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[发明专利]通过等离子体增强原子层沉积沉积可流动SICN膜-CN202310390291.9在审
发明人：吉本信哉;J·R·古希特;五十岚诚;福田秀明;奥雷利·黑田;T·布兰夸特;小沼隆大 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-04-12 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：根据本文的一些实施例，描述了用于薄膜的可流动沉积的方法和设备。一些实施例涉及用于间隙填充的循环处理器，其中沉积之后是热退火和紫外线处理，并且重复进行。在一些实施例中，沉积、热退火和紫外线处理在单独的站中进行。在一些实施例中，第二站被加热到比第一站更高的温度。在一些实施例中，单独的模块用于固化。
通过等离子体增强原子沉积流动 sicn

[发明专利]沉积间隙填充流体的方法及相关系统和装置-CN202310257339.9在审
发明人： R·博鲁德;吉本信哉;五十岚诚;J·R·古希特;P·维斯瓦纳思 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2023-03-15 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：用间隙填充流体至少部分地填充包含在衬底中的凹槽的方法和相关系统。间隙填充流体包括Si‑N键。该方法包括一方面将衬底暴露于含氮和氢的气体，另一方面暴露于真空紫外光。
沉积间隙填充流体方法相关系统装置

[发明专利]成膜装置-CN202180057905.0在审
发明人： 五十岚诚;斋藤优;野中裕弥 -专利权人：株式会社新柯隆
申请日： 2021-10-19 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：提供一种运转率高的成膜装置。其具备：成膜室(2)，该成膜室(2)至少设置有成膜材料M和被成膜物(S)，能够设定为规定的成膜气氛；炉膛内衬(23)，该炉膛内衬(23)设置于上述成膜室(2)的内部，容纳上述成膜材料M；加热源(24)，该加热源(24)设置于上述成膜室(2)的内部，对容纳在上述炉膛内衬(23)的成膜材料(M)进行加热；和材料供给室(3)，该材料供给室(3)具有填充用于供给至上述炉膛内衬(23)的成膜材料(M)的材料填充部(35)，通过具有闸阀(37)的连通路径(36)与上述成膜室(2)连接，能够设定为规定的压力气氛。在供给成膜材料(M)的情况下，在将成膜室(2)设定为成膜气氛的状态下，将上述材料供给室(3)的内部设定为上述规定的压力气氛后，打开上述闸阀(37)，通过上述连通路径(36)将填充在上述材料填充部(35)的成膜材料(M)供给至上述炉膛内衬(23)。
装置

[发明专利]使用低射频等离子体过程形成氮化硅层的方法和系统-CN202210305464.8在审
发明人：坚固山裕子;五十岚诚 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2022-03-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C23C16/505 文献下载
摘要：公开了形成经处理的氮化硅层的方法。示例性方法包括通过以下而形成覆盖衬底的氮化硅层：在硅前体脉冲周期内向反应室提供硅前体；在反应物脉冲周期内向反应室提供氮反应物；在沉积过程中，在第一等离子体功率周期内施加具有第一频率的第一等离子体功率；以及在处理步骤期间，在第二等离子体功率周期内施加具有第二频率的第二等离子体功率。
使用射频等离子体过程形成氮化方法系统

[发明专利]多层橡胶部件的制造装置和制造方法-CN201811132608.4有效
发明人：鬼松博幸;久保田薰;铃木和也;五十岚诚 -专利权人：住友橡胶工业株式会社
申请日： 2018-09-27 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： B29C48/18 文献下载
摘要：本发明提供多层橡胶部件的制造装置和制造方法，仅通过各橡胶挤压机的模板的变更而容易进行多层橡胶部件的截面形状、尺寸、橡胶区域的比例等的变更，从而实现了设备成本的降低和生产性的提高。该制造装置具有：第一输送机(4)，其输送来自第一橡胶挤压机(2)的第一橡胶体(G1)；以及第二输送机(5)，其穿过第一输送机(4)的上方，并将来自第二橡胶挤压机(3)的第二橡胶体(G2)向与第一橡胶体(G1)相同的方向输送。第二输送机(5)的下流侧端部(E2L)在第一输送机(4)的输送面(4s)的上方终止，使从下流侧端部(E2L)送出的第二橡胶体(G2)在合流位置(Q)处重合在第一橡胶体(G1)上而形成多层橡胶部件(G)。
多层橡胶部件制造装置方法

[发明专利]用于可流动间隙填充的方法和设备-CN202111208910.5在审
发明人：吉本信哉;隆大小沼;五十岚诚;森幸博;福田秀明;R.H.J.沃乌尔特;T.布兰夸特 -专利权人： ASM IP私人控股有限公司
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2022-04-22 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：根据本文的一些实施例，描述了用于薄膜的可流动沉积的方法和设备。本文的一些实施例涉及间隙填充的循环过程，其中沉积之后是热退火并重复。在一些实施例中，沉积和热退火在单独站中进行。在一些实施例中，第二模块被加热到比第一站更高的温度。在一些实施例中，热退火包括RTA。
用于流动间隙填充方法设备

[发明专利]沉积氮化硅层的方法、该方法形成的结构以及执行系统-CN202110034059.2在审
发明人：奥雷利.黑田;张令子;德永正树;黄凌志;五十岚诚 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2021-07-20 - 主分类号： C23C16/34 文献下载
摘要：公开了用于在表面上沉积氮化硅之前预处理所述表面的方法和系统。示例性方法包含通过将所述表面暴露于由包括氮和氢的一种或多种气体形成的活性物种来预处理所述表面。预处理的步骤可另外包含将所述表面暴露于包括硅的气体的步骤。
沉积氮化方法形成结构以及执行系统

[发明专利]内窥镜装置-CN201780030045.5有效
发明人： 五十岚诚;坂上阳一朗 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2021-04-20 - 主分类号： A61B1/07 文献下载
摘要：内窥镜装置1包括：具有LED32d的光源装置3；和光学滤波器51。作为用于对被检体照射的照明光，LED32d能够通过被供给规定的驱动电流而产生峰值波长为600nm的光，并且能够通过被供给与规定的驱动电流不同的驱动电流而产生峰值波长偏移至与600nm不同的波长的光。光学滤波器51设置在从LED32d到接收来自被检体的光而生成摄像信号的摄像部21的照明光的光路上，用于将在波长轴上与595nm相比位于向短波长去的偏移方向的波长的光从光路上的光中除去。
内窥镜装置

[发明专利]具有连接板的基板处理装置、基板处理方法-CN202011000514.9在审
发明人：辻直人;柳泽一平;霜鸟美萌;五十岚诚 -专利权人： ASMIP私人控股有限公司
申请日： 2020-09-22 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种基板处理装置的示例包括：环形分配环；多个连接板，其连续到分配环并具有不均匀阻抗；喷淋板，其电连接到多个连接板；以及台架，其设置在喷淋板下方以面对喷淋板。
具有连接处理装置方法

[发明专利]内窥镜系统-CN201880090741.X在审
发明人：久保圭;五十岚诚 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2018-08-07 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： A61B1/00 文献下载
摘要：本发明的内窥镜系统包括：光源部，其产生用于对至少一部分被血液覆盖的被摄体的表面进行照明的照明光；摄像部，其对被摄体进行拍摄而输出摄像信号；和图像处理部，其基于根据摄像信号而生成的图像，分别生成与第一光对应的第一颜色成分和与第二光对应的第二颜色成分，使用第一颜色成分生成观察图像中所含的蓝色成分、绿色成分和红色成分这3个颜色成分中的2个颜色成分，并使用第二颜色成分生成其余1个颜色成分，其中，第一光的中心波长位于红色波段至近红外波段的波长范围内，在该波长范围下，氧合血红蛋白和还原血红蛋白的光吸收特性中的光吸收系数都较低，第二光的中心波长位于蓝色波段或绿色波段。
内窥镜系统

[发明专利]活体观察系统-CN201580077871.6有效
发明人： 五十岚诚;山崎健二;小笠原弘太郎 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2015-09-02 - 公布日： 2020-06-30 - 主分类号： A61B1/04 文献下载
摘要：活体观察系统具有：光源装置，其切换并提供包含多个波段在内的第一照明光和包含与第一照明光不同的多个波段在内的第二照明光；摄像元件，其按照灵敏度不同的多个像素的每个像素接受来自被照明光照明的被摄体的光而生成摄像信号；分色处理部，其从摄像元件所生成的各颜色成分的摄像信号中分离出与使用多个像素中的对规定的波段的光的灵敏度最大的像素来拍摄规定的波段的光时取得的颜色成分对应的摄像信号；以及控制部，其使得在输入给分色处理部的摄像信号是与第一照明光对应的摄像信号的情况下和在输入给分色处理部的摄像信号是与第二照明光对应的摄像信号的情况下进行不同的分色处理。
活体观察系统

[发明专利]重载荷用轮胎-CN201710897151.5有效
发明人：鹫塚政和;五十岚诚 -专利权人：住友橡胶工业株式会社
申请日： 2014-10-08 - 公布日： 2020-03-31 - 主分类号： B60C11/13 文献下载
摘要：在胎面部(2)设置有一对中央主沟(3)、一对胎肩主沟(4)、多条中央横沟(51)、多条中间横沟(61)、以及多条胎肩横沟(71)，由此胎面部(2)被中央花纹块(52)、中间花纹块(62)以及胎肩花纹块(72)划分。在中央主沟(3)交替地设置有长边部(3a)和朝与长边部(3a)相反的方向倾斜的短边部(3b)。中央横沟(51)将一对中央主沟(3)的长边部(3a、3a)间连结，中间横沟(61)将中央主沟(3)的外侧锯齿形顶部(3o)与胎肩主沟(4)的内侧锯齿形顶部(4i)之间连结。中间花纹块(62)在隔着中央主沟(3)而与中央横沟(51)对置的位置，具有深度朝中央主沟(3)逐渐增加的倾斜切槽(64)。
载荷轮胎

[发明专利]医疗装置-CN201680003244.2有效
发明人： 五十岚诚;渡边武史;平井祐治;木村健一;本间聪;宫岛博志;矢岛浩义 -专利权人：奥林巴斯株式会社
申请日： 2016-03-23 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： A61B90/30 文献下载
摘要：医疗装置具有：切开设备(1)，其能够在被检体内通过施加能量而进行切开；光纤(30)，其与切开设备(1)连接，具有用于向被检体射出光的光出射面；以及雾减轻装置(5)，其与切开设备(1)的切开动作联动而防止污垢附着于光纤(30)的光出射面。
医疗装置

[发明专利]复合烧结体切削工具-CN201580046859.9有效
发明人： 五十岚诚;村上晃浩 -专利权人：三菱综合材料株式会社
申请日： 2015-09-18 - 公布日： 2019-10-22 - 主分类号： B23B27/14 文献下载
摘要：本发明提供减少钨使用量的复合烧结体切削工具。在由TiCN基金属陶瓷和WC基硬质合金的复合烧结体形成、前刀面与后刀面所成的角度小于90度的复合烧结体切削工具中，切削工具的包括切削刃的前刀面由将铁族金属成分设为4～17质量％且将剩余部分设为以WC为主的硬质相成分的WC基硬质合金构成，WC基硬质合金的厚度为复合烧结体的厚度的0.05～0.3倍，切削工具的母体即TiCN基金属陶瓷在将该金属陶瓷的构成成分的含有比例以金属成分的含有比例来表现的情况下，含有4～25质量％的铁族金属成分、小于15质量％的W、2～15质量％的Mo、2～10质量％的Nb及0.2～2质量％的Cr，且关于铁族金属成分中的Co和Ni，Co相对于Co和Ni的合计含量的含有比例以质量比计满足0.5～0.8。
复合烧结切削工具

[发明专利]复合烧结体切削工具及表面包覆复合烧结体切削工具-CN201580070215.3有效
发明人： 五十岚诚;村上晃浩 -专利权人：三菱综合材料株式会社
申请日： 2015-12-24 - 公布日： 2019-04-30 - 主分类号： B23B27/14 文献下载
摘要：本发明提供一种复合烧结体切削工具，其为由TiCN基金属陶瓷层(2)和WC基硬质合金层(3)的复合烧结体构成的切削工具(1)，其中，TiCN基金属陶瓷层以质量％计含有4～25质量％的铁族金属成分、小于15质量％的W、2～15质量％的Mo、2～10质量％的Nb及0.2～2质量％的Cr，并且Co相对于铁族金属成分的Co与Ni的合计含量的含有比例以质量比计为0.5～0.8，WC基硬质合金层以质量％计含有4～17质量％的铁族金属成分及75质量％以上的W，以WC为主要硬质相成分，前刀面(4)与后刀面(5)所成的角度为90度，包括切削刃的前刀面由上述WC基硬质合金层构成，上述WC基硬质合金层的厚度为上述复合烧结体的厚度的0.05～0.3倍，穿过上述切削工具的前刀面中央的剖面中的从后刀面的上端至下端的高度变化的最大高低差(10)相对于上述复合烧结体的厚度为0.01以下。
复合烧结体切削工具硬质合金层铁族金属前刀面基金属陶瓷表面包覆高度变化上端高低差后刀面切削刃硬质相质量比后刀穿过

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