专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置及方法-CN201810069463.1有效
  • 李星辉;周倩;肖翔;倪凯;王欢欢;冒新宇;曾理江;苏晓;王晓浩 - 清华大学深圳研究生院
  • 2018-01-24 - 2023-08-11 - G01B11/02
  • 本发明公开了一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置及方法,该装置包括光源、分束镜、参考点掩膜、参考点编码带、光电探测器和信号处理计算机,参考点掩膜包括多个宽度相等的第一矩形块,多个第一矩形块沿其自身的宽度方向等间距排列;参考点编码带包括多组参考点组,每组参考点组包括两个参考点编码区,每个参考点编码区包括多个宽度相等的第二矩形块,多个第二矩形块沿其自身的宽度方向等间距排列,两个参考点编码区沿着第二矩形块的宽度方向间隔排列,多组参考点组沿着第二矩形块的宽度方向等间距排列,第一矩形块和第二矩形块均能够吸收或反射光线。本发明避免了光栅尺增量位移误差和参考点检测误差的干扰,提高了参考点绝对位置判断的可靠性。
  • 一种判断光栅尺参考绝对位置装置方法
  • [实用新型]一种基板显影用夹持设备及显影设备-CN202320243688.0有效
  • 孟祥峰;陈正宇;董文浩;冒新宇 - 北京至格科技有限公司
  • 2023-02-17 - 2023-08-04 - G03F7/30
  • 本实用新型提供一种基板显影用夹持设备及显影设备,其中,基板显影用夹持设备包括第一控制设备、第一定向移动设备以及夹具;所述第一控制设备与所述第一定向移动设备连接;所述第一定向移动设备与所述夹具连接;所述夹具用于夹持基板;所述第一控制设备控制所述第一定向移动设备带动夹具夹持的基板以设定速度浸入显影液中。对于光刻胶曝光量不均一的基板,控制基板不同部分浸没显影液的速度,进而控制基板不同部分浸没显影液的时间,从而使得光刻胶曝光量不均一的基板经显影得到的光栅掩模的占宽比达到相对均一的效果,因此可以提高光栅的衍射效率。
  • 一种显影夹持设备
  • [实用新型]一种入射空间角度测量系统-CN202320335085.3有效
  • 孟祥峰;刘瀚笙;冒新宇 - 北京至格科技有限公司
  • 2023-02-24 - 2023-06-27 - G01C1/00
  • 本实用新型提供一种入射空间角度测量系统,包括光学图像投影设备、光学图像传导设备、第一光学图像采集设备以及光学图像处理设备,光学图像投影设备、光学图像传导设备、第一光学图像采集设备以及光学图像处理设备放置在暗室内;光学图像投影设备靠近光学传导设备设置,用于向光学图像传导设备投射第一图像;光学图像传导设备,用于接收所述第一图像,并输出第二图像;第一光学图像采集设备靠近光学图像传导设备设置,用于采集所述第二图像;第一光学图像采集设备与光学图像处理设备连接。相较于现有方式,本实用新型可提高测量结果准确性,提高测量效率,且测量方法在作业现场即可测量,操作便捷。
  • 一种入射空间角度测量系统
  • [实用新型]一种显影系统-CN202223173532.4有效
  • 孟祥峰;赤赫;董文浩;冒新宇 - 北京至格科技有限公司
  • 2022-11-29 - 2023-04-25 - G03F7/30
  • 本实用新型提供了一种显影系统,包括:显影罐本体、样品台和搅拌装置;所述显影罐本体为具有开口的腔体结构,用于容纳显影液;所述样品台用于固定待显影样品,并将所述待显影样品放置于所述显影罐本体的腔体内;所述搅拌装置的转子位于所述显影罐本体的腔体内,并与所述样品台以及所述待显影样品间隔设置。通过本实用新型实施例提供的显影系统,搅拌装置的作用下,转子转动且可以带动显影液加速流动,使得显影液内部一直保持流动状态,腔体内各个位置处显影液的浓度相对均匀,从而可以保证显影后样品的质量;显影下来的光刻胶也会随显影液流动而被计时带走,可以避免产生水纹。并且,显影位置处显影液浓度不会明显降低,也可以提高显影效率。
  • 一种显影系统
  • [实用新型]二维光栅结构-CN202223533283.5有效
  • 孟祥峰;董文浩;冒新宇 - 北京至格科技有限公司
  • 2022-12-29 - 2023-04-07 - G02B5/18
  • 本实用新型提供一种二维光栅结构,该二维光栅结构包括:多个周期性排列的基本单元,基本单元包括最高单元、最低单元和位于不同平面的中间单元;最高单元的顶面为二维光栅的顶面,最低单元为二维光栅的光栅槽的底面,中间单元的顶面高度位于二维光栅的顶面与二维光栅的光栅槽的底面之间。本实用新型可以自由调节二维光栅的均匀性和衍射效率,改变二维光栅的光能利用率。
  • 二维光栅结构
  • [发明专利]表面浮雕光栅衍射光波导的母版制作方法、光波导和设备-CN202211426075.7有效
  • 孟祥峰;董文浩;冒新宇 - 北京至格科技有限公司
  • 2022-11-15 - 2023-01-31 - G02B5/18
  • 本申请属于增强现实技术领域,具体涉及一种表面浮雕光栅衍射光波导的母版制作方法、光波导和设备,其中的方法包括:在基板表面形成正性光刻胶层,得到具有均匀光刻胶掩膜的基板;该具有均匀光刻胶掩膜的基板上设有目标结构区域,使用光刻掩膜板遮挡目标结构区域,对具有均匀光刻胶掩膜的基板进行接触曝光和显影处理,得到目标结构区域有光刻胶掩膜的基板;对目标结构区域有光刻胶掩膜的基板进行干涉曝光显影,得到目标结构区域有光栅掩膜的基板;对目标结构区域有光栅掩膜的基板进行刻蚀,得到目标结构区域有光栅结构的基板。该方法解决了刻蚀过程中使用挡板导致的光栅结构缺失和光栅结构边缘槽深偏浅、刻蚀面积缩小的问题,提高了光栅加工精度。
  • 表面浮雕光栅衍射波导母版制作方法设备
  • [实用新型]一种多角度转接工件台-CN202222374918.5有效
  • 董文浩;冒新宇;孟祥峰 - 北京至格科技有限公司
  • 2022-09-07 - 2022-12-13 - H01J37/02
  • 本实用新型涉及一种多角度转接工件台,属于离子束刻蚀技术领域,解决了现有技术中工件台无法快速调整刻蚀角度的问题。本实用新型包括冷却台、底盘、工作台、固定块、第一压条和第二压条,冷却台上设有底盘和固定块,底盘上设有工作台,固定块包括第一半固定块和第二半固定块,第一压条与第一半固定块和工作台连接,第二压条与第二半固定块和工作台连接。本实用新型的转接工件台操作简便,角度调整迅速,散热效率高。
  • 一种角度转接工件
  • [发明专利]一种光栅对准方法、光栅结构加工方法及光波导镜片-CN202211068205.4有效
  • 孟祥峰;董文浩;冒新宇 - 北京至格科技有限公司
  • 2022-09-02 - 2022-11-29 - G02B5/18
  • 本申请提供了一种光栅对准方法、光栅结构加工方法及光波导镜片,该光栅对准方法包括:准备制备有二维光栅结构的基板;使具有相干性的第一平行光和第二平行光形成的干涉条纹至少照射二维光栅结构的部分区域;探测干涉条纹照射在二维光栅结构上所形成的莫尔条纹;根据探测得到的莫尔条纹,调整第一平行光和/或第二平行光以形成满足预设条件的曝光用干涉条纹,其中,满足预设条件的曝光用干涉条纹的周期的大小和方向与二维光栅结构的每一个周期的大小和方向均一致;将满足预设条件的曝光用干涉条纹与已有光栅结构的周期进行对准,使后续构造的光栅结构与该已有二维光栅结构的周期对准,提高了光栅的对准精度和光栅的加工精度。
  • 一种光栅对准方法结构加工波导镜片
  • [实用新型]一种应用于各类基板半切的新型半切装置-CN202221569908.0有效
  • 孙佳欣;冒新宇;董文浩 - 北京至格科技有限公司
  • 2022-06-22 - 2022-11-18 - C03B33/03
  • 本实用新型公开了一种应用于各类基板半切的新型半切装置,包括底板、用于对基板进行切割的切割组件、设置在底板上用于调整切割组件切割位置的导轨组件、以及设置在底板上用于承载基板的基板底座,所述导轨组件包括设置在底板上的Y导轨、设置在Y导轨上的X导轨以及设置在X导轨上的Z导轨,所述切割组件包括夹块和由夹块夹持的玻璃刀,所述夹块固定在Z导轨的滑动块上,所述基板底座设置在底板上,所述基板底座包括一定位板和设置在定位板上的若干个承载台,在所述基板底座上设置有压力传感器,所述压力传感器连接有一示数装置,能够实现适用于不同材质基板的裂片需求,防止出现压力过小无法裂开划痕,或因压力过大导致基板碎裂的现象。
  • 一种应用于各类基板半切新型装置

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