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专利名称

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申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种基板烘烤装置及方法-CN201710637393.0有效
发明人： 唐元江 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： G03F7/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种基板烘烤装置及方法。该装置包括加热板、支撑件及时间控制电路，加热板用于对基板进行加热，支撑件设置在加热板上，用于支撑基板，基板和加热板之间的距离位于预设距离的范围内，时间控制电路用于控制加热板的加热时间，加热时间位于预设加热时间的范围内。通过这种方式，能够改善基板与支撑件的接触点对基板烘烤效果的影响，进而提高烘烤后基板的质量。
一种烘烤装置方法

[发明专利]一种LTPS阵列基板的制备方法-CN201610768378.5有效
发明人：刘兴华;张从领;徐勇;唐元江 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-08-30 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： H01L21/84 文献下载
摘要：本发明提供一种LTPS阵列基板的制备方法。所述LTPS阵列基板的制备方法包括：提供基板，所述基板包括多个面板区域及多个间隔区域，相邻的面板区域由所述间隔区域间隔开，所述间隔区域包括邻近面板区域的边缘区域；在邻近所述基板表面上且在所述基板的面板区域设置导电层，所述导电层构成LTPS阵列基板中的存储电容的一层；在所述导电层远离所述基板的表面涂布光阻层，所述光阻层完全覆盖所述导电层；在所述光阻层远离所述导电层的表面涂布显影液；对所述光阻层进行曝光及显影，以使得所述边缘区域对应的光阻层形成第一图案，其中，所述第一图案不同于对所述边缘区域对应的所述光阻层进行全部曝光并显影后形成的第二图案。
一种 ltps 阵列制备方法

[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法-CN201810294275.9在审
发明人：齐鹏博;陈叶凯;唐元江 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2018-03-30 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： H01L21/336 文献下载
摘要：本发明提供一种薄膜晶体管及其制备方法，所述方法包括以下步骤：先提供一基板，在所述基板上依次制备缓冲层、多晶硅层、栅绝缘层以及栅极，其中，所述栅极绝缘的设置于所述多晶硅层的上方；然后对所述多晶硅层进行N‑离子掺杂，在对应所述栅极两侧的多晶硅中形成轻掺杂区；再在所述栅极以及所述栅绝缘层上制备一层光刻胶，经刻蚀后，在所述栅极两侧形成光刻胶图案；之后以所述光刻胶图案和所述栅极为掩模对所述多晶硅层进行N+离子掺杂，在对应所述光刻胶图案以及所述栅极两侧的所述轻掺杂区中形成重掺杂区。
多晶硅层制备光刻胶图案薄膜晶体管离子掺杂轻掺杂区栅绝缘层基板重掺杂区多晶硅光刻胶缓冲层刻蚀掩模绝缘

[发明专利]基板干燥装置-CN201610628127.7在审
发明人： 唐元江 -专利权人：武汉华星光电技术有限公司
申请日： 2016-08-03 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： G03F7/16 文献下载
摘要：本发明公布了一种基板干燥装置，包括密封腔体及位于所述密封腔体内部的夹具及支撑板，所述支撑板包括平面状的支撑面，所述支撑板固定于所述密封腔体的底部，所述夹具包括升降杆与固定于所述升降杆顶部的夹持部，所述升降杆分布于所述支撑板的周围，所述夹持部固定玻璃基板并通过所述升降杆将所述玻璃基板下降放置于所述支撑面上，所述支撑面与所述玻璃基板之间为面接触。夹具固定并升降玻璃基板使玻璃基板处于不同的工位，方便玻璃基板的装卸；密封腔体抽真空前夹具将玻璃基板放置于支撑板的平整的支撑面上，支撑面与玻璃基板之间为面接触，玻璃基板在密封腔体抽真空过程中受力均匀无局部形变，干燥后玻璃基板色彩均匀，良品率高。
干燥装置

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