专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]MEMS谐振器-CN200880017824.2有效
  • 卡斯珀·范德阿奥斯特 - NXP股份有限公司
  • 2008-05-28 - 2010-03-24 - H03H9/24
  • 本发明提供了一种MEMS压阻式谐振器(8,78),以比基本本征模(31)更高阶的高阶本征模(32)来驱动该MEMS压阻式谐振器(8,78)。例如,通过使感测电流(22)的流动路线位于高阶本征模(32)的最大位移(50)的点处,或位于高阶本征模(32)的位移的距离(x)的最大变化率的点处,来与高阶本征模(32)的特性相关地布置感测电流(22)的流动路线。可以通过制造具有槽(15)的MEMS压阻式谐振器(8,78)来布置感测电流(22)的流动路线,所述槽(15)在MEMS压阻式谐振器(8,78)的两个梁(11,12)之间形成,所述槽(15)的端部位于上述位置处。
  • mems谐振器

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