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[发明专利]一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组-CN201710312956.9有效
发明人：靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2023-02-28 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组，包括料座上料机构及晶棒上料机构，用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机械手、进料端与粘棒机出料端对应，出料端位于拆分机械手下方的预固化流水线及进料端与拆分机械手对接的数字固化库。本发明创造所述的粘棒机组实现了粘棒工序的自动化、少人化，降低了工人劳动强度的同时生产效率有了极大的提高。
一种用于粘接晶棒全自动机组

[发明专利]一种脱胶机自动下料装置-CN201610765644.9有效
发明人：张学强;靳立辉;杨明;崔振强;赵晓光;侯景洋;高翔 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-01-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种脱胶机自动下料装置，包括支撑架，所述支撑架上设置有横向线性模组，所述横向线性模组的滑块与纵向线性模组相连，所述纵向线性模组的滑块上连接有安装架，所述安装架上安装有机械手；所述支撑架下方设置有输送线A，所述输送线A处设置有传感器，所述输送线A一端设置有输送线B，所述输送线A另一端设置有输送线C；所述输送线B的外侧设置有料座AGV小车，所述输送线C的外侧设置有治具AGV小车。本发明所述的脱胶机自动下料装置结构设计合理，机械手可同时兼具料座和治具的抓取，无需更换工装，输送线可实现料座和治具的自动分离，实现物料自动搬运，可实现一人操作多台下料装置，有效提高了生产效率。
一种脱胶自动装置

[发明专利]一种电泳装置-CN201610211124.3有效
发明人：靳立辉;王国瑞;张雪囡;贾弘源;赵晓光;白聪轩 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2016-04-06 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： C25D13/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种电泳装置，包括主体框架，所述主体框架内部底端设置有底座，所述底座上端设置有若干个超声槽；所述机械传动装置包括设置于所述超声槽外部的提升基板，所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆，所述导向杆的上端固定在提升架载板的底面上，所述提升架载板靠近超声槽一端的侧面上设有沿所述超声槽方向延伸的提升支架，所述主体框架前端面的超声槽位置通过活动门来开启和关闭。本发明所述的电泳装置增加了消防装置和活动门，通过测温传感器和丙酮浓度检测装置实时监测，预防消除火灾隐患，且在消防装置启动前可自动关闭活动门，使设备内部封闭，防止消防装置动作对人造成伤害。
一种电泳装置

[实用新型]一种拆解单晶的拆分机械手-CN201720348980.3有效
发明人：靳立辉;张学强;崔振强;王国瑞;陈志达 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： B25J15/00 文献下载
摘要：本实用新型创造提供了一种拆解单晶的拆分机械手，包括架体、水平移动机构及升降抓取机构，所述的拆分机械手的手爪可以在横、纵、竖直三个方向上进行移动，同时手爪设有在横、纵两个方向上可自由伸缩的夹爪，能够精确稳固的抓取粘接有单晶的工装，受力更加均匀，安全可靠的完成搬运及拆解工作，能够替代人工操作，生产效率高、自动化程度高、有效避免产品磕碰。
一种拆解拆分机械手

[实用新型]一种用于直拉炉的锥形水冷套装置-CN201720494460.3有效
发明人：靳立辉;姚长娟;刘旭光 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2018-02-23 - 主分类号： F27D9/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，包括管路和锥形水冷套,所述锥形水冷套为内部中空的双层封闭结构，外壁和内壁之间的空腔形成一环形水道，所述锥形水冷套上端设有分别与所述环形水道连通的锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口，所述锥形水冷套进水口和锥形水冷套出水口分别与管路连接。本实用新型所述的一种用于直拉炉的锥形水冷套装置，能够深入导流筒内部，增加单位高度内的水流面积，增强冷却效果，加快提拉速度，最终提高产品的生产效率。
一种用于直拉炉锥形水冷装置

[实用新型]一种用于粘棒机组的自动翻转机-CN201720348979.0有效
发明人：崔振强;张学强;靳立辉;王国瑞;陈志达 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-04-05 - 公布日： 2018-01-12 - 主分类号： B65G47/248 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种用于粘棒机组的自动翻转机，包括架体，所述架体两侧对称设置有第一平台与第二平台，位于第一平台和第二平台之间的架体上设有升降平移机构，所述升降平移机构包括传送皮带和位于传送皮带下方的支撑板，所述支撑板下端通过安装板固定连接有多个导柱，所述导柱竖直向下穿过位于支撑板下方的第三基板，且导柱与第三基板通过直线轴承连接，所述支撑板下端还通过气缸安装板固定连接有第四气缸，所述第四气缸通过浮动接头与位于其下方的第三气缸连接。本实用新型所述的本实用新型所述的一种用于粘棒机组的自动翻转机能够取代员工的操作，实现自动上料、自动翻转、自动下料的工业流程，极大的提高了工作效率。
一种用于机组自动转机

[实用新型]一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组-CN201720494513.1有效
发明人：靳立辉;张学强;王国瑞;崔振强;陈志达;姚长娟;渠丽岩;杨海亮;杨明;丁吉祥;张华帅;赵晓光;尹擎 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2017-12-12 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型创造提供了一种用于粘接晶棒的全自动粘棒机组，包括料座上料机构及晶棒上料机构，用于抓取料座上料机构提供的料座的拆分机械手、两端分别与拆分机械手及晶棒上料机构对接的治具回流线、粘棒机、滑动轨道设于粘棒机进料端上方和晶棒上料机构上方的桁架机械手、进料端与粘棒机出料端对应，出料端位于拆分机械手下方的预固化流水线及进料端与拆分机械手对接的数字固化库。本实用新型创造所述的粘棒机组实现了粘棒工序的自动化、少人化，降低了工人劳动强度的同时生产效率有了极大的提高。
一种用于粘接晶棒全自动机组

[发明专利]一种控制GPP芯片玻璃沿高度的制作工艺-CN201510231230.3有效
发明人：徐长坡;牛宝钢;梁效峰;王晓捧;杨玉聪 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2015-05-08 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： H01L21/56 文献下载
摘要：本发明公开了一种控制GPP芯片玻璃沿高度的制作工艺。在GPP芯片制作过程中，对硅片进行沟槽腐蚀后，采用湿法刻蚀工艺对芯片表面的二氧化硅保护层进行刻蚀，以控制留存的二氧化硅保护层的尺寸，在湿法刻蚀工艺中，刻蚀液温度20~50℃；刻蚀液中的HF浓度5%~15%；刻蚀时间50~80s；沉积玻璃粉的重量90g~110g。通过有效地控制GPP芯片玻璃沿的高度，使电泳GPP芯片能够满足元器件厂各种封装条件，在保证产品高可靠性的基础上，提升封装良率，降低封装成本，同时以高可靠性、高封装良率、低成本的优势，彻底打开了电泳GPP芯片的市场，从而满足市场对小尺寸电泳GPP芯片的应用需求。
一种控制 gpp 芯片玻璃高度制作工艺

[发明专利]一种改善肖特基势垒层均匀性的清洗方法-CN201710312966.2在审
发明人：刘闯;刘文彬 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2017-05-05 - 公布日： 2017-07-07 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明创造提供了一种改善肖特基势垒层均匀性的清洗方法，选取经过处理的硅作为衬底硅，配置1号液清洗衬底硅，去除衬底硅表面的金属离子及有机沾污；配置2号液清洗上述衬底硅，去除自然氧化层和前序工艺产生的氧化层；配置3号液对上述衬底硅表面进行亲水性处理，旋转甩干处理后的衬底硅，通过蒸发或者溅射的方式将金属与衬底硅结合得到肖特基势垒层，本发明创造所述的一种改善肖特基势垒层均匀性的清洗方法，衬底硅经过清洗后表面表现为亲水性，能有效去除衬底硅表面的杂质，保证了清洗工艺的效果，提高势垒的均匀性，进而减小隧穿电流，减少漏电流，提高肖特基势垒器件的质量。
一种改善肖特基势垒层均匀清洗方法

[实用新型]一种脱胶机自动下料机械手-CN201620990098.4有效
发明人：张学强;靳立辉;杨明;崔振强;赵晓光;侯景洋;刘丽丽 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-06-20 - 主分类号： B25J9/14 文献下载
摘要：本实用新型提供一种脱胶机自动下料机械手，包括安装座和在安装座上对称设置的两个拾取装置，拾取装置包括气缸连接座、气缸、连接块、光轴、衬套座、无油衬套和取料座卡爪，气缸连接座固定在所述安装座上，气缸固定在所述气缸连接座上，气缸的气缸杆前端与连接块一端连接，连接块另一端与光轴的一端相连接，光轴的另一端穿过固定于衬套座的无油衬套，与取料座卡爪的上端固定，衬套座固定在所述安装座的外缘，取料座卡爪的下端设置有卡块，取料座卡爪远离安装座的一侧设置有勾爪。本实用新型的有益效果是机械手自动搬运可以降低劳动强度，提高生产效率，卡爪可同时兼容两种料座和治具的拾取，不需更换工作装置。
一种脱胶自动机械手

[实用新型]一种脱胶机自动下料装置-CN201620990099.9有效
发明人：张学强;靳立辉;杨明;崔振强;赵晓光;侯景洋;高翔 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-04-05 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种脱胶机自动下料装置，包括支撑架，所述支撑架上设置有横向线性模组，所述横向线性模组的滑块与纵向线性模组相连，所述纵向线性模组的滑块上连接有安装架，所述安装架上安装有机械手；所述支撑架下方设置有输送线A，所述输送线A处设置有传感器，所述输送线A一端设置有输送线B，所述输送线A另一端设置有输送线C；所述输送线B的外侧设置有料座AGV小车，所述输送线C的外侧设置有治具AGV小车。本实用新型所述的脱胶机自动下料装置结构设计合理，机械手可同时兼具料座和治具的抓取，无需更换工装，输送线可实现料座和治具的自动分离，实现物料自动搬运，可实现一人操作多台下料装置，有效提高了生产效率。
一种脱胶自动装置

[实用新型]一种电泳机的机械传动装置-CN201620281212.6有效
发明人：靳立辉;张学强;贾弘源;王国瑞;高树良;赵晓光 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2016-04-06 - 公布日： 2017-03-29 - 主分类号： B66F7/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种电泳机的机械传动装置，包括提升基板，所述提升基板上平行放置有两根沿所述提升基板长度方向延伸的导向杆，每根导向杆由轴承固定，两导向杆中段之间固定有平衡臂，所述平衡臂的中部上端固定有提升连杆，下端正对所述提升连杆处设有电缸，所述导向杆和提升连杆的上端固定在提升架载板的底面上，所述提升架载板的侧面上设有提升左臂和提升右臂，所述提升左臂与提升右臂之间固定有提升架固定连杆，所述提升基板上还设有光电安装座，所述光电安装座上设置有光电开关。本实用新型所述的电泳机的机械传动装置下降速度提高，同时上升过程中能够缓慢上升，有效克服了上升过程中的抖动现象，降低了因下降上升程中造成的工艺不良。
一种电泳机械传动装置

[发明专利]一种脱胶机自动下料机械手-CN201610765645.3在审
发明人：张学强;靳立辉;杨明;崔振强;赵晓光;侯景洋;刘丽丽 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B25J9/14 文献下载
摘要：本发明提供一种脱胶机自动下料机械手，包括：安装座和在安装座上对称设置的两个拾取装置，拾取装置包括气缸连接座、气缸、连接块、光轴、衬套座、无油衬套和取料座卡爪，气缸连接座固定在所述安装座上，气缸固定在所述气缸连接座上，气缸的气缸杆前端与连接块一端连接，连接块另一端与光轴的一端相连接，光轴的另一端穿过固定于衬套座的无油衬套，与取料座卡爪的上端固定，衬套座固定在所述安装座的外缘，取料座卡爪的下端设置有卡块，取料座卡爪远离安装座的一侧设置有勾爪。本发明的有益效果是：机械手自动搬运可以降低劳动强度，提高生产效率，卡爪可同时兼容两种料座和治具的拾取，不需更换工作装置。
一种脱胶自动机械手

[实用新型]一种NTC线切机上料AGV车-CN201620324619.2有效
发明人：靳立辉;张学强;周晓英;白聪轩;尹擎;赵晓光;姚长娟 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2016-04-15 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： B65G35/00 文献下载
摘要：本实用新型创造提供了一种NTC线切机上料AGV车，包括车体，所述车体上端设置有滑动槽，所述滑动槽内设置有可在所述滑动槽内滑动的支架A；所述支架A上部一侧设置有导轨A，所述导轨A上设置有可沿所述导轨A做上下运动的支架B，所述支架B上端面设置有导轨B，所述导轨B上设置有可沿所述导轨B运动的支架C，所述支架C前端设置有料座，所述支架B下端面设置有导轨C，所述导轨C上设置有可沿所述导轨C运动的支架D，所述支架D上设置有电动手指。本实用新型创造所述的NTC线切机上料AGV车结构新颖，设计合理，可实现三维运动，能够精确定位，可大大降低上料的错误率，提升上料速度，且可降低人工作业强度，减少操作人员数量，大大节约了成本。
一种 ntc 线切机上料 agv

[发明专利]一种具备沟道效应的瞬态电压抑制器芯片的生产工艺-CN201410183989.4有效
发明人：薄勇;刘长蔚;白树军 -专利权人： 天津中环半导体股份有限公司
申请日： 2014-04-30 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： H01L21/329 文献下载
摘要：本发明创造提供一种具备沟道效应的瞬态电压抑制器芯片的生产工艺，通过气态源扩散，沟槽腐蚀，双面电泳的步骤，使结构为N+PN+高电压瞬态电压抑制器芯片，在反向状态下，耗尽层宽度和反向电压随着反向电流的增加而增加，当反向电流增加到接近Ic时，两面的耗尽层接触，从而产生沟道效应，导致等效电阻减小，拑位电压减小的现象，使反向浪涌能力得到提高，增强了二极管的可靠性和寿命，且产品具有电参数均一性好、欧姆接触更好，可靠性高的优点，避免了两次单面电泳造成的两面玻璃层厚度不均的问题，同时玻璃保护的抗应力能力强，不易损坏，进一步提高了产品的可靠性。
一种具备沟道效应瞬态电压抑制器芯片生产工艺

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