便于直线导轨和直线驱动组件的安装固定。
一种划片底座结构

[实用新型]一种划片机基片上料机构及划片机-CN202223088810.6有效
发明人： 廖招军;李旺军;张智广;吴鹏飞;徐伟 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本申请公开了一种划片机基片上料机构及划片机，包括：用于提供水平移动驱动力的第一驱动件；设于所述第一驱动件、并用于提供竖直移动驱动力的第二驱动件，所述第二驱动件受所述第一驱动件所提供的水平移动驱动力进行水平移动；设于所述第二驱动件底部、并用于抓取基片的吸盘组件，所述吸盘组件受所述第一驱动件和所述第二驱动件所提供的驱动力进行水平移动和竖直移动；以及，设于所述吸盘组件一侧、并用于夹取基片的夹持组件。本申请通过驱动夹持组件进行水平移动，以移动到一侧的上料匣中去夹持基片，并在反向作用力下将夹持的基片移动到一侧的基片对中机构上，然后，由吸盘组件将对中机构上的基片放置到划片机工作台上。
一种划片机基片上料机构

[实用新型]一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机-CN202223058123.X有效
发明人： 廖招军;李旺军;张智广;吴鹏飞;徐伟 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本申请公开了一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机，包括：用于提供水平夹持驱动力的第一驱动件，所述第一驱动件的一侧设置有感应料片的第一感应开关；用于提供旋转驱动力的第二驱动件，所述第二驱动件的输出轴上安装有与所述第一驱动件连接的支撑组件，所述支撑组件受所述第二驱动件所提供的旋转驱动力带动所述第一驱动件翻转；以及，用于检测所述支撑组件正向或反向旋转的检测组件。本申请中的第一驱动件不仅可用于在料匣中夹持料片，而且能够在第一感应开关的作用下防止第一驱动件夹空，并且能够在第二驱动件的作用下进行翻转，以防止真空吸盘抓取料片时第一驱动件与料匣或对中机构进行碰撞，以保护第一驱动件。
一种划片机上料夹持机构机上料机

[实用新型]一种用于划片机主轴防护箱的导风管-CN202222848330.9有效
发明人： 廖招军;李旺军;张智广;罗淦;吴鹏飞 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种用于划片机主轴防护箱的导风管，包括导风管本体，所述导风管本体包括设于划片机横梁下侧的横向风管，所述横向风管的一端封闭，另一端连接有纵向风管，所述纵向风管背离所述横向风管的一端封闭，且封闭端的一侧设置有风管，所述风管上设置有与所述纵向风管和所述横向风管内部通道连接的风口，所述横向风管位于划片主轴防护箱的一侧开设有风孔，所述风孔与所述横向风管内的通道连接。本申请的导风管本体能够将气体引导到主轴防护箱内以形成气墙吹散内部的水雾，以便于查看主轴防护箱内主轴划片的情况。
一种用于划片机主防护风管

[实用新型]一种转台限位机构、划片机转台及划片机-CN202222182215.2有效
发明人： 廖招军;于飞;张智广;李旺军 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-08-19 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种转台限位机构，包括限位机构，所述限位机构包括：设于转台下侧、并随转台一起正向或反向旋转的限位块以及设于转台底部装配座一侧的检测组件，所述检测组件包括固定于装配座上的底座以及设于所述底座上的直线导轨和感应开关，所述感应开关设于所述直线导轨的两侧，所述直线导轨上滑动连接有驱动件，所述驱动件受所述限位块正向或反向旋转时所产生的推力、在所述直线导轨上进行来回滑动、并与所述直线导轨两侧的感应开关连接，由两侧所述感应开关实现对转台正向或反向旋转的检测。本申请中的转台限位机构可用于转台正向或反向旋转的限位，以防止转台内的线束和管道缠绕拉扯导致损坏，从而保护线束和管道，以提升转台的使用寿命。
一种转台限位机构划片

[实用新型]一种双轴高效率检测半导体划片机-CN202222391262.8有效
发明人： 廖招军;李旺军;张智广;请求不公布姓名 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-09-09 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B07C5/342 文献下载
摘要：本申请公开了一种双轴高效率检测半导体划片机，包括上料机构、进料机构、CCD视觉对位系统、双轴划片机构、AOI检测系统和下料机构，其中：所述上料机构包括上料机械手以及设于所述上料机械手、并用于抓取工件的上料吸盘组件，所述上料吸盘组件受所述上料机械手所提供的驱动力将待加工的工件抓取到进料机构；所述进料机构包括用于旋转、并承载工件的工作台，设于所述工作台底部、并用于将所述工作台以及工作台上的工件送入到CCD视觉对位系统、双轴划片机构、AOI检测系统和下料机构的X轴直线电机模组。本申请的双轴高效率半导体加工划片机不仅提高了划片机的移动效率以及划片精度，而且也同时提高了划片机的使用寿命。
一种高效率检测半导体划片

[实用新型]一种划片机主轴划片防护箱-CN202222848396.8有效
发明人： 廖招军;李旺军;张智广;吴鹏飞 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-10-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种划片机主轴划片防护箱，包括防护箱本体，所述防护箱本体包括框架以及设于所述框架下方两侧的防护罩，所述防护罩的一侧设置有与所述框架连接的防护板，两侧所述防护板之间设置有透明的视窗，所述视窗的下侧设置有风刀，所述框架的两侧设置有与主轴驱动杆连接的推板，两侧所述推板之间设置有第一风琴防护罩，所述推板背离所述第一风琴防护罩的一侧设置有与所述框架端面连接的第二风琴防护罩。本申请的防护箱能够防止切割时所产生的水雾进入到防护罩的上方，以保护防护罩上方的电子元件和线材，风刀的设计可用于清理透明视窗，减少视窗上的水雾形成，以便于通过视窗查看加工的产品。
一种划片机主防护

[实用新型]一种用于划片机的视觉检测机构-CN202221958951.6有效
发明人：于飞;廖海燕;廖招军;张智广;李旺军 -专利权人：深圳特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-07-28 - 公布日： 2023-03-24 - 主分类号： G01N21/95 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于划片机的视觉检测机构，包括连接于Y轴装配座的视觉检测机构，所述视觉检测机构包括：连接于所述Y轴装配座一侧的连接件；设于所述连接件背离所述Y轴装配座一侧的装配座和支撑座，所述支撑座背离所述连接件的一侧设置有与横向直线导轨滑动连接的滑块。本申请通过设置的滑块与划片机上的横向直线导轨进行滑动连接，使其视觉检测机构在Y轴驱动组件的驱动下能够平稳的移动，减少视觉检测机构的晃动，从而便于视觉检测机构中的相机快速精确的检测产品，而设置的遮挡板在驱动件的作用下可根据需要打开防护罩中的透光孔，用于检测产品以及划切时保护CCD相机组件，减少CCD相机组件的损坏。
一种用于划片视觉检测机构

[发明专利]一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机-CN202211442394.7在审
发明人： 廖招军;李旺军;张智广;吴鹏飞;徐伟 -专利权人：苏州特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-11-18 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B65G47/91 文献下载
摘要：本申请公开了一种划片机上料夹持机构、划片机上料机及划片机，包括：用于提供水平夹持驱动力的第一驱动件，所述第一驱动件的一侧设置有感应料片的第一感应开关；用于提供旋转驱动力的第二驱动件，所述第二驱动件的输出轴上安装有与所述第一驱动件连接的支撑组件，所述支撑组件受所述第二驱动件所提供的旋转驱动力带动所述第一驱动件翻转；以及，用于检测所述支撑组件正向或反向旋转的检测组件。本申请中的第一驱动件不仅可用于在料匣中夹持料片，而且能够在第一感应开关的作用下防止第一驱动件夹空，并且能够在第二驱动件的作用下进行翻转，以防止真空吸盘抓取料片时第一驱动件与料匣或对中机构进行碰撞，以保护第一驱动件。
一种划片机上料夹持机构机上料机

[发明专利]适用于机群式分布的自动化划片机-CN202210042973.6有效
发明人：于飞;廖海燕;张智广;廖招军;吴鹏飞;陈浩 -专利权人：深圳特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-01-14 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B24B27/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于机群式分布的自动化划片机，包括机台，机台上依次设有上下料机构、划片机构及载片平台，载片平台能在移动机构作用下在上下料机构、划片机构之间往复移动。上下料机构包括上下料工位、理料工位、移料组件，上下料工位、理料工位分设在载片平台的两侧，移料组件用以在上下料工位、理料工位、载片平台之间取放工件。划片机构包括能相向或背向移动的两组升降主轴划片组件，两组升降主轴划片组件能同时对位于载片平台上的工件进行划片切割。本发明的自动化划片机在实现自动上下料功能的同时，能对工件进行高精度定位，而且能有效提高加工效率。
适用于机群分布自动化划片

[实用新型]一种划片机真空固定盘-CN202222047214.7有效
发明人：于飞;廖海燕;张智广;廖招军;李旺军 -专利权人：深圳特斯特半导体设备有限公司
申请日： 2022-08-05 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请公开了一种划片机真空固定盘，包括固定盘本体，所述固定盘本体包括：不锈钢圆盘，所述不锈钢圆盘的顶面设置有圆形的装配槽，所述装配槽的四周设置有环形密封槽和第一环形定位槽，所述第一环形定位槽设于所述环形密封槽和所述装配槽之间，且所述第一环形定位槽内设置有螺丝装配孔和真空吸气孔，所述真空吸气孔与所述不锈钢圆盘内设置的气体通道连接。本申请的固定盘本体不仅能够通过设置的装配槽和第一环形定位槽与陶瓷吸盘的底面进行连接定位，而且能够通过真空抽气的方法将陶瓷吸盘吸附在固定盘本体，使吸附在固定盘本体上的陶瓷吸盘不易移动，并且能够在关闭真空抽气时更换陶瓷吸盘，从而有助于陶瓷吸盘的拆换。
一种划片真空固定

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