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[发明专利]自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法-CN201310559783.2有效
发明人： 周瑜升;朱光;王中林 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2013-11-12 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： G01D5/14 文献下载
摘要：本发明提供一种自驱动位移与速度传感方法、传感器以及传感器的制备方法。传感器包括两个相对滑动的部件，各部件均包括基底、栅格结构、导电层以及摩擦层。工作时，被测物体与其中一个部件固定，两个部件在摩擦层接触，表面由于接触起电效应发生电荷转移，被测物体的位移带动两摩擦层发生相对位移致使周围电场发生变化，两个导电层之间产生电势差并且周期性变化。通过测量导电层之间电压变化的周期数和实时电压值，被测物体的位移可以被精确测量。另外，通过测量两个导电层之间的短路电流，器件还可以探测被测物体的速度。本发明不需要电源驱动，因此实现了无功耗、大范围、高可靠性的高精度位移与速度传感。
驱动位移速度传感方法传感器制作方法

[发明专利]一种组合式三维高速扫描装置-CN200910085101.2无效
发明人： 周瑜升;商广义;蔡微;姚骏恩 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2009-05-31 - 公布日： 2009-11-11 - 主分类号： G01N13/10 文献下载
摘要：本发明公开了一种组合式三维高速扫描装置，该装置主要包括三维扫描器和高速一维扫描器，当样品台固定在高速一维扫描器上时，所述的高速一维扫描器通过固定底座安装在三维扫描器上，高速一维扫描器带动样品台与三维扫描器一起实现三维高速扫描；当样品台固定在三维扫描器上时，所述的高速一维扫描器固定在探针固定架上，高速一维扫描器带动探针与三维扫描器一起实现三维高速扫描。本发明具有扫描速度非常高(视频扫描速度)、扫描范围大，结构简单，使用简便、成本低廉；抗干扰能力强，能够很好地实现SPM高速成像。
一种组合式三维高速扫描装置