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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]一种消除共振型超薄晶圆用旋转模块-CN202022811414.6有效
发明人：唐正隆;任硕;吴星华;张立 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-06-01 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种消除共振型超薄晶圆用旋转模块，包括一体结构的旋转架，所述旋转架包括倒置锥形结构的托盘和设置于所述托盘下方的固定柱，所述固定柱上套设有设置于所述托盘下方的承载组件。本实用新型采用上述结构的一种消除共振型超薄晶圆用旋转模块，增加负载质量，有效减小共振，提高产品质量。
一种消除共振超薄晶圆用旋转模块

[实用新型]一种多功能突出检测型晶圆传送单元-CN202022785371.9有效
发明人：唐正隆;任硕;王正辉;吴星华;张立 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能突出检测型晶圆传送单元，包括于机架上方平行分布的若干组传送手臂，所述机架上还设有位于所述传送手臂一侧的检测组件，所述检测组件包括连接在所述机架上的立柱和设置于立柱上方水平设置的检测臂，所述检测臂平行于所述传送手臂，所述检测臂为一体的近L型结构，并包括水平的固定部和与所述传送手臂前端对应的检测部。本实用新型采用上述结构的一种多功能突出检测型晶圆传送单元，结构简单，操作方便，实现对不同类型晶圆的突出检测。
一种多功能突出检测型晶圆传送单元

[实用新型]一种多功能晶圆突出检测模块-CN202022796290.9有效
发明人：唐正隆;王正辉;吴星华;储长流 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种多功能晶圆突出检测模块，包括设置于晶圆盒入口上下侧的装载单元，所述装载单元的一侧设有若干个均匀分布的跑道形安装槽，所述装载单元包括位于晶圆盒上侧的第一装载单元和设置于晶圆盒下方的第二装载单元，所述第一装载单元的安装槽内间隔设有反射装置和透明感应器，所述第二装载单元的安装槽内设有与所述反射装置位置对应的发射接收装置。本实用新型采用上述结构的一种多功能晶圆突出检测模块，能够准确的检测晶圆在装载单元上的位置是否正确，可靠性高，并且实现多种类型晶圆的检测。
一种多功能突出检测模块

[实用新型]一种外部连接单元送晶圆传送手臂-CN202022811353.3有效
发明人：唐正隆;吴星华;刘同同;汪丽静 -专利权人： 合肥开悦半导体科技有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2021-05-18 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种外部连接单元送晶圆传送手臂，包括一体对称结构的手臂主体，所述手臂主体包括固定部和对称分布在所述固定部两侧的水平支撑部，所述固定部的中间设有若干个朝向支撑部的弧形限位槽，所述支撑部的末端设有若干个朝向固定部的弧形卡槽，所述限位槽和所述卡槽上方的外沿均设有圆弧形过度边。本实用新型采用上述结构的一种外部连接单元送晶圆传送手臂，与外接曝光机器对接使用时提高兼容性，节约成本。
一种外部连接单元送晶圆传送手臂

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