|
钻瓜专利网为您找到相关结果 11个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]液体喷头及液体喷射装置-CN200910164626.5有效
-
大桥幸司;岩下节也;大泽荣治
-
精工爱普生株式会社
-
2009-07-23
-
2010-01-27
-
B41J2/14
- 本发明提供能够良好印刷、蚀刻特性优异的液体喷头及其制造方法。液体喷头(50)包括:具有压力室(521)的压力室基板(52);设置在所述压力室基板一侧的振动板(55);设置在所述振动板的上方且与所述压力室对应的位置的压电元件(54);设置在所述压力室基板的另一侧并具有与所述压力室连通的喷嘴孔的喷嘴板(51)。所述压电元件具有:下部电极(4)、形成在所述下部电极的上方的取向层(7)、形成在所述取向层上方的压电体层(5)、形成在所述压电体层的上方的上部电极(6)。所述取向层(7)包括镍酸镧的混晶,所述混晶所含的镍酸镧用式LaxNiyOz表示时,x是1至3中的任一个整数,y是1或2,且z是2至7中的任一个整数。
- 液体喷头喷射装置
- [发明专利]压电致动器及液体喷头-CN03801388.6有效
-
樋口天光;岩下节也;角浩二;村井正己
-
精工爱普生株式会社
-
2003-05-15
-
2005-02-09
-
H01L41/083
- 本发明公开了一种压电致动器,具有在将(100)取向的钌酸锶用作下部电极时最合适的层结构。该压电致动器包括:振动板(30),所述振动板(30)由在(100)-Si衬底(20)上外延生长的具有(100)取向的氧化钇稳定的氧化锆、CeO2或ZrO2构成;具有(001)取向的REBa2Cu3Ox的缓冲层(41),所述缓冲层(41)形成在所述振动板(30)上;下部电极(42),所述下部(42)电极形成在所述缓冲层上,且包括(100)取向的钌酸锶;压电层(43),所述压电层(43)形成在所述下部电极(42)上,且由(100)取向的PZT构成;以及形成在所述压电层上的上部电极(44)。
- 压电致动器液体喷头
- [发明专利]电子装置用衬底,电子装置用衬底的制造方法,及电子装置-CN02153623.6无效
-
樋口天光;岩下节也;宫泽弘
-
精工爱普生株式会社
-
2002-11-27
-
2003-06-04
-
H01L21/00
- 本发明涉及一种用于电子装置的衬底,该电子装置包括由立方晶体(100)取向或伪立方晶体(100)取向并利用外延生长形成包含具有钙钛矿结构的金属氧化物的导电氧化物层衬底,本发明还提供一种具有用于该电子装置的衬底的电子装置。图1所示的电子装置用衬底(100)包括Si衬底(11);在Si衬底(11)上利用外延生长形成包含具有NaCl结构的金属氧化物的缓冲层(12);在缓冲层(12)上用立方晶体(100)取向或伪立方晶体(100)取向外延生长形成的含有钙钛矿结构的金属氧化物的导电氧化物层(13)。优选的是,Si衬底(11)是不除去自然氧化膜(100)衬底或(110)衬底。并且,缓冲层(12)的平均厚度等于或小于10nm。
- 电子装置衬底制造方法
|